تری متیل آلومینیوم (TMAI)
تری متیل آلومن (TMAI)
| مترادفها | تری متیل آلومینیوم، آلومینیوم تری متیل، آلومینیوم تری متاناید، TMA، TMAL، AlMe3، کاتالیزور زیگلر-ناتا، تری متیل-، تری متیل آلان. |
| شماره کاس | ۷۵-۲۴-۱ |
| فرمول شیمیایی | C6H18Al2 |
| جرم مولی | ۱۴۴.۱۷ گرم بر مول، ۷۲.۰۹ گرم بر مول (C3H9Al) |
| ظاهر | مایع بیرنگ |
| تراکم | ۰.۷۵۲ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| نقطه ذوب | ۱۵ درجه سانتیگراد (۵۹ درجه فارنهایت؛ ۲۸۸ کلوین) |
| نقطه جوش | ۱۲۵--۱۳۰ درجه سانتیگراد (۲۵۷--۲۶۶ درجه فارنهایت، ۳۹۸--۴۰۳ کلوین) |
| حلالیت در آب | واکنش نشان میدهد |
| فشار بخار | 1.2 کیلو پاسکال (20 ℃)، 9.24 کیلو پاسکال (60 ℃) |
| ویسکوزیته | 1.12 cP (20 ℃)، 0.9 cP (30 ℃) |
تری متیل آلومینیوم (TMAl)به عنوان یک منبع فلز-آلی (MO)، به طور گسترده در صنعت نیمههادی مورد استفاده قرار میگیرد و به عنوان یک پیشساز کلیدی برای رسوب لایه اتمی (ALD)، رسوب بخار شیمیایی (CVD) و رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (MOCVD) عمل میکند. از این ماده برای تهیه فیلمهای حاوی آلومینیوم با خلوص بالا، مانند اکسید آلومینیوم و نیترید آلومینیوم استفاده میشود. علاوه بر این، TMAl کاربرد گستردهای به عنوان کاتالیزور و عامل کمکی آن در سنتز آلی و واکنشهای پلیمریزاسیون دارد.
تری متیل آلومینیوم (TMAI) به عنوان پیشساز رسوب اکسید آلومینیوم عمل میکند و به عنوان کاتالیزور زیگلر-ناتا عمل میکند. همچنین رایجترین پیشساز آلومینیوم مورد استفاده در تولید اپیتاکسی فاز بخار فلز-آلی (MOVPE) است. علاوه بر این، TMAI به عنوان یک عامل متیلاسیون عمل میکند و اغلب از موشکهای صوتی به عنوان ردیاب برای مطالعه الگوهای باد در جو فوقانی آزاد میشود.
مشخصات سازمانی تری متیل آلومینیوم با درصد ۹۹.۹۹۹۹٪ - سیلیکون و اکسیژن کم (۶N TAMI - کم سیلیسیم و کم اکسید)
| عنصر | نتیجه | مشخصات | عنصر | نتیجه | مشخصات | عنصر | نتیجه | مشخصات |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
توجه:
بالاتر از همه، مقدار PPM بر اساس وزن روی فلز، و ND = شناسایی نشده است
روش آنالیز: ICP-OES/ICP-MS
نتایج FT-NMR (LOD برای ناخالصی آلی و اکسیژندار FT-NMR برابر با 0.1ppm است):
تضمین اکسیژن <0.2 ppm (اندازهگیری شده در FT-NMR)
۱. هیچ ناخالصی آلی شناسایی نشد
۲. هیچ ناخالصی اکسیژنداری شناسایی نشد
تری متیل آلومینیوم (TMAI) برای چه مواردی استفاده میشود؟
تری متیل آلومینیوم (TMA)- کاربردها و موارد استفاده
تریمتیلآلومینیوم (TMA) یک ترکیب آلی-آلومینیم با خلوص فوقالعاده بالا است که به عنوان یک پیشساز حیاتی در برخی از پیشرفتهترین بخشهای تولیدی عمل میکند. واکنشپذیری استثنایی و فشار بخار آن، آن را به مادهای انتخابی برای رسوبدهی لایههای نازک حاوی آلومینیوم در فناوریهای الکترونیک و انرژی و همچنین به عنوان یک جزء اساسی در تولید پلیاولفین تبدیل کرده است.
TMA ما با دقیقترین استانداردهای خلوص و با کنترل دقیق ناخالصیهای عنصری، اکسیژندار و آلی تولید میشود تا عملکرد بهینه را در سختترین کاربردهای شما تضمین کند.
