Триметилалалюминий (TMAI)
Триметилалуман (TMAI)
| Ижил утгатай үгс | Триметилалалюминий, Хөнгөн цагаан Триметил, Хөнгөн цагаан Триметанид, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta катализатор, Триметил-, Триметилалан. |
| Кассын дугаар | 75-24-1 |
| Химийн томъёо | C6H18Al2 |
| Молийн масс | 144.17 г/моль, 72.09 г/моль (C3H9Al) |
| Гадаад төрх | Өнгөгүй шингэн |
| Нягтрал | 0.752 г/см3 |
| Хайлах цэг | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Буцалгах цэг | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| Усанд уусах чадвар | Хариу үйлдэл үзүүлнэ |
| Уурын даралт | 1.2 кПа (20℃), 9.24 кПа (60℃) |
| Зуурамтгай чанар | 1.12 cP (20℃), 0.9 cP (30℃) |
Триметилалалюминий (TMAl), металл-органик (MO) эх үүсвэр болохын хувьд хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд атомын давхаргын тунадасжилт (ALD), химийн уурын тунадасжилт (CVD), металл-органик химийн уурын тунадасжилт (MOCVD)-ийн гол урьдал бодис болдог. Үүнийг хөнгөн цагааны исэл, хөнгөн цагааны нитрид зэрэг өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан агуулсан хальс бэлтгэхэд ашигладаг. Нэмж дурдахад, TMAl нь органик синтез ба полимержих урвалд катализатор болон түүний туслах бодис болгон өргөн хэрэглэгддэг.
Триметилалалюминий (TMAI) нь хөнгөн цагааны ислийн тунадасжилтын урьдал бодис болж, Зиглер-Натта катализаторын үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ нь мөн металл-органик уурын фазын эпитакси (MOVPE) үйлдвэрлэхэд хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг хөнгөн цагааны урьдал бодис юм. Цаашилбал, TMAI нь метилжилтийн бодис болж үйлчилдэг бөгөөд дээд агаар мандлын салхины хэв маягийг судлах зорилгоор пуужингийн хэмжилтээс байнга ялгардаг.
99.9999% Триметилалалюминий үйлдвэрлэлийн тодорхойлолт - Бага цахиур ба бага хүчилтөрөгчийн агууламжтай (6N TAMI - Бага Si ба Бага Оксиген)
| Элемент | Үр дүн | Тодорхойлолт | Элемент | Үр дүн | Тодорхойлолт | Элемент | Үр дүн | Тодорхойлолт |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
Тэмдэглэл:
Хамгийн гол нь металл дээрх жингээр PPM утга, мөн ND=илрээгүй
Шинжилгээний арга: ICP-OES/ICP-MS
FT-NMR-ийн үр дүн (FT-NMR органик болон хүчилтөрөгчтэй хольцын LOD нь 0.1ppm):
Хүчилтөрөгчийн баталгаа <0.2 ppm (FT-NMR-ээр хэмжсэн)
1. Органик хольц илрээгүй
2. Хүчилтөрөгчтэй хольц илрээгүй
Триметилалалюминий (TMAI)-г юунд ашигладаг вэ?
Триметилалалюминий (TMA)- Хэрэглээ ба хэрэглээ
Триметилалалюминий (TMA) нь хамгийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн салбаруудад чухал урьдал бодис болдог хэт өндөр цэвэршилттэй органик хөнгөн цагааны нэгдэл юм. Түүний онцгой урвалд орох чадвар болон уурын даралт нь электроник болон эрчим хүчний технологид хөнгөн цагаан агуулсан нарийн хальсыг хуримтлуулахад сонгох материал, мөн полиолефин үйлдвэрлэлийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болгодог.
Манай TMA нь хамгийн хатуу цэвэршилтийн стандартын дагуу үйлдвэрлэгддэг бөгөөд хамгийн хүнд нөхцөлд оновчтой гүйцэтгэлийг хангахын тулд элемент, хүчилтөрөгч болон органик хольцыг чанд хянадаг.
Үндсэн хэрэглээ ба салбарууд:
1. Хагас дамжуулагч ба микроэлектроникийн үйлдвэрлэл
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд TMA нь атомын хэмжээний нарийвчлалтай нимгэн хальсыг хуримтлуулахад зайлшгүй шаардлагатай байдаг.
