Trimetilaliuminis (TMAI)
Trimetilalumanas (TMAI)
| Sinonimai | Trimetilaliuminis, aliuminio trimetilas, aliuminio trimetanidas, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta katalizatorius, trimetilas, trimetilalanas. |
| Cas numeris | 75-24-1 |
| Cheminė formulė | C6H18Al2 |
| Molinė masė | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Išvaizda | Bespalvis skystis |
| Tankis | 0,752 g/cm³ |
| Lydymosi temperatūra | 15 ℃ (59 ℉; 288 K) |
| Virimo temperatūra | 125–130 ℃ (257–266 ℉, 398–403 K) |
| Tirpumas vandenyje | Reaguoja |
| Garų slėgis | 1,2 kPa (20 ℃), 9,24 kPa (60 ℃) |
| Klampumas | 1,12 cP (20 ℃), 0,9 cP (30 ℃) |
Trimetilaliuminis (TMAl), kaip metalo-organinių (MO) šaltinis, yra plačiai naudojamas puslaidininkių pramonėje ir yra pagrindinis atominio sluoksnio nusodinimo (ALD), cheminio garų nusodinimo (CVD) ir metalo-organinių cheminių garų nusodinimo (MOCVD) pirmtakas. Jis naudojamas didelio grynumo aliuminio turinčioms plėvelėms, tokioms kaip aliuminio oksidas ir aliuminio nitridas, gaminti. Be to, TMAl yra plačiai naudojamas kaip katalizatorius ir jo pagalbinė medžiaga organinėje sintezėje ir polimerizacijos reakcijose.
Trimetilaliuminis (TMAI) veikia kaip aliuminio oksido nusodinimo pirmtakas ir atlieka Ziegler-Natta katalizatoriaus funkciją. Jis taip pat yra dažniausiai naudojamas aliuminio pirmtakas metalo-organinės garų fazės epitaksijos (MOVPE) gamyboje. Be to, TMAI veikia kaip metilinimo agentas ir dažnai išleidžiamas iš zondavimo raketų kaip žymeklis viršutinės atmosferos vėjo modeliams tirti.
Įmonės specifikacija – 99,9999 % trimetilaliuminio – mažas silicio ir deguonies kiekis (6N TAMI – mažas silicio ir deguonies kiekis)
| Elementas | Rezultatas | Specifikacija | Elementas | Rezultatas | Specifikacija | Elementas | Rezultatas | Specifikacija |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Pastaba:
Virš visų PPM verčių pagal svorį ant metalo, o ND = neaptikta
Analizės metodas: ICP-OES/ICP-MS
FT-NMR rezultatai (FT-NMR organinių ir deguonies prisotintų priemaišų LOD yra 0,1 ppm):
Deguonies garantija <0,2 ppm (matuojama FT-NMR)
1. Neaptikta organinių priemaišų
2. Nerasta jokių deguonies prisotintų priemaišų
Kam naudojamas trimetilaliuminis (TMAI)?
Trimetilaliuminis (TMA)- Taikymas ir panaudojimas
Trimetilaliuminis (TMA) yra itin grynas organoaliuminio junginys, kuris yra svarbus pirmtakas kai kuriuose pažangiausiuose gamybos sektoriuose. Dėl išskirtinio reaktyvumo ir garų slėgio jis yra pasirinkta medžiaga tikslioms aliuminio turinčioms plėvelėms nusodinti elektronikos ir energetikos technologijose, taip pat yra pagrindinis komponentas poliolefinų gamyboje.
Mūsų TMA gaminamas laikantis griežčiausių grynumo standartų, griežtai kontroliuojant elementines, deguonimi prisotintas ir organines priemaišas, siekiant užtikrinti optimalų našumą net ir sudėtingiausiose jūsų reikmėse.
Pagrindinės taikymo sritys ir pramonės šakos:
1. Puslaidininkių ir mikroelektronikos gamyba
Puslaidininkių pramonėje TMA yra būtinas plonų plėvelių nusodinimui atominiu tikslumu.
