Трыметылалюміній (TMAI)
Трыметылалюман (TMAI)
| Сінонімы | Трыметылалюміній, трыметыл алюмінію, трыметанід алюмінію, TMA, TMAL, AlMe3, каталізатар Цыглера-Натта, трыметыл-, трыметылалан. |
| Нумар CAS | 75-24-1 |
| Хімічная формула | C6H18Al2 |
| Малярная маса | 144,17 г/моль, 72,09 г/моль (C3H9Al) |
| Знешні выгляд | Бескаляровая вадкасць |
| Шчыльнасць | 0,752 г/см3 |
| Тэмпература плаўлення | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Тэмпература кіпення | 125–130 ℃ (257–266 ℉, 398–403 К) |
| Растваральнасць у вадзе | Рэагуе |
| Ціск пары | 1,2 кПа (20 ℃), 9,24 кПа (60 ℃) |
| Вязкасць | 1,12 сП (20 ℃), 0,9 сП (30 ℃) |
Трыметылалюміній (TMAl), як крыніца металарганічных (MO) злучэнняў, шырока выкарыстоўваецца ў паўправадніковай прамысловасці і служыць ключавым папярэднікам для атамна-слаёвага асаджэння (ALD), хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD) і металарганічнага хімічнага асаджэння з паравой фазы (MOCVD). Ён выкарыстоўваецца для атрымання высакаякасных плёнак, якія змяшчаюць алюміній, такіх як аксід алюмінію і нітрыд алюмінію. Акрамя таго, TMAl шырока ўжываецца ў якасці каталізатара і яго дапаможнага агента ў рэакцыях арганічнага сінтэзу і палімерызацыі.
Трыметылалюміній (TMAI) выступае ў якасці папярэдніка для адкладання аксіду алюмінію і функцыянуе як каталізатар Цыглера-Ната. Ён таксама з'яўляецца найбольш распаўсюджаным алюмініевым папярэднікам у вытворчасці металарганічнай эпітаксіі ў газавай фазе (MOVPE). Акрамя таго, TMAI служыць агентам метылявання і часта вылучаецца з зондавых ракет у якасці трасера для вывучэння ветравых заканамернасцей верхніх слаёў атмасферы.
Спецыфікацыя прадпрыемства з 99,9999% трыметылалюмінія - нізкае ўтрыманне крэмнію і кіслароду (6N TAMI - нізкае ўтрыманне Si і нізкае ўтрыманне Ox)
| Элемент | Вынік | Спецыфікацыя | Элемент | Вынік | Спецыфікацыя | Элемент | Вынік | Спецыфікацыя |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Заўвага:
Найвышэйшае значэнне PPM па вазе на метале, і ND = не выяўлена
Метад аналізу: ICP-OES/ICP-MS
Вынікі FT-NMR (LOD для арганічных і кіслародзмяшчальных прымешак FT-NMR складае 0,1 ppm):
Гарантаваны ўзровень кіслароду <0,2 праміле (вымярана з дапамогай FT-NMR)
1. Арганічных прымешак не выяўлена
2. Кіслародзмяшчальных прымешак не выяўлена
Для чаго выкарыстоўваецца трыметылалюміній (TMAI)?
Трыметылалюміній (ТМА)- Прымяненне і выкарыстанне
Трыметылалюміній (ТМА) — гэта арганаалюмініевае злучэнне звышвысокай чысціні, якое служыць найважнейшым папярэднікам у некаторых з самых перадавых вытворчых сектараў. Яго выключная рэакцыйная здольнасць і ціск пары робяць яго пераважным матэрыялам для нанясення дакладных алюмініевых плёнак у электронных і энергетычных тэхналогіях, а таксама фундаментальным кампанентам у вытворчасці поліалефінаў.
Нашы TMA вырабляюцца ў адпаведнасці з самымі строгімі стандартамі чысціні з строгім кантролем элементарных, кіслародзмяшчальных і арганічных прымешак, каб забяспечыць аптымальную прадукцыйнасць у самых патрабавальных умовах прымянення.
Асноўныя сферы прымянення і галіны прамысловасці:
1. Вытворчасць паўправадніковых і мікраэлектронных прылад
У паўправадніковай прамысловасці ТМА незаменны для нанясення тонкіх плёнак з дакладнасцю атамнага маштабу.
