
Trimethylaluman (TMAI)
| Synonyme | Trimethylaluminium, Aluminiumtrimethyl, Aluminiumtrimethanid, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta-Katalysator, Trimethyl-, Trimethylalan. |
| Cas-Nummer | 75-24-1 |
| Chemesch Formel | C6H18Al2 |
| Molare Mass | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Ausgesinn | Faarflos Flëssegkeet |
| Dicht | 0,752 g/cm3 |
| Schmelzpunkt | 15℃ (59℉; 288K) |
| Kachpunkt | 125--130℃ (257--266℉, 398--403K) |
| Léislechkeet a Waasser | Reagéiert |
| Dampdrock | 1,2 kPa (20 ℃), 9,24 kPa (60 ℃) |
| Viskositéit | 1,12 cP (20 ℃), 0,9 cP (30 ℃) |
Trimethylaluminium (TMAl), als metallorganesch (MO) Quell, gëtt wäit verbreet an der Hallefleederindustrie benotzt a déngt als Schlësselvirleefer fir Atomschichtoflagerung (ALD), chemesch Gasoflagerung (CVD) a metallorganesch chemesch Gasoflagerung (MOCVD). Et gëtt benotzt fir héichreine Aluminiumhalteg Filmer ze preparéieren, wéi Aluminiumoxid an Aluminiumnitrid. Zousätzlech fënnt TMAl extensiv Uwendungen als Katalysator a säin Hëllefsmëttel an organescher Synthese a Polymerisatiounsreaktiounen.
Trimethylaluminium (TMAI) handelt als Virleefer fir Aluminiumoxidoflagerung a funktionéiert als Ziegler-Natta-Katalysator. Et ass och dee meescht benotzten Aluminiumvirleefer bei der Produktioun vu metallorganescher Gasphase-Epitaxie (MOVPE). Ausserdeem déngt TMAI als Methylierungsmëttel a gëtt dacks aus Sondraketen als Tracer fir d'Studie vu Wandmuster an der ieweschter Atmosphär fräigesat.
Entreprisespezifikatioun vun 99,9999% Trimethylaluminium - Niddereg Silizium- a Sauerstoffgehalt (6N TAMI - Niddereg Si a niddreg Ox)
| Element | Resultat | Spezifikatioun | Element | Resultat | Spezifikatioun | Element | Resultat | Spezifikatioun |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Bemierkung:
Virun allem Wäert PPM no Gewiicht op Metall, an ND = net detektéiert
Analysemethod: ICP-OES/ICP-MS
FT-NMR Resultater (LOD fir FT-NMR organesch an sauerstoffhalteg Ongereimtheeten ass 0,1 ppm):
Sauerstoffgarantie <0,2 ppm (Gemooss an FT-NMR)
1. Keng organesch Verunreinigungen festgestallt
2. Keng sauerstoffhalteg Ongereimtheeten festgestallt
Fir wat gëtt Trimethylaluminium (TMAI) benotzt?
Trimethylaluminium (TMA)- Uwendungen an Notzungen
Trimethylaluminium (TMA) ass eng ultra-héichreine Organoaluminiumverbindung, déi als e wichtege Virleefer an e puer vun de fortgeschrattsten Produktiounssecteuren déngt. Seng aussergewéinlech Reaktivitéit a säin aussergewéinleche Dampdrock maachen et zum bevorzugte Material fir d'Oflagerung vu präzisen aluminiumhaltege Filmer an der Elektronik- an Energietechnologie, souwéi zu enger Grondkomponent an der Polyolefinproduktioun.
Eis TMA gëtt no de strengste Rengheetsnormen hiergestallt, mat rigoréiser Kontroll iwwer elementar, sauerstoffräich an organesch Ongereinheeten, fir eng optimal Leeschtung an Ären usprochsvollsten Uwendungen ze garantéieren.
Haaptapplikatiounen an Industrien:
1. Fabrikatioun vu Hallefleiter a Mikroelektronik
An der Hallefleederindustrie ass TMA onentbehrlech fir d'Oflagerung vun Dënnschichten mat Präzisioun op atomarer Skala.
