Триметилалюминий (TMAI)
Триметилалуман (TMAI)
| Синонимҳо | Триметилалюминий, Алюминий Триметил, Алюминий Триметанид, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta катализатор, Триметил-, Триметилалан. |
| Рақами Кас | 75-24-1 |
| Формулаи кимиёвӣ | C6H18Al2 |
| Массаи молярӣ | 144.17 г/мол, 72.09 г/мол (C3H9Al) |
| Намуди зоҳирӣ | моеъи беранг |
| Зичӣ | 0.752 г/см3 |
| Нуқтаи обшавӣ | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Нуқтаи ҷӯшиш | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| Ҳалшавандагӣ дар об | Реаксия мекунад |
| Фишори буғ | 1,2 кПа (20 ℃), 9,24 кПа (60 ℃) |
| Часпакӣ | 1,12 cP (20℃), 0,9 cP (30℃) |
Триметилалюминий (TMAl), ҳамчун манбаи металл-органикӣ (MO), дар саноати нимноқилҳо васеъ истифода мешавад ва ҳамчун пешгузаштаи калидӣ барои таҳшиншавии қабати атомӣ (ALD), таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) ва таҳшиншавии буғи кимиёвии металл-органикӣ (MOCVD) хизмат мекунад. Он барои тайёр кардани плёнкаҳои дорои алюминийи тозагии баланд, ба монанди оксиди алюминий ва нитриди алюминий истифода мешавад. Илова бар ин, TMAl ҳамчун катализатор ва агенти ёрирасони он дар синтези органикӣ ва реаксияҳои полимеризатсия васеъ истифода мешавад.
Триметилалюминиум (TMAI) ҳамчун пешгузашта барои таҳшиншавии оксиди алюминий амал мекунад ва ҳамчун катализатори Ziegler-Natta амал мекунад. Он инчунин пешгузаштаи маъмултарини алюминий дар истеҳсоли эпитаксияи буғии фазаи металлӣ-органикӣ (MOVPE) мебошад. Ғайр аз ин, TMAI ҳамчун агенти метилизатсия хизмат мекунад ва аксар вақт аз мушакҳои зондкунанда ҳамчун пайгирӣ барои омӯзиши намунаҳои боди болоии атмосфера хориҷ мешавад.
Мушаххасоти корхонавии 99.9999% триметилалюминиум - кремнийи кам ва миқдори оксигени кам (6N TAMI - Si ва OX-и кам)
| Унсур | Натиҷа | Мушаххасот | Унсур | Натиҷа | Мушаххасот | Унсур | Натиҷа | Мушаххасот |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
Шарҳ:
Аз ҳама муҳим, арзиши PPM аз рӯи вазн дар металл ва ND = муайян карда нашудааст
Усули таҳлил: ICP-OES/ICP-MS
Натиҷаҳои FT-NMR (LOD барои ифлосии органикӣ ва оксигендори FT-NMR 0.1ppm аст):
Кафолати оксиген <0.2 ppm (Дар FT-NMR чен карда шудааст)
1. Ҳеҷ гуна ифлосҳои органикӣ ошкор карда нашудаанд
2. Ҳеҷ гуна ифлосиҳои оксигендор муайян карда нашудаанд
Триметилалюминиум (TMAI) барои чӣ истифода мешавад?
Триметилалюминий (TMA)- Барномаҳо ва истифодаҳо
Триметилалюминиум (TMA) як пайвастагии органикии алюминийи ултра-баландсифат буда, дар баъзе аз пешрафтатарин бахшҳои истеҳсолӣ ҳамчун пешгузаштаи муҳим хизмат мекунад. Реактивияти истисноии он ва фишори буғ онро ба маводи интихобшуда барои гузоштани плёнкаҳои дақиқи алюминий дар технологияҳои электроника ва энергетикӣ, инчунин ҷузъи асосӣ дар истеҳсоли полиолефин табдил медиҳад.
TMA-и мо мувофиқи стандартҳои қатъии покӣ бо назорати қатъии ифлосҳои элементӣ, оксигендор ва органикӣ истеҳсол карда мешавад, то кори беҳтаринро дар барномаҳои душвортарини шумо таъмин намояд.
Барномаҳо ва соҳаҳои асосӣ:
1. Истеҳсоли нимноқилҳо ва микроэлектроника
Дар саноати нимноқилҳо, TMA барои гузоштани плёнкаҳои тунук бо дақиқии миқёси атомӣ муҳим аст.
