ទ្រីមេទីលអាលុយមីញ៉ូម (TMAI)

ទ្រីមេទីលអាលូម៉ាន (TMAI)

ទ្រីមេទីលអាលុយមីញ៉ូម (TMAl)ជាប្រភពលោហៈ-សរីរាង្គ (MO) ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងបម្រើជាសារធាតុបឋមសំខាន់សម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់អាតូម (ALD) ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) និងការដាក់ចំហាយគីមីលោហៈ-សរីរាង្គ (MOCVD)។ វាត្រូវបានគេប្រើដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តដែលមានផ្ទុកអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដូចជាអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម និងនីទ្រីតអាលុយមីញ៉ូម។ លើសពីនេះ TMAl រកឃើញកម្មវិធីយ៉ាងទូលំទូលាយជាកាតាលីករ និងជាភ្នាក់ងារជំនួយរបស់វានៅក្នុងការសំយោគសរីរាង្គ និងប្រតិកម្មប៉ូលីមែរ។

ទ្រីមេទីលអាលុយមីញ៉ូម (TMAI) ដើរតួជាសារធាតុបឋមសម្រាប់ការដាក់អុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម និងដើរតួជាកាតាលីករ Ziegler-Natta។ វាក៏ជាសារធាតុបឋមអាលុយមីញ៉ូមដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅបំផុតក្នុងការផលិតអេពីតាក់ស៊ីដំណាក់កាលចំហាយលោហៈ-សរីរាង្គ (MOVPE)។ លើសពីនេះ TMAI ដើរតួជាសារធាតុមេទីល ហើយត្រូវបានបញ្ចេញជាញឹកញាប់ពីរ៉ុក្កែតដែលមានសំឡេងជាឧបករណ៍តាមដានសម្រាប់សិក្សាពីគំរូខ្យល់បរិយាកាសខាងលើ។

លក្ខណៈបច្ចេកទេសសហគ្រាសនៃ 99.9999% Trimethylaluminum - ស៊ីលីកុនទាប និងមាតិកាអុកស៊ីសែនទាប (6N TAMI-Low Si និង Low Ox)

ចំណាំ៖

លើសពីតម្លៃ PPM តាមទម្ងន់លើលោហៈ ហើយ ND = មិនត្រូវបានរកឃើញ

វិធីសាស្ត្រវិភាគ៖ ICP-OES/ICP-MS

លទ្ធផល FT-NMR (LOD សម្រាប់ភាពមិនបរិសុទ្ធសរីរាង្គ និងភាពមិនបរិសុទ្ធដែលមានអុកស៊ីសែន FT-NMR គឺ 0.1ppm)៖

ការធានាអុកស៊ីសែន <0.2 ppm (វាស់វែងជា FT-NMR)

១. គ្មានភាពមិនបរិសុទ្ធសរីរាង្គត្រូវបានរកឃើញទេ

2. មិន​មាន​ភាព​មិន​បរិសុទ្ធ​ដែល​មាន​អុកស៊ីសែន​ត្រូវ​បាន​រក​ឃើញ​ទេ

តើ Trimethylaluminum (TMAI) ត្រូវបានប្រើសម្រាប់អ្វី?

ទ្រីមេទីលអាលុយមីញ៉ូម (TMA)- កម្មវិធី និងការប្រើប្រាស់

ទ្រីមេទីលអាលុយមីញ៉ូម (TMA) គឺជាសមាសធាតុសរីរាង្គអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត ដែលបម្រើជាសារធាតុបឋមដ៏សំខាន់នៅក្នុងវិស័យផលិតកម្មទំនើបបំផុតមួយចំនួន។ ប្រតិកម្មពិសេស និងសម្ពាធចំហាយរបស់វាធ្វើឱ្យវាក្លាយជាសម្ភារៈដែលត្រូវបានជ្រើសរើសសម្រាប់ដាក់ខ្សែភាពយន្តដែលមានផ្ទុកអាលុយមីញ៉ូមជាក់លាក់នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូនិច និងថាមពល ក៏ដូចជាសមាសធាតុជាមូលដ្ឋានក្នុងការផលិតប៉ូលីអូលេហ្វីន។