کاربردها و صنایع اصلی:
۱. ساخت نیمههادیها و میکروالکترونیک
در صنعت نیمههادی، TMA برای رسوبدهی لایههای نازک با دقت در مقیاس اتمی ضروری است.
دیالکتریکهای با پتاسیم بالا: در رسوبگذاری لایه اتمی (ALD) و رسوبگذاری بخار شیمیایی (CVD) برای رشد لایههای نازک یکنواخت و بدون سوراخ از اکسید آلومینیوم (Al₂O₃) استفاده میشود که به عنوان دیالکتریکهای گیت با پتاسیم بالا در ترانزیستورهای پیشرفته و دستگاههای حافظه عمل میکنند.
* نیمههادیهای مرکب: منبع آلومینیوم ترجیحی در اپیتکسی فاز بخار آلی-فلزی (MOVPE) برای رشد نیمههادیهای مرکب III-V با کارایی بالا. این مواد برای موارد زیر ضروری هستند:
* الکترونیک فرکانس بالا: (به عنوان مثال، AlGaAs، AlInGaP)
* الکترونیک نوری: (مثلاً AlGaN، AlInGaN)
۲. انرژی پاک و فتوولتائیک
TMA باعث افزایش راندمان و دوام در فناوریهای انرژی خورشیدی میشود.
* لایههای غیرفعالسازی سطحی: لایههای اکسید آلومینیوم (Al₂O₃) از TMA که از طریق ALD یا Plasma-Enhanced CVD (PECVD) رسوب داده میشوند، غیرفعالسازی سطحی فوقالعادهای را برای سلولهای خورشیدی سیلیکونی کریستالی فراهم میکنند. این امر به طور چشمگیری نوترکیبی حاملهای بار را کاهش میدهد و منجر به افزایش قابل توجه راندمان تبدیل سلول و پایداری طولانی مدت میشود.
۳. روشنایی و نمایشگر پیشرفته (LED)
تولید LED های با روشنایی بالا و مصرف انرژی بهینه، به TMA با خلوص بالا متکی است.
* اپیتاکسی LED: به عنوان پیشساز آلومینیوم در راکتورهای MOVPE برای رشد لایههای فعال (مثلاً AlGaN) در LEDهای آبی، سبز و فرابنفش عمل میکند.
* غیرفعالسازی دستگاه: برای رسوب لایههای محافظ اکسید آلومینیوم یا نیترید آلومینیوم استفاده میشود که راندمان استخراج نوری را افزایش داده و طول عمر عملیاتی دستگاههای LED را افزایش میدهد.
۴. کاتالیز صنعتی و تولید پلیمر
اهمیت صنعتی TMA ریشه در نقش آن در کاتالیز دارد.
* کاتالیزوری پلیاولفین: این ماده اولیه اولیه برای سنتز متیلآلومینوکسان (MAO)، یک کمک کاتالیزور حیاتی در سیستمهای کاتالیزوری زیگلر-ناتا و متالوسن است. این سیستمها اکثریت قریب به اتفاق پلاستیکهای پلیاتیلن و پلیپروپیلن جهان را تولید میکنند.
ویژگیها و مزایای کلیدی:
* خلوص فوق العاده بالا: با دقت کنترل شده تا ناخالصیهایی که عملکرد الکترونیکی و فعالیت کاتالیزوری را کاهش میدهند، به حداقل برسد.
* پیشساز برتر: فراریت عالی، پایداری حرارتی و ویژگیهای تجزیه تمیز را برای رسوب فیلم با کیفیت بالا ارائه میدهد.
* استاندارد صنعتی: منبع آلومینیوم معتبر و مورد اعتماد برای فرآیندهای MOVPE، ALD و CVD در سراسر مراکز تحقیق و توسعه و تولید جهانی.
* پایه و اساس پلاستیک: یک ماده اولیه کلیدی که امکان تولید پلیمرهای پلی اولفین متنوع و ضروری را فراهم میکند.
سلب مسئولیت: تری متیل آلومینیوم یک ماده آتشزا و حساس به رطوبت است که نیاز به پروتکلهای ایمنی و جابجایی تخصصی دارد. اطلاعات ارائه شده صرفاً جهت اطلاعرسانی است. مسئولیت جابجایی این ماده طبق تمام دستورالعملهای ایمنی مربوطه و تعیین مناسب بودن آن برای یک کاربرد خاص بر عهده کاربر است.
