ທຣິເມທິລອາລູມິນຽມ (TMAI)
ທຣິເມທິລອາລູເມນ (TMAI)
| ຄຳສັບຄ້າຍຄືກັນ | ທຣີເມທິລອາລູມິນຽມ, ອາລູມິນຽມໄຕຣເມທິລ, ອາລູມິນຽມໄຕຣມີທາໄນ, TMA, TMAL, AlMe3, ຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາຊີກເລີ-ນັດຕາ, ທຣີເມທິລ-, ທຣີເມທິລອາເລນ. |
| ເລກທີ່ກໍລະນີ | 75-24-1 |
| ສູດເຄມີ | C6H18Al2 |
| ມວນສານໂມລາ | 144.17 ກຣາມ/ໂມລ, 72.09 ກຣາມ/ໂມລ (C3H9Al) |
| ຮູບລັກສະນະ | ແຫຼວບໍ່ມີສີ |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ | 0.752 ກຣາມ/ຊມ3 |
| ຈຸດລະລາຍ | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| ຈຸດເດືອດ | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| ການລະລາຍໃນນໍ້າ | ປະຕິກິລິຍາ |
| ຄວາມກົດດັນຂອງໄອນ້ຳ | 1.2 kPa (20℃), 9.24 kPa (60℃) |
| ຄວາມໜືດ | 1.12 cP (20 ℃), 0.9 cP (30 ℃) |
ໄຕເມທິລອາລູມີນຽມ (TMAl), ໃນຖານະເປັນແຫຼ່ງໂລຫະ-ອິນຊີ (MO), ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ ແລະ ເປັນຕົວຕັ້ງຕົ້ນທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການວາງຊັ້ນປະລໍາມະນູ (ALD), ການວາງໄອເຄມີ (CVD), ແລະ ການວາງໄອເຄມີໂລຫະ-ອິນຊີ (MOCVD). ມັນຖືກໃຊ້ເພື່ອກະກຽມຟິມທີ່ມີອາລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊັ່ນ: ອາລູມິນຽມອອກໄຊ ແລະ ອາລູມິນຽມໄນໄຕຣດ. ນອກຈາກນັ້ນ, TMAl ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເປັນຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຕົວແທນຊ່ວຍໃນການສັງເຄາະອິນຊີ ແລະ ປະຕິກິລິຍາໂພລີເມີໄຣເຊຊັນ.
ໄຕຣເມທິລອາລູມີນຽມ (TMAI) ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຕັ້ງຕົ້ນສຳລັບການຕົກຕະກອນອາລູມີນຽມອອກໄຊ ແລະ ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາ Ziegler-Natta. ມັນຍັງເປັນຕົວຕັ້ງຕົ້ນອາລູມີນຽມທີ່ໃຊ້ກັນຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ epitaxy ໄລຍະໄອນ້ຳໂລຫະ-ອິນຊີ (MOVPE). ນອກຈາກນັ້ນ, TMAI ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວແທນເມທິລເລຊັນ ແລະ ມັກຈະຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຈະຫຼວດທີ່ມີສຽງເປັນຕົວຕິດຕາມສຳລັບການສຶກສາຮູບແບບລົມໃນຊັ້ນບັນຍາກາດ.
ຂໍ້ກຳນົດວິສາຫະກິດຂອງ Trimethylaluminum 99.9999% - ຊິລິໂຄນຕ່ຳ ແລະ ປະລິມານອົກຊີເຈນຕ່ຳ (6N TAMI-Low Si ແລະ Low Ox)
| ອົງປະກອບ | ຜົນໄດ້ຮັບ | ລາຍລະອຽດ | ອົງປະກອບ | ຜົນໄດ້ຮັບ | ລາຍລະອຽດ | ອົງປະກອບ | ຜົນໄດ້ຮັບ | ລາຍລະອຽດ |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
ໝາຍເຫດ:
ຂ້າງເທິງນີ້ຄ່າ PPM ຕາມນ້ຳໜັກຂອງໂລຫະ, ແລະ ND = ບໍ່ໄດ້ຮັບການກວດພົບ
ວິທີການວິເຄາະ: ICP-OES/ICP-MS
ຜົນໄດ້ຮັບ FT-NMR (LOD ສຳລັບສິ່ງປົນເປື້ອນອິນຊີ ແລະ ອົກຊີເຈນທີ່ມີອົກຊີເຈນ FT-NMR ແມ່ນ 0.1ppm):
ຮັບປະກັນອົກຊີເຈນ <0.2 ppm (ວັດແທກໃນ FT-NMR)
1. ບໍ່ພົບສິ່ງປົນເປື້ອນອິນຊີ
2. ບໍ່ມີສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ມີອົກຊີເຈນກວດພົບ
Trimethylaluminum (TMAI) ໃຊ້ສຳລັບຫຍັງ?
