Trimethylaluminum (TMAI)
Trimethylalumane (TMAI)
| Từ đồng nghĩa | Trimetyl nhôm, Nhôm trimetyl, Nhôm trimetanua, TMA, TMAL, AlMe3, Chất xúc tác Ziegler-Natta, Trimetyl-, Trimetylalan. |
| Số CAS | 75-24-1 |
| Công thức hóa học | C6H18Al2 |
| Khối lượng mol | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Vẻ bề ngoài | Chất lỏng không màu |
| Tỉ trọng | 0,752 g/cm3 |
| Điểm nóng chảy | 15℃ (59℉; 288K) |
| Điểm sôi | 125–130℃ (257–266℉, 398–403K) |
| Độ hòa tan trong nước | Phản ứng |
| Áp suất hơi | 1,2 kPa (20oC), 9,24 kPa (60oC) |
| Độ nhớt | 1,12 cP (20oC), 0,9 cP (30oC) |
Trimetyl nhôm (TMAl)TMAl, với vai trò là nguồn kim loại hữu cơ (MO), được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn và là tiền chất quan trọng cho quá trình lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng hơi hóa học kim loại hữu cơ (MOCVD). Nó được sử dụng để điều chế các màng chứa nhôm có độ tinh khiết cao, chẳng hạn như oxit nhôm và nitrua nhôm. Ngoài ra, TMAl còn được ứng dụng rộng rãi như một chất xúc tác và chất phụ trợ trong các phản ứng tổng hợp hữu cơ và trùng hợp.
Trimethylaluminum (TMAI) đóng vai trò là tiền chất cho quá trình lắng đọng oxit nhôm và hoạt động như một chất xúc tác Ziegler-Natta. Nó cũng là tiền chất nhôm được sử dụng phổ biến nhất trong sản xuất epitaxy pha hơi kim loại hữu cơ (MOVPE). Hơn nữa, TMAI được dùng làm chất metyl hóa và thường được giải phóng từ tên lửa thăm dò như một chất đánh dấu để nghiên cứu các mô hình gió ở tầng khí quyển trên cao.
Thông số kỹ thuật doanh nghiệp của Trimethylaluminum 99,9999% - Hàm lượng silic và oxy thấp (6N TAMI-Low Si and Low Ox)
| Yếu tố | Kết quả | Thông số kỹ thuật | Yếu tố | Kết quả | Thông số kỹ thuật | Yếu tố | Kết quả | Thông số kỹ thuật |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Ghi chú:
Trên hết, giá trị PPM tính theo trọng lượng trên kim loại, và ND = không phát hiện được.
Phương pháp phân tích: ICP-OES/ICP-MS
Kết quả FT-NMR (Giới hạn phát hiện (LOD) đối với tạp chất hữu cơ và chứa oxy trong FT-NMR là 0,1 ppm):
Đảm bảo hàm lượng oxy <0,2 ppm (Đo bằng FT-NMR)
1. Không phát hiện tạp chất hữu cơ.
2. Không phát hiện tạp chất chứa oxy.
Trimethylaluminum (TMAI) được dùng để làm gì?
Trimethylaluminum (TMA)- Ứng dụng và công dụng
Trimethylaluminum (TMA) là một hợp chất hữu cơ nhôm có độ tinh khiết cực cao, đóng vai trò là tiền chất quan trọng trong một số lĩnh vực sản xuất tiên tiến nhất. Khả năng phản ứng và áp suất hơi vượt trội của nó khiến nó trở thành vật liệu được lựa chọn để lắng đọng các lớp màng chứa nhôm chính xác trong công nghệ điện tử và năng lượng, cũng như là thành phần cơ bản trong sản xuất polyolefin.
Sản phẩm TMA của chúng tôi được sản xuất theo các tiêu chuẩn độ tinh khiết nghiêm ngặt nhất, với sự kiểm soát chặt chẽ đối với các tạp chất nguyên tố, oxy hóa và hữu cơ để đảm bảo hiệu suất tối ưu trong các ứng dụng đòi hỏi khắt khe nhất của bạn.
Các ứng dụng và ngành công nghiệp chính:
1. Chế tạo chất bán dẫn và vi điện tử
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, TMA là công nghệ không thể thiếu để lắng đọng các màng mỏng với độ chính xác ở cấp độ nguyên tử.