TMA របស់យើងត្រូវបានផលិតឡើងតាមស្តង់ដារភាពបរិសុទ្ធដ៏តឹងរ៉ឹងបំផុត ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងយ៉ាងម៉ត់ចត់លើភាពមិនបរិសុទ្ធនៃធាតុ អុកស៊ីសែន និងភាពមិនបរិសុទ្ធសរីរាង្គ ដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការល្អបំផុតនៅក្នុងកម្មវិធីដែលទាមទារបំផុតរបស់អ្នក។

កម្មវិធី និងឧស្សាហកម្មចម្បងៗ៖

១. ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងមីក្រូអេឡិចត្រូនិច

នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ TMA គឺមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើងជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់នៃមាត្រដ្ឋានអាតូម។

* ឌីអេឡិចត្រិចដែលមាន k ខ្ពស់៖ ប្រើក្នុងការដាក់ស្រទាប់អាតូម (ALD) និងការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ដើម្បីដាំស្រទាប់ស្តើងៗនៃអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដែលគ្មានរន្ធម្ជុល ដែលបម្រើជាឌីអេឡិចត្រិចច្រកទ្វារដែលមាន k ខ្ពស់នៅក្នុងត្រង់ស៊ីស្ទ័រ និងឧបករណ៍អង្គចងចាំកម្រិតខ្ពស់។

* ឧបករណ៍​ផ្សំ​សមាសធាតុ៖ ប្រភព​អាលុយមីញ៉ូម​ដែល​ពេញ​ចិត្ត​ក្នុង Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) សម្រាប់​ការ​ដាំដុះ​ឧបករណ៍​ផ្សំ​សមាសធាតុ III-V ដែល​មាន​ដំណើរការ​ខ្ពស់។ សម្ភារៈ​ទាំងនេះ​គឺ​ចាំបាច់​សម្រាប់៖

* គ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រេកង់ខ្ពស់៖ (ឧ. AlGaAs, AlInGaP)

* អុបតូអេឡិចត្រូនិច៖ (ឧ. AlGaN, AlInGaN) 

២. ថាមពលស្អាត និង ថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យ

TMA អនុញ្ញាតឱ្យមានប្រសិទ្ធភាព និងភាពធន់ខ្ពស់ជាងមុននៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាថាមពលព្រះអាទិត្យ។

* ស្រទាប់​ការពារ​ផ្ទៃ៖ ខ្សែភាពយន្ត​អុកស៊ីដ​អាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដែល​ដាក់​ចូល​តាម​រយៈ ALD ឬ Plasma-Enhanced CVD (PECVD) ពី TMA ផ្តល់​នូវ​ការ​ការពារ​ផ្ទៃ​ដ៏​ល្អ​ឥត​ខ្ចោះ​សម្រាប់​កោសិកា​ពន្លឺព្រះអាទិត្យ​ស៊ីលីកុន​គ្រីស្តាល់។ នេះ​កាត់​បន្ថយ​ការ​រួម​បញ្ចូល​គ្នា​នៃ​ឧបករណ៍​ផ្ទុក​បន្ទុក​យ៉ាង​ខ្លាំង ដែល​នាំ​ឱ្យ​មាន​ការ​កើនឡើង​យ៉ាង​សំខាន់​នៃ​ប្រសិទ្ធភាព​បំប្លែង​កោសិកា និង​ស្ថេរភាព​រយៈពេល​វែង។

៣. ភ្លើងបំភ្លឺ និងការបង្ហាញកម្រិតខ្ពស់ (LED)

ការផលិតអំពូល LED ដែលមានពន្លឺខ្ពស់ និងសន្សំសំចៃថាមពល ពឹងផ្អែកលើ TMA ដែលមានគុណភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