ໄຕເມທິລອາລູມີນຽມ (TMA)- ແອັບພລິເຄຊັນ ແລະ ການນຳໃຊ້
Trimethylaluminum (TMA) ເປັນສານປະກອບອໍແກໂນອາລູມີນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນພິເສດ ເຊິ່ງເປັນສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ສຳຄັນໃນຂະແໜງການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າທີ່ສຸດ. ປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມກົດດັນໄອນ້ຳທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ເລືອກໃຊ້ສຳລັບການວາງຟິມທີ່ມີອາລູມີນຽມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງໃນເຕັກໂນໂລຊີເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ພະລັງງານ ພ້ອມທັງເປັນອົງປະກອບພື້ນຖານໃນການຜະລິດໂພລີໂອເລຟິນ.
TMA ຂອງພວກເຮົາກໍາລັງຜະລິດຕາມມາດຕະຖານຄວາມບໍລິສຸດທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດ, ພ້ອມດ້ວຍການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ສິ່ງສົກກະປົກທີ່ເປັນທາດ, ອົກຊີເຈນ ແລະ ອິນຊີ ເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ດີທີ່ສຸດໃນການນໍາໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດຂອງທ່ານ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍແລະອຸດສາຫະກໍາ:
1. ການຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ໄມໂຄຣເອເລັກໂຕຣນິກ
ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, TMA ແມ່ນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສຳລັບການວາງຟິມບາງໆທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳໃນລະດັບອະຕອມ.
* ໄດອີເລັກຕຣິກສູງ-k: ໃຊ້ໃນການວາງຊັ້ນອະຕອມ (ALD) ແລະ ການວາງໄອເຄມີ (CVD) ເພື່ອປູກຟິມບາງໆຂອງອາລູມິນຽມອອກໄຊ (Al₂O₃) ທີ່ບໍ່ມີຮູເຂັມ ເຊິ່ງເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງເຮັດໜ້າທີ່ເປັນໄດອີເລັກຕຣິກປະຕູສູງ-k ໃນທຣານຊິດເຕີ ແລະ ອຸປະກອນໜ່ວຍຄວາມຈຳທີ່ກ້າວໜ້າ.
* ເຄິ່ງຕົວນຳປະສົມ: ແຫຼ່ງອາລູມີນຽມທີ່ຕ້ອງການໃນ Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) ສຳລັບການປູກເຄິ່ງຕົວນຳປະສົມ III-V ປະສິດທິພາບສູງ. ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຈຳເປັນສຳລັບ:
* ເຄື່ອງອີເລັກໂທຣນິກຄວາມຖີ່ສູງ: (ຕົວຢ່າງ, AlGaAs, AlInGaP)
* ອອບໂຕອີເລັກໂທຣນິກ: (ຕົວຢ່າງ, AlGaN, AlInGaN)
2. ພະລັງງານສະອາດ ແລະ ພະລັງງານແສງຕາເວັນ
TMA ຊ່ວຍໃຫ້ມີປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມທົນທານສູງຂຶ້ນໃນເຕັກໂນໂລຊີພະລັງງານແສງຕາເວັນ.
* ຊັ້ນການເຄືອບຜິວໜ້າ: ຟິມອາລູມິນຽມອອກໄຊ (Al₂O₃) ທີ່ຝາກຜ່ານ ALD ຫຼື Plasma-Enhanced CVD (PECVD), ຈາກ TMA ໃຫ້ການກັ່ນຕອງຜິວໜ້າທີ່ໂດດເດັ່ນສຳລັບແຜງແສງອາທິດຊິລິກອນທີ່ເປັນຜລຶກ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການລວມຕົວຂອງຕົວນຳປະຈຸໄຟຟ້າລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ປະສິດທິພາບການປ່ຽນແປງຂອງຈຸລັງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.