* Дыэлектрыкі з высокай каэфіцыентам k: выкарыстоўваюцца ў атамна-слаёвым асаджэнні (ALD) і хімічным асаджэнні з паравой фазы (CVD) для вырошчвання аднастайных тонкіх плёнак аксіду алюмінію (Al₂O₃) без адтулін, якія служаць дыэлектрыкамі з высокай каэфіцыентам k у засаўках сучасных транзістараў і прылад памяці.
* Злучаныя паўправаднікі: пераважная крыніца алюмінію ў металаарганічнай газафазнай эпітаксіі (MOVPE) для вырошчвання высокапрадукцыйных злучаных паўправаднікоў III-V групы. Гэтыя матэрыялы неабходныя для:
* Высокачастотная электроніка: (напрыклад, AlGaAs, AlInGaP)
* Оптаэлектроніка: (напрыклад, AlGaN, AlInGaN)
2. Чыстая энергія і фотаэлектрыка
TMA забяспечвае больш высокую эфектыўнасць і даўгавечнасць тэхналогій сонечнай энергіі.
* Павярхоўныя пасівацыйныя слаі: плёнкі аксіду алюмінію (Al₂O₃), нанесеныя з дапамогай ALD або плазменна-ўзмоцненага CVD (PECVD), забяспечваюць выдатную павярхоўную пасівацыю для крышталічных крэмніевых сонечных элементаў. Гэта значна зніжае рэкамбінацыю носьбітаў зараду, што прыводзіць да значнага павышэння эфектыўнасці пераўтварэння элементаў і доўгатэрміновай стабільнасці.
3. Пашыранае асвятленне і дысплей (LED)
Вытворчасць высокаяркасці і энергаэфектыўных святлодыёдаў абапіраецца на высокачысты TMA.
* Эпітаксія святлодыёдаў: служыць алюмініевым папярэднікам у рэактарах MOVPE для вырошчвання актыўных слаёў (напрыклад, AlGaN) у сініх, зялёных і ультрафіялетавых святлодыёдах.
* Пасівацыя прылад: выкарыстоўваецца для нанясення ахоўных плёнак з аксіду алюмінію або нітрыду алюмінію, якія павышаюць эфектыўнасць аптычнай экстракцыі і падаўжаюць тэрмін службы святлодыёдных прылад.
4. Прамысловы каталіз і вытворчасць палімераў
Прамысловае значэнне TMA абумоўлена яго роляй у каталізе.
* Каталіз поліалефінаў: гэта асноўны зыходны матэрыял для сінтэзу метылалюмінаксану (МАО), найважнейшага сукаталізатара ў каталітычных сістэмах Цыглера-Ната і металацэнавых каталітычных сістэмах. Гэтыя сістэмы вырабляюць пераважную большасць поліэтыленавых і поліпрапіленавых пластмас у свеце.
Асноўныя характарыстыкі і перавагі:
* Звышвысокая чысціня: старанна кантралюецца, каб мінімізаваць прымешкі, якія пагаршаюць электронныя характарыстыкі і каталітычную актыўнасць.
* Выдатны папярэднік: забяспечвае выдатную лятучасць, тэрмічную стабільнасць і чыстыя характарыстыкі раскладання для нанясення высакаякаснай плёнкі.
* Прамысловы стандарт: Усталяваная, надзейная крыніца алюмінію для працэсаў MOVPE, ALD і CVD на глабальных даследчых і вытворчых аб'ектах.
* Аснова для пластмас: ключавая сыравіна, якая дазваляе вырабляць універсальныя і неабходныя поліалефінавыя палімеры.
Заўвага: Трыметылалюміній — гэта пірафорны і вільгацеадчувальны матэрыял, які патрабуе спецыяльнага абыходжання і выканання пратаколаў бяспекі. Прадстаўленая інфармацыя мае апісальны характар. Карыстальнік нясе адказнасць за абыходжанне з гэтым матэрыялам у адпаведнасці з усімі дзеючымі рэкамендацыямі па бяспецы і вызначэнне яго прыдатнасці для канкрэтнага прымянення.