* Өндөр-k диэлектрик: Атомын давхаргын тунадасжилт (ALD) болон химийн уурын тунадасжилт (CVD)-д хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-ийн жигд, зүү нүхгүй нимгэн хальсыг ургуулахад ашигладаг бөгөөд эдгээр нь дэвшилтэт транзистор болон санах ойн төхөөрөмжүүдэд өндөр-k хаалгатай диэлектрик болж үйлчилдэг.
* Нийлмэл хагас дамжуулагч: Өндөр хүчин чадалтай III-V нэгдлийн хагас дамжуулагчийг ургуулахад зориулсан Металорганик Уурын Фазын Эпитакси (MOVPE)-ийн давуу талтай хөнгөн цагааны эх үүсвэр. Эдгээр материалууд нь дараахь зүйлд зайлшгүй шаардлагатай.
* Өндөр давтамжийн электроник: (жишээ нь, AlGaAs, AlInGaP)
* Оптоэлектроник: (жишээ нь, AlGaN, AlInGaN)
2. Цэвэр эрчим хүч ба фотоволтайк
TMA нь нарны эрчим хүчний технологид илүү өндөр үр ашиг, бат бөх чанарыг олгодог.
* Гадаргуугийн идэвхгүйжүүлэлтийн давхаргууд: ALD эсвэл плазм сайжруулсан CVD (PECVD) хальсаар дамжуулан хуримтлагдсан TMA-аас гаргаж авсан хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) нь талст цахиурын нарны зайнуудад гадаргуугийн гайхалтай идэвхгүйжүүлэлтийг хангадаг. Энэ нь цэнэг зөөгч рекомбинацийг эрс бууруулж, эсийн хувиргалтын үр ашиг болон урт хугацааны тогтвортой байдлыг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг.
3. Дэвшилтэт гэрэлтүүлэг ба дэлгэц (LED)
Өндөр тод, эрчим хүчний хэмнэлттэй LED үйлдвэрлэх нь өндөр цэвэршилттэй TMA-д тулгуурладаг.
* LED эпитакси: MOVPE реакторуудад цэнхэр, ногоон болон хэт ягаан туяаны LED-д идэвхтэй давхаргыг (жишээ нь, AlGaN) ургуулахын тулд хөнгөн цагааны урьдал бодис болгон ашигладаг.
* Төхөөрөмжийн идэвхгүйжүүлэлт: Оптик олборлолтын үр ашгийг дээшлүүлж, LED төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг хамгаалалтын хөнгөн цагааны исэл эсвэл хөнгөн цагааны нитридийн хальсыг хуримтлуулахад ашигладаг.
4. Аж үйлдвэрийн катализ ба полимер үйлдвэрлэл
TMA-ийн үйлдвэрлэлийн ач холбогдол нь катализ дахь үүрэгтээ үндэслэдэг.
* Полиолефины катализ: Энэ нь Зиглер-Натта болон металлоцены катализаторын системд чухал хам катализатор болох метилалюминоксан (MAO)-ийн нийлэгжилтийн анхдагч эхлэлийн материал юм. Эдгээр системүүд нь дэлхийн полиэтилен болон полипропилен хуванцарын дийлэнх хэсгийг үйлдвэрлэдэг.
Гол шинж чанар ба давуу талууд:
* Хэт өндөр цэвэршилт: Электроникийн гүйцэтгэл болон каталитик идэвхжилийг бууруулдаг хольцыг багасгахын тулд нямбай хянадаг.
* Дээд зэргийн урьдчилсан бодис: Өндөр чанартай хальсан хуримтлалд маш сайн хэлбэлзэл, дулааны тогтвортой байдал, цэвэр задралын шинж чанарыг санал болгодог.
* Салбарын стандарт: Дэлхийн хэмжээнд судалгаа, хөгжүүлэлт болон үйлдвэрлэлийн байгууламжууд дахь MOVPE, ALD, CVD процессуудад зориулсан найдвартай, тогтсон хөнгөн цагааны эх үүсвэр.
* Хуванцар суурь: Олон талт, зайлшгүй шаардлагатай полиолефин полимер үйлдвэрлэх боломжийг олгодог гол түүхий эд.
Анхааруулга: Триметилалалюминий нь пирофор ба чийгэнд мэдрэмтгий материал бөгөөд тусгай харьцах болон аюулгүй байдлын протокол шаарддаг. Өгөгдсөн мэдээлэл нь тайлбар зорилгоор зориулагдсан болно. Энэ материалыг холбогдох бүх аюулгүй байдлын удирдамжийн дагуу харьцах, тодорхой хэрэглээнд тохирох эсэхийг тодорхойлох нь хэрэглэгчийн үүрэг юм.
