Триметилалюминий (TMAI)

Триметиллюман (TMAI)

Триметилалюминий (TMAl)металл-органикалық (MO) көзі ретінде жартылай өткізгіш өнеркәсібінде кеңінен қолданылады және атом қабатының тұндыруының (ALD), химиялық бу тұндыруының (CVD) және металл-органикалық химиялық бу тұндыруының (MOCVD) негізгі прекурсоры ретінде қызмет етеді. Ол алюминий оксиді және алюминий нитриді сияқты жоғары тазалықтағы алюминий бар қабықшаларды дайындау үшін қолданылады. Сонымен қатар, TMAl органикалық синтез және полимерлеу реакцияларында катализатор және оның көмекші агенті ретінде кеңінен қолданылады.

Триметилалюминий (TMAI) алюминий оксидінің тұндырылуының прекурсоры ретінде әрекет етеді және Циглер-Натта катализаторы ретінде қызмет етеді. Ол сондай-ақ металл-органикалық бу фазалы эпитаксийді (MOVPE) өндіруде ең көп қолданылатын алюминий прекурсоры болып табылады. Сонымен қатар, TMAI метилдеу агенті ретінде қызмет етеді және жоғарғы атмосфералық жел үлгілерін зерттеу үшін зондтау зымырандарынан жиі із қалдырушы ретінде бөлінеді.

99,9999% триметил алюминийдің кәсіпорындық сипаттамасы - кремнийдің төмен мөлшері және оттегінің төмен мөлшері (6N TAMI - Si және OX төмен)

Ескерту:

Ең бастысы, металлдағы салмағы бойынша PPM мәні және ND= анықталмады

Талдау әдісі: ICP-OES/ICP-MS

FT-ЯМР нәтижелері (FT-ЯМР органикалық және оттегімен қаныққан қоспаның LOD мәні 0,1 ppm):

Оттегі кепілдігі <0,2 ppm (FT-NMR өлшемімен өлшенеді)

1. Органикалық қоспалар анықталмады

2. Оттегімен қаныққан қоспалар анықталмады

Триметилалюминий (TMAI) не үшін қолданылады?

Триметил алюминий (TMA)- Қолданылуы және қолданылуы

Триметил алюминий (ТМА) - ең озық өндіріс салаларының кейбірінде маңызды прекурсор болып табылатын аса жоғары таза органоалюминий қосылысы. Оның ерекше реактивтілігі мен бу қысымы оны электроника және энергетикалық технологияларда дәл алюминий құрамдас қабықшаларды тұндыру үшін таңдаулы материалға, сондай-ақ полиолефин өндірісіндегі негізгі компонентке айналдырады.

Біздің TMA ең қатаң тазалық стандарттарына сәйкес жасалған, ең күрделі қолданбаларда оңтайлы өнімділікті қамтамасыз ету үшін элементтік, оттегімен байытылған және органикалық қоспаларды қатаң бақылаумен.

Негізгі қолданылуы және салалары:

1. Жартылай өткізгіштер және микроэлектроника өндірісі

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде TMA атомдық масштабтағы дәлдікпен жұқа қабықшаларды тұндыру үшін өте қажет.

* Жоғары k диэлектриктер: Атомдық қабатты тұндыру (ALD) және химиялық буды тұндыру (CVD) кезінде алюминий оксидінің (Al₂O₃) біркелкі, түйреуішсіз жұқа қабықшаларын өсіру үшін қолданылады, олар озық транзисторлар мен жад құрылғыларында жоғары k қақпалы диэлектриктер ретінде қызмет етеді.

* Қосылыс жартылай өткізгіштер: Жоғары өнімді III-V қосылыс жартылай өткізгіштерін өсіру үшін металлорганикалық бу фазасының эпитаксиясындағы (MOVPE) алюминийдің артықшылықты көзі. Бұл материалдар мыналар үшін өте маңызды:

* Жоғары жиілікті электроника: (мысалы, AlGaAs, AlInGaP)

* Оптоэлектроника: (мысалы, AlGaN, AlInGaN) 

2. Таза энергия және фотоэлектрлік энергия

TMA күн энергиясы технологияларында жоғары тиімділік пен беріктікке мүмкіндік береді.

* Беттік пассивация қабаттары: ALD немесе плазмамен күшейтілген CVD (PECVD) арқылы тұндырылған TMA алюминий оксиді (Al₂O₃) пленкалары кристалды кремний күн батареялары үшін керемет беттік пассивацияны қамтамасыз етеді. Бұл заряд тасымалдаушылардың рекомбинациясын күрт төмендетеді, бұл жасуша конверсиясының тиімділігі мен ұзақ мерзімді тұрақтылықтың айтарлықтай артуына әкеледі.

3. Жетілдірілген жарықтандыру және дисплей (LED)

Жоғары жарықтықты және энергия үнемдейтін жарықдиодтарды өндіру жоғары тазалықтағы TMA-ға негізделген.

* Жарықдиодты эпитаксия: MOVPE реакторларында көк, жасыл және ультракүлгін жарықдиодтарда белсенді қабаттарды (мысалы, AlGaN) өсіру үшін алюминий прекурсоры ретінде қызмет етеді.

* Құрылғыны пассивтеу: Оптикалық экстракция тиімділігін арттыратын және жарықдиодты құрылғылардың жұмыс мерзімін ұзартатын қорғаныш алюминий оксиді немесе алюминий нитриді қабықшаларын тұндыру үшін қолданылады.

4. Өнеркәсіптік катализ және полимер өндірісі

TMA-ның өнеркәсіптік маңызы оның катализдегі рөліне негізделген.

* Полиолефин катализі: Бұл Циглер-Натта және металлоцен катализатор жүйелеріндегі маңызды катализатор болып табылатын метилалюминоксанды (МАО) синтездеудің негізгі бастапқы материалы. Бұл жүйелер әлемдегі полиэтилен және полипропилен пластмассаларының басым көпшілігін өндіреді.

Негізгі сипаттамалары мен артықшылықтары:

* Өте жоғары тазалық: Электрондық өнімділік пен каталитикалық белсенділікті төмендететін қоспаларды азайту үшін мұқият бақыланады.

* Жоғары сапалы прекурсор: жоғары сапалы пленка тұндыру үшін тамаша құбылмалылық, термиялық тұрақтылық және таза ыдырау сипаттамаларын ұсынады.

* Салалық стандарт: Әлемдік ғылыми-зерттеу және өндіріс нысандарындағы MOVPE, ALD және CVD процестері үшін сенімді алюминий көзі.

* Пластмассаларға арналған негіз: жан-жақты және маңызды полиолефинді полимерлерді өндіруге мүмкіндік беретін негізгі шикізат.

Ескерту: Триметилалюминий - арнайы өңдеу мен қауіпсіздік хаттамаларын қажет ететін пирофорлық және ылғалға сезімтал материал. Берілген ақпарат сипаттамалық мақсаттарда берілген. Бұл материалды барлық қолданыстағы қауіпсіздік нұсқауларына сәйкес өңдеу және оның белгілі бір қолдануға жарамдылығын анықтау пайдаланушының міндеті.