
Trimetilalumane (TMAI)
| Synonymes | Trimethylaluminum, Trimethyl aluminium, Trimethanide aluminium, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta Catalyst, Trimethyl-, Trimethylalane. |
| Laharana Cas | 75-24-1 |
| Raikipohy simika | C6H18Al2 |
| Lanja molar | 144.17 g/mol, 72.09 g/mol (C3H9Al) |
| Bika Aman 'endrika | Ranon-javatra tsy misy loko |
| hakitroky | 0.752 g/sm3 |
| Teboka miempo | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Teboka mangotraka | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| Fahalevonana anaty rano | fihetseham-pony |
| Tsindrin'ny etona | 1,2 kPa (20 ℃), 9,24 kPa (60 ℃) |
| Viskozité | 1,12 cP (20 ℃), 0,9 cP (30 ℃) |
Trimetila aluminium (TMAl), amin'ny maha-loharanon'ny metaly-organika (MO), dia ampiasaina betsaka amin'ny indostrian'ny semiconductor ary miasa ho toy ny mpialoha lalana fototra amin'ny fametrahana sosona atomika (ALD), fametrahana etona simika (CVD), ary fametrahana etona simika metaly-organika (MOCVD). Ampiasaina hanomanana sarimihetsika misy aliminioma madio avo lenta izy io, toy ny aliminioma oksida sy aliminioma nitrida. Fanampin'izany, ny TMAl dia mahita fampiharana betsaka amin'ny maha-katalista sy ny singa mpanampy azy amin'ny synthesis organika sy ny fihetsiky ny polymerization.
Ny Trimethylaluminum (TMAI) dia miasa ho toy ny mpialoha lalana amin'ny fametrahana oksida aliminioma ary miasa ho toy ny katalista Ziegler-Natta. Izy io koa no mpialoha lalana aliminioma ampiasaina matetika indrindra amin'ny famokarana epitaxy dingana etona metaly-organika (MOVPE). Ankoatra izany, ny TMAI dia miasa ho toy ny mpandraharaha methylation ary matetika avoaka avy amin'ny balafomanga feo ho toy ny tracer amin'ny fandalinana ny lamina rivotra ambony amin'ny atmosfera.
Famaritana orinasa momba ny 99.9999% Trimethylaluminum - Silisiôma ambany sy oksizenina ambany (6N TAMI-Si ambany sy Ox ambany)
| singa | vokany | famaritana | singa | vokany | famaritana | singa | vokany | famaritana |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
Fanamarihana:
Ambonin'ny zava-drehetra, omeo lanja ny PPM amin'ny metaly, ary ny ND = tsy hita
Fomba famakafakana: ICP-OES/ICP-MS
Vokatra FT-NMR (LOD ho an'ny fahalotoana organika sy oksizenina FT-NMR dia 0.1ppm):
Antoka oksizenina <0.2 ppm (Refesina amin'ny FT-NMR)
1. Tsy misy loto organika hita
2. Tsy misy loto misy oksizenina hita
Inona no ampiasana ny Trimethylaluminum (TMAI)?
Trimetilalumine (TMA)- Fampiharana sy Fampiasana
Ny Trimethylaluminum (TMA) dia akora organoaluminium madio avo lenta izay miasa ho toy ny singa fototra tena ilaina amin'ny sasany amin'ireo sehatry ny famokarana mandroso indrindra. Ny fahaizany mihetsika sy ny tsindrin'ny etona miavaka dia mahatonga azy io ho fitaovana safidy tsara indrindra amin'ny fametrahana sarimihetsika misy aliminioma mazava tsara amin'ny teknolojia elektronika sy angovo, ary koa singa fototra amin'ny famokarana polyolefin.
Novokarina araka ny fenitra fahadiovana henjana indrindra ny TMA-nay, miaraka amin'ny fanaraha-maso hentitra ny loto misy singa, oksizenina ary organika mba hahazoana antoka ny fahombiazana tsara indrindra amin'ny fampiharana sarotra indrindra ataonao.
Fampiharana sy indostria voalohany:
1. Fanamboarana Semiconductor & Microelectronics
Ao amin'ny indostrian'ny semiconductor, ny TMA dia tena ilaina amin'ny fametrahana sarimihetsika manify miaraka amin'ny fahamarinan'ny ambaratonga atomika.
