ትሪሜቲላሉሚኒየም (TMAI)
ትራይሜቲላሉሜን (TMAI)
| ተመሳሳይ ቃላት | ትሪሜቲላሉሚኒየም፣ አሉሚኒየም ትሪሜቲል፣ አሉሚኒየም ትሪሜታኒድ፣ TMA፣ TMAL፣ AlMe3፣ ዚግለር-ናታ ካታሊስት፣ ትሪሜቲል-፣ ትሪሜቲላሌን። |
| የጉዳይ ቁጥር | 75-24-1 |
| የኬሚካል ቀመር | C6H18Al2 |
| ሞላር ክብደት | 144.17 ግ/ሞል፣ 72.09 ግ/ሞል (C3H9Al) |
| መልክ | ቀለም የሌለው ፈሳሽ |
| ጥግግት | 0.752 ግ/ሴሜ 3 |
| የመቅለጥ ነጥብ | 15℃ (59 ℉፤ 288K) |
| የማብሰያ ነጥብ | 125--130℃ (257--266 ℉፣ 398--403K) |
| በውሃ ውስጥ የመሟሟት ችሎታ | ምላሾች |
| የእንፋሎት ግፊት | 1.2 ኪፒኤ (20 ℃)፣ 9.24 ኪፒኤ (60 ℃) |
| viscosity | 1.12 ሲፒ (20 ℃)፣ 0.9 ሲፒ (30 ℃) |
ትሪሜቲላሉሚኒየም (TMAl)እንደ ብረት-ኦርጋኒክ (MO) ምንጭ፣ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን ለአቶሚክ ንብርብር ማስቀመጫ (ALD)፣ ለኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD) እና ለብረት-ኦርጋኒክ የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (MOCVD) ቁልፍ ቅድመ ሁኔታ ሆኖ ያገለግላል። እንደ አሉሚኒየም ኦክሳይድ እና አሉሚኒየም ናይትሬድ ያሉ ከፍተኛ ንፁህ የአሉሚኒየም የያዙ ፊልሞችን ለማዘጋጀት ያገለግላል። በተጨማሪም፣ ቲኤምአል በኦርጋኒክ ውህደት እና ፖሊሜራይዜሽን ግብረመልሶች ውስጥ እንደ ማነቃቂያ እና ረዳት ወኪል ሰፊ አተገባበርን ያገኛል።
ትሪሜቲላሉሚኒየም (TMAI) ለአሉሚኒየም ኦክሳይድ ክምችት እንደ ቅድመ ሁኔታ ሆኖ የሚያገለግል ሲሆን እንደ ዚግለር-ናታ ካታሊስት ሆኖ ያገለግላል። እንዲሁም በብረት-ኦርጋኒክ የእንፋሎት-ደረጃ ኤፒታክሲ (MOVPE) ምርት ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የአሉሚኒየም ቅድመ ሁኔታ ነው። በተጨማሪም፣ TMAI እንደ ሜቲሌሽን ወኪል ሆኖ የሚያገለግል ሲሆን የላይኛውን የከባቢ አየር የንፋስ ቅጦችን ለማጥናት እንደ መከታተያ ሆኖ ከድምፅ ሮኬቶች ይለቀቃል።
የ99.9999% ትሪሜቲላሉሚኒየም የኢንተርፕራይዝ ዝርዝር መግለጫ - ዝቅተኛ ሲሊኮን እና ዝቅተኛ የኦክስጅን ይዘት (6N TAMI-ዝቅተኛ Si እና ዝቅተኛ በሬ)
| ኤለመንት | ውጤት | ዝርዝር መግለጫ | ኤለመንት | ውጤት | ዝርዝር መግለጫ | ኤለመንት | ውጤት | ዝርዝር መግለጫ |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
ማሳሰቢያ፡
ከሁሉም በላይ በብረት ላይ ባለው ክብደት የ PPM እሴት፣ እና ND = አልተገኘም
የትንታኔ ዘዴ፡ ICP-OES/ICP-MS
የFT-NMR ውጤቶች (ለ FT-NMR ኦርጋኒክ እና ኦክሲጅን ያለበት የLOD ብክለት 0.1ppm ነው)
የኦክስጅን ዋስትና <0.2 ppm (በFT-NMR ይለካል)
1. ምንም ኦርጋኒክ ቆሻሻ አልተገኘም
2. ምንም ኦክስጅን የያዙ ቆሻሻዎች አልተገኙም
ትሪሜቲላሉሚኒየም (TMAI) ለምን ጥቅም ላይ ይውላል?
