
ထရိုင်မီသိုင်းအလူမန်း (TMAI)
| အဓိပ္ပါယ်တူများ | ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ်၊ အလူမီနီယမ် ထရိုင်မီသိုင်း၊ အလူမီနီယမ် ထရိုင်မီသနိုက်၊ TMA၊ TMAL၊ AlMe3၊ ဇီဂလာ-နတ်တာ ဓာတ်ကူပစ္စည်း၊ ထရိုင်မီသိုင်း-၊ ထရိုင်မီသိုင်းအလိန်း။ |
| CAS နံပါတ် | ၇၅-၂၄-၁ |
| ဓာတုဗေဒ ဖော်မြူလာ | C6H18Al2 |
| မော်လာဒြပ်ထု | ၁၄၄.၁၇ ဂရမ်/မိုလ်၊ ၇၂.၀၉ ဂရမ်/မိုလ် (C3H9Al) |
| အသွင်အပြင် | အရောင်မဲ့ အရည် |
| သိပ်သည်းဆ | ၀.၇၅၂ ဂရမ်/စင်တီမီတာ ၃ |
| အရည်ပျော်မှတ် | ၁၅ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ် (၅၉ ဒီဂရီဖာရင်ဟိုက်; ၂၈၈ ဒီဂရီကီလိုဝပ်) |
| ဆူပွက်မှတ် | ၁၂၅--၁၃၀ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ် (၂၅၇--၂၆၆ ဒီဂရီဖာရင်ဟိုက်၊ ၃၉၈--၄၀၃ ဒီဂရီဖာရင်ဟိုက်) |
| ရေတွင်ပျော်ဝင်နိုင်မှု | တုံ့ပြန်သည် |
| အငွေ့ဖိအား | 1.2 kPa (20 ℃), 9.24 kPa (60 ℃) |
| ပျစ်ချွဲမှု | 1.12 cP (20 ℃), 0.9 cP (30 ℃) |
ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ် (TMAl)သတ္တု-အော်ဂဲနစ် (MO) အရင်းအမြစ်တစ်ခုအနေဖြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြပြီး အက်တမ်အလွှာစုပုံခြင်း (ALD)၊ ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (CVD) နှင့် သတ္တု-အော်ဂဲနစ်ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (MOCVD) အတွက် အဓိကရှေ့ပြေးနိမိတ်အဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ ၎င်းကို အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ်နှင့် အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိုက်ကဲ့သို့သော မြင့်မားသောသန့်စင်သော အလူမီနီယမ်ပါဝင်သော ဖလင်များပြင်ဆင်ရန် အသုံးပြုပါသည်။ ထို့အပြင်၊ TMAl ကို အော်ဂဲနစ်ပေါင်းစပ်မှုနှင့် ပိုလီမာဓာတ်ပြုမှုများတွင် ဓာတ်ကူပစ္စည်းနှင့် ၎င်း၏အရန်အေးဂျင့်အဖြစ် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးချမှုကို တွေ့ရှိရသည်။
ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ် (TMAI) သည် အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ်စုပုံခြင်းအတွက် ရှေ့ပြေးနိမိတ်အဖြစ် လုပ်ဆောင်ပြီး Ziegler-Natta ဓာတ်ကူပစ္စည်းအဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။ ၎င်းသည် သတ္တု-အော်ဂဲနစ်အငွေ့အဆင့် epitaxy (MOVPE) ထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးအများဆုံး အလူမီနီယမ် ရှေ့ပြေးနိမိတ်လည်းဖြစ်သည်။ ထို့အပြင်၊ TMAI သည် မီသိုင်းလေးရှင်းအေးဂျင့်အဖြစ် လုပ်ဆောင်ပြီး အထက်လေထုလေပုံစံများကို လေ့လာရန်အတွက် ခြေရာခံကိရိယာအဖြစ် အသံထွက်ဒုံးပျံများမှ မကြာခဏထုတ်လွှတ်လေ့ရှိသည်။
၉၉.၉၉၉၉% ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ်၏ လုပ်ငန်းသတ်မှတ်ချက် - ဆီလီကွန်နည်းပြီး အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်မှုနည်းသည် (၆N TAMI-Low Si နှင့် Low Ox)
| ဒြပ်စင် | ရလဒ် | သတ်မှတ်ချက် | ဒြပ်စင် | ရလဒ် | သတ်မှတ်ချက် | ဒြပ်စင် | ရလဒ် | သတ်မှတ်ချက် |
| Ag | ND | <၀.၀၃ | Cr | ND | <၀.၀၂ | S | ND | <၀.၀၅ |
| As | ND | <၀.၀၃ | Cu | ND | <၀.၀၂ | Sb | ND | <၀.၀၅ |
| Au | ND | <၀.၀၂ | Fe | ND | <၀.၀၄ | Si | ND | ≤၀.၀၀၃ |
| B | ND | <၀.၀၃ | Ge | ND | <၀.၀၅ | Sn | ND | <၀.၀၅ |
| Ba | ND | <၀.၀၂ | Hg | ND | <၀.၀၃ | Sr | ND | <၀.၀၃ |
| Be | ND | <၀.၀၂ | La | ND | <၀.၀၂ | Ti | ND | <၀.၀၅ |
| Bi | ND | <၀.၀၃ | Mg | ND | <၀.၀၂ | V | ND | <၀.၀၃ |
| Ca | ND | <၀.၀၃ | Mn | ND | <၀.၀၃ | Zn | ND | <၀.၀၅ |
| Cd | ND | <၀.၀၂ | Ni | ND | <၀.၀၃ | |||
| Co | ND | <၀.၀၂ | Pb | ND | <၀.၀၃ |
မှတ်ချက် -
အထက်ဖော်ပြပါတန်ဖိုးအားလုံးသည် သတ္တုပေါ်တွင် အလေးချိန်အားဖြင့် PPM ဖြစ်ပြီး ND = မတွေ့ရှိပါ
ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုနည်းလမ်း- ICP-OES/ICP-MS
FT-NMR ရလဒ်များ (FT-NMR အော်ဂဲနစ်နှင့် အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်သော မသန့်စင်မှုများအတွက် LOD သည် 0.1ppm ဖြစ်သည်)-
အောက်ဆီဂျင်အာမခံချက် <0.2 ppm (FT-NMR ဖြင့်တိုင်းတာသည်)
၁။ အော်ဂဲနစ် မသန့်စင်မှုများ မတွေ့ရှိရပါ။
၂။ အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်သော မသန့်စင်မှုများကို မတွေ့ရှိရပါ
ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ် (TMAI) ကို ဘာအတွက်အသုံးပြုကြသလဲ။
ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ် (TMA)- အပလီကေးရှင်းများနှင့် အသုံးပြုမှုများ
ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ် (TMA) သည် အလွန်သန့်စင်သော အော်ဂဲနိုအလူမီနီယမ် ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အဆင့်မြင့်ဆုံး ထုတ်လုပ်ရေးကဏ္ဍအချို့တွင် အရေးပါသော ရှေ့ပြေးနိမိတ်အဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ ၎င်း၏ ထူးခြားသော ဓာတ်ပြုမှုနှင့် အငွေ့ဖိအားကြောင့် အီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် စွမ်းအင်နည်းပညာများတွင် တိကျသော အလူမီနီယမ်ပါဝင်သော ဖလင်များ သွန်းလောင်းရန်အတွက် ရွေးချယ်မှုပစ္စည်းအဖြစ် ရွေးချယ်ခံရသည့်အပြင် ပိုလီအိုလီဖင် ထုတ်လုပ်မှုတွင်လည်း အခြေခံအစိတ်အပိုင်းတစ်ခု ဖြစ်ပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ TMA ကို အတင်းကျပ်ဆုံးသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုစံနှုန်းများနှင့်အညီ ထုတ်လုပ်ထားပြီး၊ သင်၏ အလိုအပ်ဆုံးအသုံးချမှုများတွင် အကောင်းဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေရန်အတွက် ဒြပ်စင်၊ အောက်ဆီဂျင်ပါဝင်သော နှင့် အော်ဂဲနစ်မသန့်စင်မှုများကို တင်းကျပ်စွာ ထိန်းချုပ်ထားပါသည်။
အဓိကအသုံးချမှုများနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းများ-
၁။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်ခြင်း
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် TMA သည် အက်တမ်စကေးတိကျမှုဖြင့် အလွှာပါးများ သွန်းလောင်းရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်။
* High-k Dielectrics: Atomic Layer Deposition (ALD) နှင့် Chemical Vapor Deposition (CVD) တွင် အဆင့်မြင့် transistors များနှင့် memory devices များတွင် high-k gate dielectrics အဖြစ် ဆောင်ရွက်သော အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ် (Al₂O₃) ၏ ညီညာပြီး pinhole ကင်းသော အလွှာပါးများ ကြီးထွားစေရန် အသုံးပြုသည်။
* ပေါင်းစပ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ- စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် III-V ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ စိုက်ပျိုးရန်အတွက် Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) တွင် ဦးစားပေးအလူမီနီယမ်အရင်းအမြစ်။ ဤပစ္စည်းများသည် အောက်ပါတို့အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သည်-
* မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်း အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ (ဥပမာ AlGaAs၊ AlInGaP)
* အော့ပတိုအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ: (ဥပမာ၊ AlGaN၊ AlInGaN)
၂။ သန့်ရှင်းသောစွမ်းအင်နှင့် ဓာတ်အားလျှပ်စစ်ဓာတ်အားပေးစနစ်များ
TMA သည် နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်နည်းပညာများတွင် ပိုမိုမြင့်မားသော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကို ဖြစ်စေသည်။
