
Триметилулюман (TMAI)
| Синонимдер | Триметилалюминий, Алюминий триметили, Алюминий триметаниди, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta катализатору, Триметил-, Триметилалан. |
| Кас номери | 75-24-1 |
| Химиялык формула | C6H18Al2 |
| Молярдык масса | 144,17 г/моль, 72,09 г/моль (C3H9Al) |
| Көрүнүшү | Түссүз суюктук |
| Тыгыздык | 0,752 г/см3 |
| Эрүү температурасы | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Кайнап чыгуу температурасы | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| Сууда эригичтиги | Реакциялар |
| Буу басымы | 1,2 кПа (20℃), 9,24 кПа (60℃) |
| Илешкектик | 1,12 cP (20℃), 0,9 cP (30℃) |
Триметилалюминий (ТМал)металл-органикалык (MO) булагы катары жарым өткөргүчтөр өнөр жайында кеңири колдонулат жана атомдук катмарды чөктүрүү (ALD), химиялык буу чөктүрүү (CVD) жана металл-органикалык химиялык буу чөктүрүү (MOCVD) үчүн негизги прекурсор катары кызмат кылат. Ал алюминий кычкылы жана алюминий нитриди сыяктуу жогорку тазалыктагы алюминий камтыган пленкаларды даярдоо үчүн колдонулат. Мындан тышкары, TMAl органикалык синтезде жана полимерлешүү реакцияларында катализатор жана анын жардамчы агенти катары кеңири колдонулат.
Триметилалюминий (TMAI) алюминий кычкылынын чөкмөсүнүн прекурсору катары кызмат кылат жана Циглер-Натта катализатору катары кызмат кылат. Ошондой эле, ал металл-органикалык буу фазасындагы эпитаксияны (MOVPE) өндүрүүдө эң көп колдонулган алюминий прекурсору болуп саналат. Андан тышкары, TMAI метилдөөчү агент катары кызмат кылат жана жогорку атмосфералык шамалдын үлгүлөрүн изилдөө үчүн индикатор катары ракеталарды зонддоодон көп бөлүнүп чыгат.
99.9999% триметил алюминийдин ишканалык мүнөздөмөсү - кремнийдин аздыгы жана кычкылтектин аздыгы (6N TAMI - Si жана OXтин аздыгы)
| Элемент | Жыйынтык | Техникалык мүнөздөмө | Элемент | Жыйынтык | Техникалык мүнөздөмө | Элемент | Жыйынтык | Техникалык мүнөздөмө |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
Эскертүү:
Баарынан мурда, металлдагы салмагы боюнча PPM мааниси жана ND=аныкталган жок
Анализ ыкмасы: ICP-OES/ICP-MS
FT-ЯМР жыйынтыктары (FT-ЯМР органикалык жана кычкылтек кошулмасы үчүн LOD 0,1 ppm):
Кычкылтек кепилдиги <0.2 ppm (FT-NMR менен өлчөнөт)
1. Органикалык кошулмалар аныкталган жок
2. Кычкылтек кошулмалары табылган жок
Триметилалюминий (TMAI) эмне үчүн колдонулат?
Триметил алюминий (ТМА)- Колдонмолору жана колдонулушу
Триметил алюминий (ТМА) – бул эң өнүккөн өндүрүш тармактарынын айрымдарында маанилүү прекурсор катары кызмат кылган өтө жогорку тазалыктагы органоалюминий кошулмасы. Анын өзгөчө реактивдүүлүгү жана буу басымы аны электроника жана энергетикалык технологияларда алюминий камтыган так пленкаларды чөктүрүү үчүн тандалган материалга, ошондой эле полиолефин өндүрүшүндөгү негизги компонентке айлантат.
Биздин TMA эң катаал тазалык стандарттарына ылайык өндүрүлөт, эң татаал колдонмолордо оптималдуу иштөөнү камсыз кылуу үчүн элементардык, кычкылтектүү жана органикалык кошулмаларды катуу көзөмөлдөйт.
Негизги колдонмолор жана тармактар:
1. Жарым өткөргүчтөр жана микроэлектроника өндүрүшү
Жарым өткөргүчтөр өнөр жайында TMA атомдук масштабдагы тактык менен жука пленкаларды сактоо үчүн абдан маанилүү.
