
ट्रायमिथाइलॲल्युमेन (TMAI)
| समानार्थी शब्द | ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियम, ॲल्युमिनियम ट्रायमिथाइल, ॲल्युमिनियम ट्रायमेथनाइड, टीएमए, टीएमएएल, AlMe3, झिग्लर-नाटा उत्प्रेरक, ट्रायमिथाइल-, ट्रायमिथाइलॲलेन. |
| कॅस क्रमांक | ७५-२४-१ |
| रासायनिक सूत्र | C6H18Al2 |
| मोलर वस्तुमान | १४४.१७ ग्रॅम/मोल, ७२.०९ ग्रॅम/मोल (C3H9Al) |
| देखावा | रंगहीन द्रव |
| घनता | ०.७५२ ग्रॅम/सेमी³ |
| वितळणबिंदू | १५℃ (५९ ℉; २८८K) |
| उकळत्या बिंदू | १२५--१३०℃ (२५७--२६६ ℉, ३९८--४०३K) |
| पाण्यात विद्राव्यता | प्रतिक्रिया |
| बाष्प दाब | 1.2 kPa (20℃), 9.24 kPa (60℃) |
| स्निग्धता | 1.12 cP (20℃), 0.9 cP (30℃) |
ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियम (टीएमएएल)मेटल-ऑरगॅनिक (MO) स्रोत म्हणून, TMAl चा सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो आणि ते ॲटोमिक लेयर डिपॉझिशन (ALD), केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD), आणि मेटल-ऑरगॅनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) साठी एक प्रमुख पूर्वसूचक म्हणून काम करते. ॲल्युमिनियम ऑक्साईड आणि ॲल्युमिनियम नायट्राइड यांसारख्या उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिनियम-युक्त फिल्म्स तयार करण्यासाठी याचा उपयोग केला जातो. याव्यतिरिक्त, सेंद्रिय संश्लेषण आणि पॉलिमरायझेशन अभिक्रियांमध्ये उत्प्रेरक आणि त्याचा सहायक घटक म्हणून TMAl चा व्यापक वापर आढळतो.
ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियम (TMAI) हे ॲल्युमिनियम ऑक्साईडच्या निक्षेपणासाठी पूर्वगामी म्हणून काम करते आणि झिग्लर-नाटा उत्प्रेरक म्हणूनही कार्य करते. मेटल-ऑरगॅनिक व्हेपर-फेज एपिटॅक्सी (MOVPE) च्या उत्पादनातही हा सर्वात सामान्यपणे वापरला जाणारा ॲल्युमिनियम पूर्वगामी आहे. याव्यतिरिक्त, TMAI मिथायलेशन कारक म्हणून काम करते आणि वरच्या वातावरणातील वाऱ्यांच्या प्रवाहाचा अभ्यास करण्यासाठी एक शोधक म्हणून साउंडिंग रॉकेटमधून वारंवार सोडले जाते.
९९.९९९९% ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियमचे एंटरप्राइझ स्पेसिफिकेशन - कमी सिलिकॉन आणि कमी ऑक्सिजन प्रमाण (6N TAMI-Low Si and Low Ox)
| घटक | निकाल | तपशील | घटक | निकाल | तपशील | घटक | निकाल | तपशील |
| Ag | ND | <०.०३ | Cr | ND | <०.०२ | S | ND | <०.०५ |
| As | ND | <०.०३ | Cu | ND | <०.०२ | Sb | ND | <०.०५ |
| Au | ND | <०.०२ | Fe | ND | <०.०४ | Si | ND | ≤०.००३ |
| B | ND | <०.०३ | Ge | ND | <०.०५ | Sn | ND | <०.०५ |
| Ba | ND | <०.०२ | Hg | ND | <०.०३ | Sr | ND | <०.०३ |
| Be | ND | <०.०२ | La | ND | <०.०२ | Ti | ND | <०.०५ |
| Bi | ND | <०.०३ | Mg | ND | <०.०२ | V | ND | <०.०३ |
| Ca | ND | <०.०३ | Mn | ND | <०.०३ | Zn | ND | <०.०५ |
| Cd | ND | <०.०२ | Ni | ND | <०.०३ | |||
| Co | ND | <०.०२ | Pb | ND | <०.०३ |
टीप:
वरील सर्व मूल्य धातूवर वजनानुसार पीपीएम (PPM) आहे, आणि एनडी (ND) = आढळले नाही.