* Aukštos k vertės dielektrikai: naudojami atominio sluoksnio nusodinimo (ALD) ir cheminio garų nusodinimo (CVD) procesuose, siekiant išauginti vienodas, be skylučių plonas aliuminio oksido (Al₂O₃) plėveles, kurios naudojamos kaip aukštos k vertės užtūros dielektrikai pažangiuose tranzistoriuose ir atminties įrenginiuose.
* Sudėtiniai puslaidininkiai: pageidaujamas aliuminio šaltinis metalo organinės garų fazės epitaksijoje (MOVPE), skirtoje didelio našumo III-V junginių puslaidininkiams auginti. Šios medžiagos yra būtinos:
* Aukšto dažnio elektronika: (pvz., AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelektronika: (pvz., AlGaN, AlInGaN)
2. Švari energija ir fotovoltinė energija
TMA užtikrina didesnį saulės energijos technologijų efektyvumą ir ilgaamžiškumą.
* Paviršiaus pasyvavimo sluoksniai: ALD arba plazma sustiprinto CVD (PECVD) metodu nusodintos aliuminio oksido (Al₂O₃) plėvelės iš TMA užtikrina išskirtinį kristalinio silicio saulės elementų paviršiaus pasyvavimą. Tai smarkiai sumažina krūvininkų rekombinaciją, todėl žymiai padidėja elementų konversijos efektyvumas ir ilgalaikis stabilumas.
3. Patobulintas apšvietimas ir ekranas (LED)
Didelio ryškumo ir energiją taupančių šviesos diodų gamybai naudojamas labai grynas TMA.
* LED epitaksija: tarnauja kaip aliuminio pirmtakas MOVPE reaktoriuose, siekiant auginti aktyviuosius sluoksnius (pvz., AlGaN) mėlynuose, žaliuose ir ultravioletiniuose LED.
* Įrenginio pasyvavimas: naudojamas apsauginėms aliuminio oksido arba aliuminio nitrido plėvelėms nusodinti, kurios padidina optinio ekstrakcijos efektyvumą ir pailgina LED įrenginių eksploatavimo laiką.
4. Pramoninė katalizė ir polimerų gamyba
TMA pramoninė reikšmė slypi jos vaidmenyje katalizėje.
* Poliolefino katalizė: tai pagrindinė pradinė medžiaga metilaluminoksano (MAO), svarbaus kokatalizatoriaus Ziegler-Natta ir metaloceno katalizatorių sistemose, sintezei. Šios sistemos pagamina didžiąją dalį pasaulyje pagaminamo polietileno ir polipropileno plastiko.
Pagrindinės charakteristikos ir privalumai:
* Itin didelis grynumas: kruopščiai kontroliuojamas, siekiant sumažinti priemaišas, kurios blogina elektroninį veikimą ir katalizinį aktyvumą.
* „Superior Precursor“: pasižymi puikiu lakumu, terminiu stabilumu ir švariomis skaidymo savybėmis, užtikrinančiomis aukštos kokybės plėvelės nusodinimą.
* Pramonės standartas: pripažintas ir patikimas aliuminio šaltinis MOVPE, ALD ir CVD procesams visame pasaulyje vykdomuose mokslinių tyrimų ir plėtros bei gamybos įrenginiuose.
* Plastiko pagrindas: pagrindinė žaliava, leidžianti gaminti universalius ir būtinus poliolefino polimerus.
Atsakomybės apribojimas: trimetilaliuminis yra piroforinė ir drėgmei jautri medžiaga, kuriai reikalingi specialūs tvarkymo ir saugos protokolai. Pateikta informacija yra skirta tik aprašymui. Naudotojas yra atsakingas už tai, kad ši medžiaga būtų tvarkoma laikantis visų taikomų saugos gairių ir kad būtų nustatyta, jog ji tinkama konkrečiam naudojimui.
