트리메틸알루미늄(TMAI)
트리메틸알루만(TMAI)
| 동의어 | 트리메틸알루미늄, 알루미늄 트리메틸, 알루미늄 트리메탄화물, TMA, TMAL, AlMe3, 지글러-나타 촉매, 트리메틸-, 트리메틸알란. |
| CAS 번호 | 75-24-1 |
| 화학식 | C6H18Al2 |
| 몰 질량 | 144.17 g/mol, 72.09 g/mol (C3H9Al) |
| 모습 | 무색 액체 |
| 밀도 | 0.752 g/cm3 |
| 녹는점 | 15℃ (59℉; 288K) |
| 비등점 | 125~130℃ (257~266℉, 398~403K) |
| 물에 대한 용해도 | 반응하다 |
| 증기압 | 1.2kPa(20℃), 9.24kPa(60℃) |
| 점도 | 1.12cP(20℃), 0.9cP(30℃) |
트리메틸알루미늄(TMAl)금속유기(MO) 원료인 전이금속알루미늄(TMAl)은 반도체 산업에서 널리 활용되며, 원자층 증착(ALD), 화학 기상 증착(CVD), 금속유기화학 기상 증착(MOCVD)의 핵심 전구체로 사용됩니다. TMAl은 산화알루미늄, 질화알루미늄과 같은 고순도 알루미늄 함유 박막을 제조하는 데 사용됩니다. 뿐만 아니라, 유기 합성 및 중합 반응에서 촉매 및 보조제로 광범위하게 응용됩니다.
트리메틸알루미늄(TMAI)은 산화알루미늄 증착의 전구체 역할을 하며 지글러-나타 촉매로 사용됩니다. 또한 금속유기 기상 증착(MOVPE) 공정에서 가장 흔하게 사용되는 알루미늄 전구체이기도 합니다. 나아가 TMAI는 메틸화제로 사용되며, 상층 대기 풍향 연구를 위한 추적자로 관측 로켓에서 자주 방출됩니다.
99.9999% 순도의 트리메틸알루미늄(6N TAMI-Low Si and Low Ox) 기업 규격 - 저실리콘 및 저산소 함량
| 요소 | 결과 | 사양 | 요소 | 결과 | 사양 | 요소 | 결과 | 사양 |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
메모:
위의 값은 금속의 중량 기준 PPM이며, ND는 검출되지 않음을 의미합니다.
분석 방법: ICP-OES/ICP-MS
FT-NMR 분석 결과(FT-NMR 유기 및 산소 함유 불순물의 검출 한계는 0.1ppm입니다):
산소 함량 보장 <0.2 ppm (FT-NMR 측정)
1. 유기 불순물이 검출되지 않았습니다.
2. 산소 함유 불순물이 검출되지 않았습니다.
트리메틸알루미늄(TMAI)은 무엇에 사용되나요?
트리메틸알루미늄(TMA)- 응용 분야 및 활용법
트리메틸알루미늄(TMA)은 초고순도 유기알루미늄 화합물로, 첨단 제조 분야에서 중요한 전구체로 사용됩니다. 탁월한 반응성과 증기압 덕분에 전자 및 에너지 기술 분야에서 정밀한 알루미늄 함유 박막 증착에 적합한 소재이며, 폴리올레핀 생산의 핵심 구성 요소이기도 합니다.
당사의 TMA는 가장 엄격한 순도 기준에 따라 제조되며, 원소, 산소 함유 물질 및 유기 불순물에 대한 철저한 관리를 통해 가장 까다로운 응용 분야에서도 최적의 성능을 보장합니다.
주요 응용 분야 및 산업:
1. 반도체 및 마이크로일렉트로닉스 제조
반도체 산업에서 TMA는 원자 수준의 정밀도로 박막을 증착하는 데 필수적입니다.
* 고유전율 유전체: 원자층 증착(ALD) 및 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 균일하고 핀홀이 없는 산화알루미늄(Al₂O₃) 박막을 성장시키는 데 사용되며, 이는 첨단 트랜지스터 및 메모리 장치의 고유전율 게이트 유전체로 사용됩니다.
* 화합물 반도체: 고성능 III-V 화합물 반도체를 성장시키는 데 사용되는 금속유기 기상 증착법(MOVPE)에서 선호되는 알루미늄 공급원입니다. 이러한 물질은 다음과 같은 용도에 필수적입니다.
* 고주파 전자 소자: (예: AlGaAs, AlInGaP)
* 광전자공학: (예: AlGaN, AlInGaN)
2. 청정에너지 및 태양광발전
TMA는 태양 에너지 기술의 효율성과 내구성을 향상시켜 줍니다.
* 표면 보호막: ALD 또는 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 방식으로 증착된 TMA의 산화알루미늄(Al₂O₃) 박막은 결정질 실리콘 태양전지에 탁월한 표면 보호 기능을 제공합니다. 이는 전하 운반체 재결합을 크게 줄여 셀 변환 효율과 장기 안정성을 크게 향상시킵니다.
3. 고급 조명 및 디스플레이(LED)
고휘도 및 에너지 효율이 뛰어난 LED 생산에는 고순도 TMA가 필수적입니다.
* LED 에피택시: MOVPE 반응기에서 알루미늄 전구체 역할을 하여 청색, 녹색 및 자외선 LED의 활성층(예: AlGaN)을 성장시킵니다.
* 소자 패시베이션: LED 소자의 광 추출 효율을 향상시키고 작동 수명을 연장하기 위해 보호용 산화알루미늄 또는 질화알루미늄 막을 증착하는 데 사용됩니다.
4. 산업 촉매 및 고분자 생산
TMA의 산업적 중요성은 촉매 작용에서의 역할에 뿌리를 두고 있습니다.
* 폴리올레핀 촉매: 폴리올레핀은 지글러-나타 및 메탈로센 촉매 시스템에서 중요한 보조 촉매인 메틸알루미녹산(MAO) 합성의 주요 출발 물질입니다. 이러한 시스템은 전 세계 폴리에틸렌 및 폴리프로필렌 플라스틱의 대부분을 생산합니다.
주요 특징 및 장점:
* 초고순도: 전자 성능 및 촉매 활성을 저하시키는 불순물을 최소화하기 위해 세심하게 관리되었습니다.
* 우수한 전구체: 뛰어난 휘발성, 열 안정성 및 깨끗한 분해 특성을 제공하여 고품질 박막 증착에 적합합니다.
* 업계 표준: 전 세계 연구 개발 및 생산 시설에서 MOVPE, ALD 및 CVD 공정에 사용되는 검증되고 신뢰할 수 있는 알루미늄 공급업체입니다.
* 플라스틱의 기초: 다양한 용도로 사용되는 필수 폴리올레핀 중합체 생산을 가능하게 하는 핵심 원료.
주의사항: 트리메틸알루미늄은 발화성이 강하고 습기에 민감한 물질이므로 특수한 취급 및 안전 수칙을 준수해야 합니다. 제공된 정보는 설명 목적으로만 사용되어야 하며, 사용자는 모든 관련 안전 지침에 따라 해당 물질을 취급하고 특정 용도에 적합한지 여부를 판단할 책임이 있습니다.