विश्लेषण पद्धत: ICP-OES/ICP-MS
एफटी-एनएमआर निकाल (एफटी-एनएमआर सेंद्रिय आणि ऑक्सिजनयुक्त अशुद्धीसाठी एलओडी ०.१ पीपीएम आहे):
ऑक्सिजनची हमी <०.२ पीपीएम (एफटी-एनएमआर मध्ये मोजलेले)
१. कोणत्याही सेंद्रिय अशुद्धी आढळल्या नाहीत.
२. ऑक्सिजनयुक्त अशुद्धी आढळली नाही.
ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियम (TMAI) कशासाठी वापरले जाते?
ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियम (TMA)अनुप्रयोग आणि उपयोग
ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियम (TMA) हे एक अति-उच्च-शुद्धतेचे ऑर्गनोॲल्युमिनियम संयुग आहे, जे काही अत्यंत प्रगत उत्पादन क्षेत्रांमध्ये एक महत्त्वपूर्ण पूर्वगामी घटक म्हणून काम करते. त्याची विलक्षण अभिक्रियाशीलता आणि बाष्प दाब यांमुळे, इलेक्ट्रॉनिक्स आणि ऊर्जा तंत्रज्ञानामध्ये ॲल्युमिनियमयुक्त अचूक थर जमा करण्यासाठी, तसेच पॉलिओलेफिन उत्पादनामध्ये एक पायाभूत घटक म्हणून, हे एक पसंतीचे साहित्य ठरते.
आमचे TMA अत्यंत कठोर शुद्धता मानकांनुसार तयार केले जाते, तसेच तुमच्या सर्वात आव्हानात्मक अनुप्रयोगांमध्ये सर्वोत्तम कार्यप्रदर्शन सुनिश्चित करण्यासाठी मूलद्रव्यीय, ऑक्सिजनयुक्त आणि सेंद्रिय अशुद्धतांवर काटेकोर नियंत्रण ठेवले जाते.
प्राथमिक अनुप्रयोग आणि उद्योग:
१. सेमीकंडक्टर आणि मायक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स फॅब्रिकेशन
सेमीकंडक्टर उद्योगात, अणू-स्तरीय अचूकतेने पातळ थर जमा करण्यासाठी TMA अपरिहार्य आहे.
* हाय-के डायइलेक्ट्रिक्स: ॲटोमिक लेयर डिपॉझिशन (ALD) आणि केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) मध्ये ॲल्युमिनियम ऑक्साईड (Al₂O₃) चे एकसमान, छिद्ररहित पातळ थर तयार करण्यासाठी वापरले जातात, जे प्रगत ट्रान्झिस्टर आणि मेमरी उपकरणांमध्ये हाय-के गेट डायइलेक्ट्रिक्स म्हणून काम करतात.
* संयुक्त अर्धसंवाहक: मेटलऑरगॅनिक व्हेपर फेज एपिटॅक्सी (MOVPE) मध्ये उच्च-कार्यक्षम III-V संयुक्त अर्धसंवाहक तयार करण्यासाठी ॲल्युमिनियमचा पसंतीचा स्रोत. हे साहित्य यासाठी आवश्यक आहे:
* उच्च-वारंवारता इलेक्ट्रॉनिक्स: (उदा., AlGaAs, AlInGaP)
ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स: (उदा., AlGaN, AlInGaN)
२. स्वच्छ ऊर्जा आणि फोटोव्होल्टाईक्स
TMA मुळे सौर ऊर्जा तंत्रज्ञानामध्ये अधिक कार्यक्षमता आणि टिकाऊपणा येतो.