* Диэлектрикҳои баланд-k: Дар таҳшиншавии қабати атомӣ (ALD) ва таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) барои парвариши плёнкаҳои тунуки якхела ва бе сӯрохи сӯзаншакли оксиди алюминий (Al₂O₃) истифода мешаванд, ки ҳамчун диэлектрикҳои дарвозаи баланд-k дар транзисторҳо ва дастгоҳҳои пешрафтаи хотира хизмат мекунанд.
* Нимноқилҳои мураккаб: Манбаи бартарии алюминий дар эпитаксияи фазаи буғи металлорганикӣ (MOVPE) барои парвариши нимноқилҳои мураккаби III-V бо самаранокии баланд. Ин маводҳо барои:
* Электроникаи баландбасомад: (масалан, AlGaAs, AlInGaP)
* Оптоэлектроника: (масалан, AlGaN, AlInGaN)
2. Энергияи тоза ва фотоэлектрикӣ
TMA имкон медиҳад, ки самаранокӣ ва устувории баландтар дар технологияҳои энергияи офтобӣ таъмин карда шавад.
* Қабатҳои пассиватсияи сатҳӣ: Плёнкаҳои оксиди алюминий (Al₂O₃), ки тавассути ALD ё плёнкаҳои CVD-и плазмавӣ (PECVD) аз TMA ҷойгир карда шудаанд, пассиватсияи аълои сатҳро барои батареяҳои офтобии кремнийи кристаллӣ таъмин мекунанд. Ин рекомбинатсияи интиқолдиҳандаҳои зарядро ба таври назаррас коҳиш медиҳад, ки боиси афзоиши назарраси самаранокии табдили ҳуҷайра ва устувории дарозмуддат мегардад.
3. Равшанӣ ва намоиши пешрафта (LED)
Истеҳсоли LED-ҳои дорои равшании баланд ва каммасрафи энергия ба TMA-и тозагии баланд такя мекунад.
* Эпитаксияи LED: Ҳамчун пешгузаштаи алюминий дар реакторҳои MOVPE барои парвариши қабатҳои фаъол (масалан, AlGaN) дар LED-ҳои кабуд, сабз ва ултрабунафш хизмат мекунад.
* Пассиватсияи дастгоҳ: Барои гузоштани плёнкаҳои муҳофизатии оксиди алюминий ё нитриди алюминий, ки самаранокии истихроҷи оптикиро афзоиш медиҳанд ва мӯҳлати кори дастгоҳҳои LED-ро дароз мекунанд, истифода мешавад.
4. Истеҳсоли катализи саноатӣ ва полимер
Аҳамияти саноатии TMA аз нақши он дар катализ сарчашма мегирад.
* Катализ полиолефин: Он маводи ибтидоии асосии синтези метилалюминоксан (MAO) мебошад, ки як ҳамкатализатори муҳим дар системаҳои катализатори Ziegler-Natta ва металлосен мебошад. Ин системаҳо аксарияти кулли пластикҳои полиэтилен ва полипропиленро дар ҷаҳон истеҳсол мекунанд.
Хусусиятҳо ва бартариҳои асосӣ:
* Покӣ ва баландсифат: Ба таври дақиқ назорат карда мешавад, то ифлосиҳоеро, ки кори электронӣ ва фаъолияти каталитикӣ-ро коҳиш медиҳанд, кам кунад.
* Прекурсори олӣ: Барои ҷойгиркунии плёнкаи баландсифат хусусиятҳои аълои ноустуворӣ, устувории гармӣ ва таҷзияи тозаро пешниҳод мекунад.
* Стандарти саноатӣ: Манбаи алюминийи муқарраршуда ва боэътимод барои равандҳои MOVPE, ALD ва CVD дар саросари корхонаҳои тадқиқотӣ ва истеҳсолӣ.
* Асос барои пластикҳо: Ашёи хоми калидӣ, ки имкон медиҳад полимерҳои полиолефинии бисёрҷониба ва муҳим истеҳсол карда шаванд.
Раддия: Триметилалюминий маводи пирофорӣ ва ҳассос ба намӣ аст, ки коркарди махсус ва протоколҳои бехатариро талаб мекунад. Маълумоти пешниҳодшуда барои мақсадҳои тавсифӣ мебошад. Корбар вазифадор аст, ки ин маводро мувофиқи ҳамаи дастурҳои бехатарии амалкунанда коркард кунад ва мувофиқати онро барои як барномаи мушаххас муайян кунад.