ትሪሜቲላሉሚኒየም (TMA)- አፕሊኬሽኖች እና አጠቃቀሞች
ትሪሜቲላሉሚኒየም (TMA) እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የኦርጋኖአሉሚኒየም ውህድ ሲሆን በአንዳንድ እጅግ በጣም የላቁ የማኑፋክቸሪንግ ዘርፎች ውስጥ ወሳኝ ቅድመ ሁኔታ ሆኖ ያገለግላል። ልዩ የሆነው የሪአክቲቭ እንቅስቃሴው እና የእንፋሎት ግፊቱ ትክክለኛ የአሉሚኒየም የያዙ ፊልሞችን በኤሌክትሮኒክስ እና በኢነርጂ ቴክኖሎጂዎች ውስጥ ለማስቀመጥ እንዲሁም በፖሊኦሌፊን ምርት ውስጥ መሰረታዊ አካል ያደርገዋል።
የእኛ ቲኤምኤ በጣም ጥብቅ በሆኑ የንፅህና ደረጃዎች የተመረተ ሲሆን፣ በጣም በሚያስፈልጉ አፕሊኬሽኖችዎ ውስጥ ጥሩ አፈጻጸም ለማረጋገጥ በኤለመንቶች፣ በኦክሲጅን እና በኦርጋኒክ ቆሻሻዎች ላይ ጥብቅ ቁጥጥር በማድረግ ነው።
ዋና ዋና አፕሊኬሽኖች እና ኢንዱስትሪዎች፡
1. ሴሚኮንዳክተር እና ማይክሮኤሌክትሮኒክስ ማምረቻ
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ ቲኤምኤ በአቶሚክ ሚዛን ትክክለኛነት ያላቸውን ቀጭን ፊልሞች ለማስቀመጥ በጣም አስፈላጊ ነው።
* ከፍተኛ-ኪ ዳይኤሌክትሪክስ፡- በአቶሚክ ንብርብር ዲፖዚሽን (ALD) እና በኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD) ውስጥ ተመሳሳይ፣ ፒንሆል-ነጻ የሆኑ ቀጭን የአሉሚኒየም ኦክሳይድ (Al₂O₃) ፊልሞችን ለማሳደግ ጥቅም ላይ ይውላል፣ እነዚህም በተራቀቁ ትራንዚስተሮች እና የማህደረ ትውስታ መሳሪያዎች ውስጥ እንደ ከፍተኛ-ኪ ጌት ዲኤሌክትሪክስ ሆነው ያገለግላሉ።
* ውህድ ሴሚኮንዳክተሮች፡- ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የIII-V ውህድ ሴሚኮንዳክተሮችን ለማሳደግ በሜታኖጂካል እንፋሎት ፋዝ ኤፒታክሲ (MOVPE) ውስጥ ተመራጭ የአሉሚኒየም ምንጭ። እነዚህ ቁሳቁሶች ለ፡-
* ከፍተኛ-ድግግሞሽ ኤሌክትሮኒክስ፡ (ለምሳሌ፣ AlGaAs፣ AlInGaP)
* ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ፡ (ለምሳሌ፣ AlGaN፣ AlInGaN)
2. ንፁህ ኢነርጂ እና ፎቶቮልታይክስ
TMA በፀሐይ ኃይል ቴክኖሎጂዎች ውስጥ ከፍተኛ ቅልጥፍና እና ዘላቂነት እንዲኖር ያስችላል።
* የገጽታ ማለፊያ ንብርብሮች፡- በALD ወይም በፕላዝማ-የተሻሻለ CVD (PECVD) በኩል የተቀመጡ፣ ከ TMA የተገኙ የአሉሚኒየም ኦክሳይድ (Al₂O₃) ፊልሞች ለክሪስታሊን ሲሊከን የፀሐይ ሴሎች አስደናቂ የገጽታ ማለፊያ ይሰጣሉ። ይህ የኃይል መሙያ ተሸካሚ ዳግም ውህደትን በእጅጉ ይቀንሳል፣ ይህም በሴል ልወጣ ቅልጥፍና እና የረጅም ጊዜ መረጋጋት ላይ ከፍተኛ ጭማሪ ያስከትላል።