* पृष्ठभाग निष्क्रियीकरण थर: TMA कडून मिळणारे ॲल्युमिनियम ऑक्साईड (Al₂O₃) थर, जे ALD किंवा प्लाझ्मा-वर्धित CVD (PECVD) द्वारे जमा केले जातात, ते क्रिस्टलाइन सिलिकॉन सौर पेशींसाठी उत्कृष्ट पृष्ठभाग निष्क्रियीकरण प्रदान करतात. यामुळे चार्ज वाहकांचे पुनर्मिलन मोठ्या प्रमाणात कमी होते, परिणामी पेशीच्या रूपांतरण कार्यक्षमतेत आणि दीर्घकालीन स्थिरतेत लक्षणीय वाढ होते.
३. प्रगत प्रकाशयोजना आणि डिस्प्ले (एलईडी)
उच्च-तेजस्वी आणि ऊर्जा-कार्यक्षम एलईडींचे उत्पादन उच्च-शुद्धता असलेल्या टीएमएवर अवलंबून असते.
* एलईडी एपिटॅक्सी: निळ्या, हिरव्या आणि अतिनील एलईडीमधील सक्रिय थर (उदा., AlGaN) वाढवण्यासाठी MOVPE रिअॅक्टरमध्ये ॲल्युमिनियम पूर्वसूचक म्हणून काम करते.
* डिव्हाइस पॅसिव्हेशन: एलईडी उपकरणांची ऑप्टिकल एक्स्ट्रॅक्शन कार्यक्षमता वाढवण्यासाठी आणि त्यांचे कार्यात्मक आयुष्य वाढवण्यासाठी संरक्षक ॲल्युमिनियम ऑक्साईड किंवा ॲल्युमिनियम नायट्राइडचे थर जमा करण्यासाठी वापरले जाते.
४. औद्योगिक उत्प्रेरक आणि पॉलिमर उत्पादन
TMA चे औद्योगिक महत्त्व उत्प्रेरणातील त्याच्या भूमिकेत रुजलेले आहे.
पॉलिओलेफिन उत्प्रेरण: मिथाइलॲल्युमिनोक्सेन (MAO) च्या संश्लेषणासाठी हा प्राथमिक प्रारंभिक पदार्थ आहे, जो झिग्लर-नाटा आणि मेटॅलोसीन उत्प्रेरक प्रणालींमध्ये एक महत्त्वपूर्ण सह-उत्प्रेरक आहे. या प्रणालींद्वारे जगातील बहुतांश पॉलिथिलीन आणि पॉलिप्रोपिलिन प्लॅस्टिकचे उत्पादन होते.
प्रमुख वैशिष्ट्ये आणि फायदे:
अति-उच्च शुद्धता: इलेक्ट्रॉनिक कार्यक्षमता आणि उत्प्रेरक क्रियाकलाप कमी करणाऱ्या अशुद्धता कमी करण्यासाठी काळजीपूर्वक नियंत्रित केले जाते.
* उत्कृष्ट पूर्वसूचक: उच्च-गुणवत्तेच्या फिल्म निक्षेपणासाठी उत्कृष्ट बाष्पशीलता, औष्णिक स्थिरता आणि स्वच्छ विघटन वैशिष्ट्ये प्रदान करतो.
उद्योग मानक: जागतिक संशोधन आणि विकास (R&D) आणि उत्पादन सुविधांमधील MOVPE, ALD, आणि CVD प्रक्रियांसाठीचा प्रस्थापित, विश्वसनीय ॲल्युमिनियम स्रोत.
प्लास्टिकचा पाया: बहुगुणी आणि अत्यावश्यक पॉलिओलेफिन पॉलिमरच्या उत्पादनास सक्षम करणारा एक प्रमुख कच्चा माल.
अस्वीकरण: ट्रायमिथाइलॲल्युमिनियम हा एक ज्वलनशील आणि आर्द्रतेस संवेदनशील पदार्थ आहे, ज्यासाठी विशेष हाताळणी आणि सुरक्षा नियमावली आवश्यक आहे. दिलेली माहिती केवळ वर्णनात्मक हेतूंसाठी आहे. सर्व लागू सुरक्षा मार्गदर्शक तत्त्वांनुसार हा पदार्थ हाताळणे आणि विशिष्ट वापरासाठी त्याची उपयुक्तता निश्चित करणे ही वापरकर्त्याची जबाबदारी आहे.