3. ໄຟສ່ອງສະຫວ່າງ ແລະ ຈໍສະແດງຜົນຂັ້ນສູງ (LED)
ການຜະລິດໄຟ LED ທີ່ມີຄວາມສະຫວ່າງສູງ ແລະ ປະຫຍັດພະລັງງານແມ່ນອີງໃສ່ TMA ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
* LED Epitaxy: ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວກ່ອນຂອງອາລູມີນຽມໃນເຕົາປະຕິກອນ MOVPE ເພື່ອຂະຫຍາຍຊັ້ນທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ (ເຊັ່ນ AlGaN) ໃນ LED ສີຟ້າ, ສີຂຽວ, ແລະ ultraviolet.
* ການເຄືອບອຸປະກອນ: ໃຊ້ເພື່ອຝາກຟິມອາລູມິນຽມອອກໄຊປ້ອງກັນ ຫຼື ອາລູມິນຽມໄນໄຕຣດ ທີ່ຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບການສະກັດເອົາແສງ ແລະ ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນ LED.
4. ການຜະລິດດ້ວຍຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາທາງອຸດສາຫະກຳ ແລະ ໂພລີເມີ
ຄວາມສຳຄັນທາງອຸດສາຫະກຳຂອງ TMA ແມ່ນມີຮາກຖານມາຈາກບົດບາດຂອງມັນໃນການເລັ່ງປະຕິກິລິຍາ.
* ການເລັ່ງປະຕິກິລິຍາໂພລີໂອເລຟິນ: ມັນເປັນວັດສະດຸເລີ່ມຕົ້ນຫຼັກສຳລັບການສັງເຄາະ Methylaluminoxane (MAO), ເຊິ່ງເປັນຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາຮ່ວມທີ່ສຳຄັນໃນລະບົບຕົວເລັ່ງປະຕິກິລິຍາ Ziegler-Natta ແລະ metallocene. ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຜະລິດພາດສະຕິກໂພລີເອທິລີນ ແລະ ໂພລີໂພລີລີນສ່ວນໃຫຍ່ຂອງໂລກ.
ລັກສະນະ ແລະ ຜົນປະໂຫຍດຫຼັກ:
* ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ: ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງລະອຽດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເຈືອປົນທີ່ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບຂອງເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ກິດຈະກຳການເລັ່ງປະຕິກິລິຍາຫຼຸດລົງ.
* ສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ດີເລີດ: ສະເໜີຄວາມຜັນຜວນທີ່ດີເລີດ, ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ລັກສະນະການຍ່ອຍສະຫຼາຍທີ່ສະອາດ ສຳລັບການວາງຟິມທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
* ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ: ແຫຼ່ງອາລູມີນຽມທີ່ໄດ້ຮັບການສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ ແລະ ເຊື່ອຖືໄດ້ສຳລັບຂະບວນການ MOVPE, ALD, ແລະ CVD ໃນທົ່ວສະຖານທີ່ຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ ແລະ ການຜະລິດທົ່ວໂລກ.
* ພື້ນຖານສຳລັບພາດສະຕິກ: ວັດຖຸດິບທີ່ສຳຄັນທີ່ເຮັດໃຫ້ສາມາດຜະລິດໂພລີເມີໂພລີໂອເລຟິນທີ່ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ ແລະ ຈຳເປັນໄດ້.
ຂໍ້ຄວນລະວັງ: Trimethylaluminum ເປັນວັດສະດຸທີ່ລະເຫີຍງ່າຍ ແລະ ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ເຊິ່ງຕ້ອງການລະບຽບການຈັດການ ແລະ ຄວາມປອດໄພພິເສດ. ຂໍ້ມູນທີ່ໃຫ້ແມ່ນເພື່ອຈຸດປະສົງໃນການອະທິບາຍ. ມັນເປັນຄວາມຮັບຜິດຊອບຂອງຜູ້ໃຊ້ທີ່ຈະຈັດການວັດສະດຸນີ້ຕາມຄຳແນະນຳດ້ານຄວາມປອດໄພທີ່ກ່ຽວຂ້ອງທັງໝົດ ແລະ ເພື່ອກຳນົດຄວາມເໝາະສົມຂອງມັນສຳລັບການນຳໃຊ້ສະເພາະ.