* LED Epitaxy៖ បម្រើជាសារធាតុផ្សំអាលុយមីញ៉ូមនៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ MOVPE ដើម្បីដាំស្រទាប់សកម្ម (ឧ. AlGaN) ជា LED ពណ៌ខៀវ បៃតង និងអ៊ុលត្រាវីយូឡេ។

* ការធ្វើឱ្យឧបករណ៍សកម្ម៖ ត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ស្រទាប់អាលុយមីញ៉ូមអុកស៊ីដការពារ ឬខ្សែភាពយន្តអាលុយមីញ៉ូមនីទ្រីត ដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការទាញយកអុបទិក និងពន្យារអាយុកាលប្រតិបត្តិការរបស់ឧបករណ៍ LED។

៤. កាតាលីករឧស្សាហកម្ម និងផលិតកម្មប៉ូលីមែរ

សារៈសំខាន់ឧស្សាហកម្មរបស់ TMA មានឫសគល់នៅក្នុងតួនាទីរបស់វានៅក្នុងកាតាលីករ។

* កាតាលីករប៉ូលីអូលេហ្វីន៖ វាគឺជាសម្ភារៈចាប់ផ្តើមចម្បងសម្រាប់ការសំយោគ Methylaluminoxane (MAO) ដែលជាសហកាតាលីករដ៏សំខាន់នៅក្នុងប្រព័ន្ធកាតាលីករ Ziegler-Natta និង metallocene។ ប្រព័ន្ធទាំងនេះផលិតភាគច្រើនលើសលប់នៃផ្លាស្ទិចប៉ូលីអេទីឡែន និងប៉ូលីភីលីនរបស់ពិភពលោក។

លក្ខណៈសំខាន់ៗ និងអត្ថប្រយោជន៍៖

* ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត៖ ត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងល្អិតល្អន់ ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពមិនបរិសុទ្ធដែលធ្វើឱ្យខូចដំណើរការអេឡិចត្រូនិច និងសកម្មភាពកាតាលីករ។

* សារធាតុ​ផ្សំ​ដ៏​ល្អ​ប្រសើរ៖ ផ្តល់នូវ​ភាពប្រែប្រួល​ដ៏​ល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាព​កម្ដៅ និង​លក្ខណៈ​រលួយ​ស្អាត​សម្រាប់​ការដាក់​ស្រទាប់​ខ្សែភាពយន្ត​ដែល​មាន​គុណភាព​ខ្ពស់។

* ស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម៖ ប្រភពអាលុយមីញ៉ូមដែលបានបង្កើតឡើង និងគួរឱ្យទុកចិត្តសម្រាប់ដំណើរការ MOVPE, ALD និង CVD នៅទូទាំងកន្លែងស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ និងផលិតកម្មសកល។

* មូលដ្ឋានគ្រឹះសម្រាប់ផ្លាស្ទិច៖ វត្ថុធាតុដើមសំខាន់មួយដែលអាចឱ្យផលិតប៉ូលីមែរប៉ូលីអូលេហ្វីនសំខាន់ៗ និងអាចប្រើប្រាស់បានច្រើនយ៉ាង។

ការបដិសេធ៖ ទ្រីមេទីលអាលុយមីញ៉ូម គឺជាវត្ថុធាតុដើមដែលអាចឆេះក្នុងបរិយាកាសក្តៅ និងងាយនឹងសំណើម ដែលតម្រូវឱ្យមានពិធីការដោះស្រាយ និងសុវត្ថិភាពឯកទេស។ ព័ត៌មានដែលបានផ្តល់គឺសម្រាប់គោលបំណងពិពណ៌នា។ វាជាការទទួលខុសត្រូវរបស់អ្នកប្រើប្រាស់ក្នុងការដោះស្រាយសម្ភារៈនេះស្របតាមគោលការណ៍ណែនាំសុវត្ថិភាពដែលអាចអនុវត្តបានទាំងអស់ និងដើម្បីកំណត់ភាពសមស្របរបស់វាសម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់ណាមួយ។