* မျက်နှာပြင် တုန်ခါမှုအလွှာများ- ALD သို့မဟုတ် Plasma-Enhanced CVD (PECVD) မှတစ်ဆင့် ထည့်သွင်းထားသော TMA မှ အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ် (Al₂O₃) ဖလင်များသည် ပုံဆောင်ခဲဆီလီကွန် ဆိုလာဆဲလ်များအတွက် မျက်နှာပြင် တုန်ခါမှုအား အလွန်ကောင်းမွန်စေသည်။ ၎င်းသည် အားသွင်းသယ်ဆောင်သူ ပြန်လည်ပေါင်းစပ်မှုကို သိသိသာသာ လျော့နည်းစေပြီး ဆဲလ်ပြောင်းလဲမှု စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးသည်။
၃။ အဆင့်မြင့် မီးအလင်းရောင်နှင့် မျက်နှာပြင် (LED)
မြင့်မားသောတောက်ပမှုနှင့် စွမ်းအင်ချွေတာသော LED မီးများထုတ်လုပ်မှုသည် မြင့်မားသောသန့်စင်မှု TMA ပေါ်တွင် မူတည်သည်။
* LED Epitaxy: သည် MOVPE ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင် အလူမီနီယမ် ရှေ့ပြေးနိမိတ်အဖြစ် ဆောင်ရွက်ပြီး အပြာ၊ အစိမ်းနှင့် ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည် LED များဖြင့် တက်ကြွသောအလွှာများ (ဥပမာ AlGaN) ကြီးထွားစေသည်။
* ကိရိယာ တက်ကြွစေခြင်း- အလင်းထုတ်ယူမှု စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပြီး LED ကိရိယာများ၏ လည်ပတ်မှုသက်တမ်းကို ရှည်ကြာစေသည့် အကာအကွယ်ပေးသည့် အလူမီနီယမ်အောက်ဆိုဒ် သို့မဟုတ် အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိုက် ဖလင်များကို သွင်းရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
၄။ စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး ဓာတ်ကူပစ္စည်းနှင့် ပိုလီမာ ထုတ်လုပ်မှု
TMA ၏ စက်မှုလုပ်ငန်းဆိုင်ရာ အရေးပါမှုသည် ဓာတ်ကူပစ္စည်းတွင် ၎င်း၏ အခန်းကဏ္ဍတွင် အခြေခံထားသည်။
* ပိုလီအိုလီဖင် ဓာတ်ကူပစ္စည်း- ၎င်းသည် Ziegler-Natta နှင့် metallocene ဓာတ်ကူစနစ်များတွင် အရေးပါသော ပူးတွဲဓာတ်ကူပစ္စည်းဖြစ်သည့် Methylaluminoxane (MAO) ပေါင်းစပ်မှုအတွက် အဓိက အစပြုပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤစနစ်များသည် ကမ္ဘာ့ polyethylene နှင့် polypropylene ပလတ်စတစ်အများစုကို ထုတ်လုပ်သည်။
အဓိက ဝိသေသလက္ခဏာများနှင့် အကျိုးကျေးဇူးများ-
* အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- အီလက်ထရွန်းနစ် စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ကတ်တလစ် လုပ်ဆောင်ချက်ကို ယိုယွင်းစေသော မသန့်စင်မှုများကို အနည်းဆုံးဖြစ်အောင် ဂရုတစိုက် ထိန်းချုပ်ထားသည်။
* သာလွန်ကောင်းမွန်သော Precursor- အရည်အသွေးမြင့် ဖလင်အနည်ထိုင်မှုအတွက် အလွန်ကောင်းမွန်သော မတည်ငြိမ်မှု၊ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုနှင့် သန့်ရှင်းသော ပြိုကွဲမှု လက္ခဏာများကို ပေးစွမ်းသည်။
* စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်း- ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ R&D နှင့် ထုတ်လုပ်မှုစက်ရုံများတစ်လျှောက် MOVPE၊ ALD နှင့် CVD လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် တည်ထောင်ထားပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော အလူမီနီယမ်ရင်းမြစ်။
* ပလတ်စတစ်အတွက် အခြေခံအုတ်မြစ်- ဘက်စုံသုံးနိုင်ပြီး မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော polyolefin polymers များ ထုတ်လုပ်နိုင်စေသည့် အဓိကကုန်ကြမ်းပစ္စည်း။
ငြင်းဆိုချက်- ထရိုင်မီသိုင်းအလူမီနီယမ်သည် မီးခိုးငွေ့နှင့်ထိတွေ့ပြီး အစိုဓာတ်ကိုထိခိုက်လွယ်သော ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အထူးကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ဘေးကင်းရေးလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများ လိုအပ်ပါသည်။ ပေးအပ်ထားသော အချက်အလက်များသည် ဖော်ပြချက်ရည်ရွယ်ချက်အတွက်သာဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းကို သက်ဆိုင်ရာဘေးကင်းရေးလမ်းညွှန်ချက်များနှင့်အညီ ကိုင်တွယ်ရန်နှင့် သီးခြားအသုံးချမှုတစ်ခုအတွက် ၎င်း၏သင့်လျော်မှုကို ဆုံးဖြတ်ရန်မှာ အသုံးပြုသူ၏တာဝန်ဖြစ်သည်။