3. የላቀ መብራት እና ማሳያ (LED)
ከፍተኛ ብሩህነት እና ኃይል ቆጣቢ የ LEDs ማምረት በከፍተኛ ንፅህና TMA ላይ የተመሰረተ ነው።
* የ LED Epitaxy፡- በ MOVPE ሬአክተሮች ውስጥ እንደ አልሙኒየም ፕሪኮርደር ሆኖ ያገለግላል፣ ይህም ንቁ ንብርብሮችን (ለምሳሌ፣ AlGaN) በሰማያዊ፣ አረንጓዴ እና አልትራቫዮሌት ኤልኢዲዎች ውስጥ እንዲያድጉ ያደርጋል።
* የመሣሪያ ማለፊያ፡- የኦፕቲካል ማውጣት ቅልጥፍናን የሚያሻሽሉ እና የኤልኢዲ መሳሪያዎችን የስራ ዘመን የሚያራዝሙ የመከላከያ አልሙኒየም ኦክሳይድ ወይም አልሙኒየም ናይትሬድ ፊልሞችን ለማስቀመጥ ይጠቅማል።
4. የኢንዱስትሪ ካታሊሲስ እና ፖሊመር ፕሮዳክሽን
የቲኤምኤ የኢንዱስትሪ ጠቀሜታ የተመሰረተው በካታሊሲስ ውስጥ ባለው ሚና ነው።
* ፖሊኦሌፊን ካታሊሲስ፡- በዚግለር-ናታ እና በሜታሎሴን ካታሊስት ስርዓቶች ውስጥ ወሳኝ ተባባሪ ካታሊስት የሆነውን ሜቲላሉሚኖክሳን (MAO) ውህደትን ለማካሄድ ዋናው መነሻ ቁሳቁስ ነው። እነዚህ ስርዓቶች በዓለም ላይ ካሉት ፖሊኢታይሊን እና ፖሊፕሮፒሊን ፕላስቲኮች ውስጥ አብዛኛውን ያመርታሉ።
ቁልፍ ባህሪያት እና ጥቅሞች፡
* እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና፡- የኤሌክትሮኒክስ አፈጻጸምን እና የካታሊቲክ እንቅስቃሴን የሚያበላሹ ቆሻሻዎችን ለመቀነስ በጥንቃቄ ቁጥጥር የሚደረግበት።
* የላቀ ቅድመ-ዝግጅት፡- ከፍተኛ ጥራት ያለው የፊልም ክምችት እንዲኖር እጅግ በጣም ጥሩ ተለዋዋጭነት፣ የሙቀት መረጋጋት እና ንፁህ የመበስበስ ባህሪያትን ይሰጣል።
* የኢንዱስትሪ ደረጃ፡- በዓለም አቀፍ የምርምር እና ልማት እና የማምረቻ ተቋማት ውስጥ ለMOVPE፣ ALD እና CVD ሂደቶች የተቋቋመ እና የታመነ የአሉሚኒየም ምንጭ።
* ለፕላስቲክስ መሠረት፡- ሁለገብ እና አስፈላጊ የሆኑ የፖሊኦሌፊን ፖሊመሮችን ለማምረት የሚያስችል ቁልፍ ጥሬ እቃ።
ማስተባበያ፡ ትሪሜቲላሉሚኒየም ልዩ የአያያዝ እና የደህንነት ፕሮቶኮሎችን የሚፈልግ ፒሮፎሪክ እና እርጥበት-ስሜታዊ ቁሳቁስ ነው። የቀረበው መረጃ ለማብራሪያ ዓላማዎች ነው። ይህንን ቁሳቁስ በሁሉም የሚመለከታቸው የደህንነት መመሪያዎች መሠረት ማስተናገድ እና ለአንድ የተወሰነ መተግበሪያ ተስማሚነቱን መወሰን የተጠቃሚው ኃላፊነት ነው።
