Trimetilaluminium (TMAI)
Trimetilalumane (TMAI)
| Sinonim | Trimetilaluminium, Aluminium Trimetil, Aluminium Trimethanida, TMA, TMAL, AlMe3, Katalis Ziegler-Natta, Trimetil-, Trimetilalan. |
| Nomer Cas | 75-24-1 |
| Rumus kimia | C6H18Al2 |
| Massa molar | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Penampilan | Cairan teu warnaan |
| Kapadetan | 0,752 g/cm3 |
| Titik lebur | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Titik didih | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| Kalarutan dina cai | Réaksi |
| Tekanan uap | 1,2 kPa (20 ℃), 9,24 kPa (60 ℃) |
| Viskositas | 1,12 cP (20 ℃), 0,9 cP (30 ℃) |
Trimetilaluminium (TMAl), salaku sumber logam-organik (MO), seueur dianggo dina industri semikonduktor sareng janten prékursor konci pikeun déposisi lapisan atom (ALD), déposisi uap kimia (CVD), sareng déposisi uap kimia logam-organik (MOCVD). Ieu dianggo pikeun nyiapkeun pilem anu ngandung aluminium kalayan kamurnian tinggi, sapertos aluminium oksida sareng aluminium nitrida. Salaku tambahan, TMAl mendakan aplikasi anu lega salaku katalis sareng agén bantu na dina réaksi sintésis organik sareng polimérisasi.
Trimetilaluminium (TMAI) bertindak salaku prékursor pikeun déposisi aluminium oksida sareng fungsina salaku katalis Ziegler-Natta. Éta ogé mangrupikeun prékursor aluminium anu paling umum dianggo dina produksi epitaksi fase uap logam-organik (MOVPE). Salajengna, TMAI bertindak salaku agén metilasi sareng sering dileupaskeun tina roket sounding salaku palacak pikeun nalungtik pola angin atmosfir luhur.
Spésifikasi perusahaan 99,9999% Trimetilaluminium - Eusi silikon sareng oksigén anu handap (6N TAMI-Low Si sareng Low Ox)
| Unsur | Hasil | Spésifikasi | Unsur | Hasil | Spésifikasi | Unsur | Hasil | Spésifikasi |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
Catetan:
Di luhur sadayana nilai PPM dumasar beurat dina logam, sareng ND = teu kadeteksi
Métode Analisis: ICP-OES/ICP-MS
Hasil FT-NMR (LOD pikeun pangotor organik sareng oksigén FT-NMR nyaéta 0.1ppm):
Jaminan oksigén <0.2 ppm (Diukur dina FT-NMR)
1. Teu aya pangotor organik anu kadeteksi
2. Teu aya pangotor anu ngandung oksigén anu kadeteksi
Trimetilaluminium (TMAI) dianggo pikeun naon?
Trimetilaluminium (TMA)- Aplikasi sareng Kagunaan
Trimetilaluminium (TMA) nyaéta sanyawa organoaluminium kalayan kemurnian ultra-luhur anu janten prékursor penting dina sababaraha séktor manufaktur anu paling canggih. Réaktivitas sareng tekanan uapna anu luar biasa ngajantenkeun éta bahan pilihan pikeun neundeun pilem anu ngandung aluminium anu presisi dina téknologi éléktronik sareng énergi, ogé komponén dasar dina produksi poliolefin.
TMA kami diproduksi dumasar kana standar kamurnian anu paling ketat, kalayan kontrol anu ketat kana pangotor unsur, oksigén, sareng organik pikeun mastikeun kinerja anu optimal dina aplikasi anjeun anu paling nungtut.
Aplikasi sareng Industri Utama:
1. Pabrikasi Semikonduktor & Mikroéléktronika
Dina industri semikonduktor, TMA penting pisan pikeun neundeun pilem ipis kalayan presisi skala atom.
* Dielektrik k-luhur: Dianggo dina Déposisi Lapisan Atom (ALD) sareng Déposisi Uap Kimia (CVD) pikeun numuwuhkeun pilem ipis aluminium oksida (Al₂O₃) anu seragam sareng bébas liang jarum, anu ngalayanan salaku dielektrik gerbang k-luhur dina transistor canggih sareng alat mémori.
* Semikonduktor Senyawa: Sumber aluminium anu dipikaresep dina Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) pikeun ngembangkeun semikonduktor senyawa III-V kinerja tinggi. Bahan-bahan ieu penting pikeun:
* Éléktronika Frékuénsi Luhur: (contona, AlGaAs, AlInGaP)
* Optoéléktronika: (contona, AlGaN, AlInGaN)
2. Énergi Bersih & Fotovoltaik
TMA ngamungkinkeun efisiensi sareng daya tahan anu langkung luhur dina téknologi énergi surya.
* Lapisan Pasivasi Beungeut: Diendapkeun ngalangkungan ALD atanapi Plasma-Enhanced CVD (PECVD), pilem aluminium oksida (Al₂O₃) ti TMA nyayogikeun pasivasi permukaan anu luar biasa pikeun sél surya silikon kristalin. Ieu sacara drastis ngirangan rekombinasi pamawa muatan, anu ngarah kana paningkatan anu signifikan dina efisiensi konvérsi sél sareng stabilitas jangka panjang.
3. Lampu & Tampilan Canggih (LED)
Produksi LED anu caang pisan sareng hemat énergi ngandelkeun TMA anu kamurnianna luhur.
* Epitaksi LED: Berfungsi salaku prékursor aluminium dina réaktor MOVPE pikeun numuwuhkeun lapisan aktif (contona, AlGaN) dina LED biru, héjo, sareng ultraviolét.
* Pasivasi Alat: Dianggo pikeun nyimpen pilem aluminium oksida atanapi aluminium nitrida pelindung anu ningkatkeun efisiensi ékstraksi optik sareng manjangkeun umur operasional alat LED.
4. Katalisis Industri & Produksi Polimer
Pentingna industri TMA didadasaran ku peranna dina katalisis.
* Katalisis Poliolefin: Ieu mangrupikeun bahan awal utama pikeun sintésis Metilaluminoksan (MAO), ko-katalis anu penting dina sistem katalis Ziegler-Natta sareng metalosena. Sistem ieu ngahasilkeun seuseueurna plastik polietilen sareng polipropilén di dunya.
Ciri & Mangpaat Utama:
* Kamurnian Ultra-Luhur: Dikontrol sacara saksama pikeun ngaminimalkeun pangotor anu ngaruksak kinerja éléktronik sareng aktivitas katalitik.
* Prekursor Unggul: Nawiskeun volatilitas anu saé, stabilitas termal, sareng karakteristik dekomposisi anu bersih pikeun déposisi pilem kualitas luhur.
* Standar Industri: Sumber aluminium anu tos mapan sareng dipercaya pikeun prosés MOVPE, ALD, sareng CVD di sakumna fasilitas R&D sareng produksi global.
* Pondasi pikeun Plastik: Bahan baku konci anu ngamungkinkeun produksi polimér poliolefin anu serbaguna sareng penting.
Bantahan: Trimetilaluminium nyaéta bahan piroforik sareng sénsitip kana kalembaban anu meryogikeun penanganan khusus sareng protokol kaamanan. Inpormasi anu disayogikeun kanggo tujuan déskriptif. Mangrupikeun tanggung jawab pangguna pikeun nanganan bahan ieu numutkeun sadaya pedoman kaamanan anu lumaku sareng pikeun nangtukeun kasaluyuanana pikeun aplikasi khusus.