* Dielektrika k-avo: Ampiasaina amin'ny fametrahana sosona atomika (ALD) sy ny fametrahana etona simika (CVD) mba hampitomboana sarimihetsika manify tsy misy lavaka kely amin'ny oksida aliminioma (Al₂O₃), izay miasa toy ny dielektrika vavahady k-avo amin'ny transistors sy fitaovana fitadidiana mandroso.
* Semiconducteur mitambatra: Ny loharano aliminioma tiana indrindra ao amin'ny Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) ho an'ny fambolena semiconducteur mitambatra III-V avo lenta. Ireto fitaovana ireto dia tena ilaina amin'ny:
* Elektronika matetika avo lenta: (oh: AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelektronika: (oh: AlGaN, AlInGaN)
2. Angovo Madio & Fotovoltaika
Ny TMA dia ahafahana mahomby kokoa sy maharitra kokoa amin'ny teknolojian'ny angovo azo avy amin'ny masoandro.
* Sosona Fampidirana Ety Ambony: Apetraka amin'ny alalan'ny ALD na Plasma-Enhanced CVD (PECVD), ny sarimihetsika aluminium oksida (Al₂O₃) avy amin'ny TMA dia manome fampidirana ety ambonin'ny sela masoandro silikônina kristaly miavaka. Izany dia mampihena be ny fampifangaroana ny mpitondra fiampangana, izay mitarika ho amin'ny tombony lehibe amin'ny fahombiazan'ny fiovam-po sela sy ny fahamarinan-toerana maharitra.
3. Jiro sy Fampisehoana Mandroso (LED)
Ny famokarana LED mamiratra sy mitsitsy angovo dia miankina amin'ny TMA madio avo lenta.
* Epitaxy LED: Miasa ho toy ny mpialoha lalana ny aliminioma ao amin'ny reactor MOVPE mba hampitomboana ireo sosona mavitrika (ohatra, AlGaN) amin'ny LED manga, maitso ary ultraviolet.
* Fampitsaharana ny fiasan'ny fitaovana: Ampiasaina hametrahana sarimihetsika fiarovana aluminium oksida na aluminium nitrida izay manatsara ny fahombiazan'ny fitrandrahana optika ary manalava ny androm-piainan'ny fitaovana LED.
4. Katalisisa indostrialy sy famokarana pôlimera
Ny maha-zava-dehibe ny TMA amin'ny indostria dia miorim-paka amin'ny anjara asany amin'ny katalisisa.
* Katalisisa Polyolefin: Io no akora fototra voalohany amin'ny fanamboarana ny Methylaluminoxane (MAO), izay mpiara-katalista tena ilaina amin'ny rafitra katalista Ziegler-Natta sy metallocene. Ireo rafitra ireo no mamokatra ny ankamaroan'ny plastika polyethylene sy polypropylene eran-tany.
Toetra sy Tombontsoa fototra:
* Fahadiovana Avo Indrindra: Voafehy tsara mba hampihenana ny loto izay manimba ny fahombiazan'ny elektronika sy ny asan'ny katalitika.
* Precursor Ambony: Manolotra fiovaovan'ny hafanana, fahamarinan-toerana tsara, ary toetra tsara amin'ny fahapotehana ho an'ny fametrahana sarimihetsika avo lenta.
* Fenitra Indostria: Loharano aliminioma efa miorina sy azo itokisana ho an'ny fizotran'ny MOVPE, ALD, ary CVD manerana ny toeram-pikarohana sy fampandrosoana ary famokarana manerantany.
* Fototra ho an'ny Plastika: Akora fototra ahafahana mamokatra pôlimera polyolefin izay azo ampiasaina amin'ny zavatra maro sy tena ilaina.
Fanamarihana: Ny Trimethylaluminum dia akora mora tohina amin'ny hamandoana sy ny hafanana izay mitaky fikirakirana manokana sy fiarovana. Ny fampahalalana omena dia natao ho fanazavana fotsiny. Andraikitry ny mpampiasa ny mikirakira ity akora ity araka ny torolàlana fiarovana rehetra mihatra ary mamaritra ny maha-mety azy amin'ny fampiharana manokana.