* Жогорку-k диэлектриктер: Атомдук катмарды чөктүрүүдө (ALD) жана химиялык буу чөктүрүүдө (CVD) алюминий кычкылынын (Al₂O₃) бирдей, ийне тешиги жок жука пленкаларын өстүрүү үчүн колдонулат, алар өнүккөн транзисторлордо жана эс тутум түзмөктөрүндө жогорку-k дарбаза диэлектриктери катары кызмат кылат.
* Кошулма жарым өткөргүчтөр: Жогорку өндүрүмдүү III-V кошулма жарым өткөргүчтөрүн өстүрүү үчүн металлорганикалык буу фазасынын эпитаксиясындагы (MOVPE) артыкчылыктуу алюминий булагы. Бул материалдар төмөнкүлөр үчүн маанилүү:
* Жогорку жыштыктагы электроника: (мисалы, AlGaAs, AlInGaP)
* Оптоэлектроника: (мисалы, AlGaN, AlInGaN)
2. Таза энергия жана фотоэлектрика
TMA күн энергиясы технологияларында жогорку натыйжалуулукту жана бышыктыкты камсыз кылат.
* Беттик пассивдештирүү катмарлары: ALD же плазма менен күчөтүлгөн CVD (PECVD) аркылуу жайгаштырылган TMA алюминий кычкылы (Al₂O₃) пленкалары кристаллдык кремний күн батареялары үчүн эң сонун беттик пассивдештирүүнү камсыз кылат. Бул заряд алып жүрүүчүлөрдүн рекомбинациясын кескин түрдө азайтып, клетканын конверсиясынын натыйжалуулугун жана узак мөөнөттүү туруктуулукту бир кыйла жогорулатат.
3. Өркүндөтүлгөн жарыктандыруу жана дисплей (LED)
Жогорку жарыктыктагы жана энергияны үнөмдөөчү светодиоддорду өндүрүү жогорку тазалыктагы TMAга таянат.
* LED эпитаксиясы: көк, жашыл жана ультрафиолет светодиоддордо активдүү катмарларды (мисалы, AlGaN) өстүрүү үчүн MOVPE реакторлорунда алюминий прекурсору катары кызмат кылат.
* Түзмөктү пассивдештирүү: Оптикалык экстракциянын натыйжалуулугун жогорулаткан жана LED түзмөктөрүнүн иштөө мөөнөтүн узартуучу коргоочу алюминий кычкылын же алюминий нитрид пленкаларын сактоо үчүн колдонулат.
4. Өнөр жай катализи жана полимер өндүрүшү
TMAнын өнөр жайлык мааниси анын катализдеги ролуна негизделген.
* Полиолефин катализи: Ал Циглер-Натта жана металлоцен катализатор системаларындагы маанилүү кош-катализатор болгон метилалюминоксанды (МАО) синтездөө үчүн негизги баштапкы материал болуп саналат. Бул системалар дүйнөдөгү полиэтилен жана полипропилен пластиктеринин басымдуу көпчүлүгүн өндүрөт.
Негизги мүнөздөмөлөрү жана артыкчылыктары:
* Өтө жогорку тазалык: Электрондук көрсөткүчтөрдү жана каталитикалык активдүүлүктү начарлатуучу кошулмаларды минималдаштыруу үчүн кылдаттык менен көзөмөлдөнөт.
* Жогорку сапаттагы прекурсор: Жогорку сапаттагы пленка чөктүрүү үчүн эң сонун туруксуздукту, жылуулук туруктуулугун жана таза ажыроо мүнөздөмөлөрүн сунуштайт.
* Өнөр жай стандарты: Дүйнөлүк изилдөө жана иштеп чыгуу жана өндүрүш жайларындагы MOVPE, ALD жана CVD процесстери үчүн белгиленген, ишенимдүү алюминий булагы.
* Пластмассалар үчүн негиз: көп кырдуу жана маанилүү полиолефин полимерлерин өндүрүүгө мүмкүндүк берүүчү негизги чийки зат.
Эскертүү: Триметилалюминий – бул атайын иштетүүнү жана коопсуздук протоколдорун талап кылган пирофордук жана нымдуулукка сезгич материал. Берилген маалымат сүрөттөө максатында гана берилген. Бул материалды бардык тиешелүү коопсуздук көрсөтмөлөрүнө ылайык иштетүү жана анын белгилүү бир колдонууга ылайыктуулугун аныктоо колдонуучунун милдети.