* High-k Dielektrika: Ginn an der Atomarschichtoflagerung (ALD) a chemescher Dampfoflagerung (CVD) benotzt fir eenheetlech, nålefächerfräi dënn Schichten aus Aluminiumoxid (Al₂O₃) ze wuessen, déi als High-k Gate-Dielektrika an fortgeschrattene Transistoren a Speicherkomponenten déngen.
* Compound-Hallefleiter: Déi bevorzugt Aluminiumquell an der Metallorganescher Dampphase-Epitaxie (MOVPE) fir de Wuesstum vun héichperformante III-V-Compound-Hallefleiter. Dës Materialien si wesentlech fir:
* Héichfrequenzelektronik: (z.B. AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelektronik: (z.B. AlGaN, AlInGaN)
2. Propper Energie & Photovoltaik
TMA erméiglecht eng méi héich Effizienz a Haltbarkeet a Solarenergietechnologien.
* Uewerflächenpassivatiounsschichten: Aluminiumoxid (Al₂O₃)-Filmer aus TMA, déi iwwer ALD oder Plasma-Enhanced CVD (PECVD) ofgesat ginn, bidden eng aussergewéinlech Uewerflächenpassivatioun fir kristallin Silizium-Solarzellen. Dëst reduzéiert d'Rekombinatioun vun der Ladungsträger drastesch, wat zu bedeitende Gewënn bei der Zellkonversiounseffizienz a laangfristeger Stabilitéit féiert.
3. Fortgeschratt Beliichtung & Display (LED)
D'Produktioun vun hellen an energieeffizienten LEDs baséiert op héichreineger TMA.
* LED-Epitaxie: Déngt als Aluminiumvirleefer a MOVPE-Reaktoren fir déi aktiv Schichten (z.B. AlGaN) a bloen, gréngen an ultravioletten LEDs ze wuessen.
* Passivéierung vun Apparater: Gëtt benotzt fir Schutzfilmer vun Aluminiumoxid oder Aluminiumnitrid ofzesetzen, déi d'effizient optesch Extraktioun verbesseren an d'Liewensdauer vun LED-Apparater verlängeren.
4. Industriell Katalyse & Polymerproduktioun
D'industriell Bedeitung vun TMA baséiert op senger Roll an der Katalyse.
* Polyolefin-Katalyse: Et ass dat primärt Ausgangsmaterial fir d'Synthese vu Methylaluminoxan (MAO), engem entscheedende Kokatalysator a Ziegler-Natta- a Metallocen-Katalysatorsystemer. Dës Systemer produzéieren de groussen Deel vun de weltwäite Polyethylen- a Polypropylen-Plastiks.
Schlëssel Charakteristiken & Virdeeler:
* Ultrahéich Rengheet: Sorgfälteg kontrolléiert fir Ongereinheeten ze minimiséieren, déi d'elektronesch Leeschtung an d'katalytesch Aktivitéit verschlechteren.
* Iwwerleeëne Virgänger: Bitt exzellent Volatilitéit, thermesch Stabilitéit a propper Zersetzungseigenschaften fir héichqualitativ Filmoflagerung.
* Industriestandard: Déi etabléiert, vertrauenswürdeg Aluminiumquell fir MOVPE-, ALD- a CVD-Prozesser a globale Fuerschungs- an Entwécklungs- a Produktiounsanlagen.
* Basis fir Plastik: E wichtegt Rohmaterial, dat d'Produktioun vu villfältegen an essentiellen Polyolefinpolymeren erméiglecht.
Haftungsausschluss: Trimethylaluminium ass e pyrophorescht a fiichtegkeetsempfindlecht Material, dat speziell Handhabungs- a Sécherheetsprotokoller erfuerdert. D'Informatioun déi ugebuede gëtt, ass nëmme fir beschreiwend Zwecker geduecht. Et ass d'Verantwortung vum Benotzer, dëst Material no all gëltege Sécherheetsrichtlinnen ze handhaben an seng Gëeegentheet fir eng spezifesch Uwendung ze bestëmmen.