* Vật liệu điện môi có hằng số điện môi cao (High-k): Được sử dụng trong phương pháp lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) và lắng đọng hơi hóa học (CVD) để tạo ra các màng mỏng oxit nhôm (Al₂O₃) đồng nhất, không có lỗ hổng, đóng vai trò là vật liệu điện môi cổng high-k trong các bóng bán dẫn và thiết bị bộ nhớ tiên tiến.
* Bán dẫn phức hợp: Nguồn nhôm được ưa chuộng trong phương pháp epitaxy pha hơi kim loại hữu cơ (MOVPE) để nuôi cấy các bán dẫn phức hợp III-V hiệu suất cao. Các vật liệu này rất cần thiết cho:
* Linh kiện điện tử tần số cao: (ví dụ: AlGaAs, AlInGaP)
* Quang điện tử: (ví dụ: AlGaN, AlInGaN)
2. Năng lượng sạch và quang điện
TMA giúp nâng cao hiệu quả và độ bền trong các công nghệ năng lượng mặt trời.
* Lớp thụ động hóa bề mặt: Được lắng đọng bằng phương pháp ALD hoặc CVD tăng cường plasma (PECVD), màng oxit nhôm (Al₂O₃) từ TMA cung cấp khả năng thụ động hóa bề mặt vượt trội cho các tế bào quang điện silicon tinh thể. Điều này làm giảm đáng kể sự tái kết hợp điện tích, dẫn đến những cải thiện đáng kể về hiệu suất chuyển đổi và độ ổn định lâu dài của tế bào.
3. Hệ thống chiếu sáng và màn hình tiên tiến (LED)
Việc sản xuất đèn LED có độ sáng cao và tiết kiệm năng lượng phụ thuộc vào TMA có độ tinh khiết cao.
* Lớp màng mỏng LED: Đóng vai trò là tiền chất nhôm trong các lò phản ứng MOVPE để nuôi cấy các lớp hoạt tính (ví dụ: AlGaN) trong đèn LED xanh lam, xanh lục và tia cực tím.
* Xử lý bề mặt thiết bị: Được sử dụng để phủ các lớp màng oxit nhôm hoặc nitrua nhôm bảo vệ nhằm tăng cường hiệu suất chiết xuất quang học và kéo dài tuổi thọ hoạt động của các thiết bị LED.
4. Xúc tác công nghiệp và sản xuất polyme
Tầm quan trọng công nghiệp của TMA bắt nguồn từ vai trò của nó trong xúc tác.
* Xúc tác polyolefin: Đây là nguyên liệu khởi đầu chính cho quá trình tổng hợp metyl aluminoxan (MAO), một chất đồng xúc tác quan trọng trong các hệ xúc tác Ziegler-Natta và metallocene. Các hệ thống này sản xuất phần lớn nhựa polyetylen và polypropylen trên thế giới.
Đặc điểm và lợi ích chính:
* Độ tinh khiết cực cao: Được kiểm soát tỉ mỉ để giảm thiểu tối đa các tạp chất làm suy giảm hiệu suất điện tử và hoạt tính xúc tác.
* Tiền chất vượt trội: Có độ bay hơi, độ ổn định nhiệt và đặc tính phân hủy sạch tuyệt vời, đảm bảo quá trình lắng đọng màng chất lượng cao.
* Tiêu chuẩn ngành: Nguồn cung cấp nhôm uy tín, đã được khẳng định cho các quy trình MOVPE, ALD và CVD tại các cơ sở nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất trên toàn cầu.
* Nền tảng cho ngành nhựa: Một nguyên liệu thô quan trọng cho phép sản xuất các polyme polyolefin đa năng và thiết yếu.
Lưu ý: Trimethylaluminum là vật liệu dễ cháy nổ và nhạy cảm với độ ẩm, đòi hỏi các quy trình xử lý và an toàn chuyên biệt. Thông tin được cung cấp chỉ mang tính chất mô tả. Người sử dụng có trách nhiệm xử lý vật liệu này theo tất cả các hướng dẫn an toàn hiện hành và xác định tính phù hợp của nó cho ứng dụng cụ thể.
