
Trimethylalumane (TMAI)
| Àwọn ọ̀rọ̀ tó jọra | Trimethylaluminum, Aluminium Trimethyl, Aluminium Trimethanide, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta Catalyst, Trimethyl-, Trimethylalane. |
| Nọ́mbà Káàsì | 75-24-1 |
| Fọ́múlá kẹ́míkà | C6H18Al2 |
| Mọ́là ìwọ̀n | 144.17 g/mol, 72.09 g/mol (C3H9Al) |
| Ìfarahàn | Omi ti ko ni awọ |
| Ìwọ̀n | 0.752 g/cm3 |
| Oju iwọn yo | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Oju ibi ti o n gbona | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| Yíyọ́ nínú omi | Àwọn ìṣesí |
| Ìfúnpá èéfín | 1.2 kPa (20℃), 9.24 kPa (60℃) |
| Ìfọ́sí | 1.12 cP (20℃), 0.9 cP (30℃) |
Trimethylaluminium (TMAl), gẹ́gẹ́ bí orísun irin-organic (MO), ni a ń lò ní gbogbogbòò nínú ilé iṣẹ́ semiconductor ó sì ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun pàtàkì fún ìfipamọ́ atomiki layer deposition (ALD), ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ kemikali (CVD), àti ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ kemikali irin-organic (MOCVD). A ń lò ó láti pèsè àwọn fíìmù tí ó ní aluminiomu tí ó ní mímọ́ ga, bíi aluminiomu oxide àti aluminiomu nitride. Ní àfikún, TMMal rí lílò rẹ̀ gẹ́gẹ́ bí olùrànlọ́wọ́ àti olùrànlọ́wọ́ rẹ̀ nínú ìṣẹ̀dá organic àti polymerization reactions.
Trimethylaluminum (TMAI) ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun àkọ́kọ́ fún ìfipamọ́ aluminiomu oxide ó sì ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun tí ó ń mú kí Ziegler-Natta facilitator ṣiṣẹ́. Ó tún jẹ́ ohun tí ó ń mú kí aluminiomu yípadà jùlọ nínú ìṣẹ̀dá epitaxy vapor-phase metal-organic (MOVPE). Jù bẹ́ẹ̀ lọ, TMAI ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun tí ó ń mú kí methylation ṣiṣẹ́, a sì máa ń tú u jáde láti inú àwọn rockets tí ó ń dún bí ohun tí ń tọ́ka sí fún kíkẹ́kọ̀ọ́ nípa àwọn ìlànà afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ òkè.
Ìlànà ìṣiṣẹ́ ti 99.9999% Trimethylaluminum - Silikoni kékeré àti àkóónú atẹ́gùn kékeré (6N TAMI-Low Si àti Low Ox)
| Ohun èlò | Àbájáde | Ìlànà ìpele | Ohun èlò | Àbájáde | Ìlànà ìpele | Ohun èlò | Àbájáde | Ìlànà ìpele |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
Àkíyèsí:
Ju gbogbo rẹ̀ lọ iye PPM nípa ìwọ̀n lórí irin, àti ND= a kò rí i
Ọ̀nà Ìṣàyẹ̀wò: ICP-OES/ICP-MS
Àwọn èsì FT-NMR (LOD fún àìmọ́ onígbà àti afẹ́fẹ́ tí ó ní FT-NMR jẹ́ 0.1ppm):
Àtìlẹ́yìn atẹ́gùn <0.2 ppm (A wọ́n ní FT-NMR)
1.A ko ri awon eeri adayeba kankan.
2. A ko ri awon ohun ti o ni ategun ninu
Kí ni a ń lo Trimethylaluminum (TMAI) fún?
Trimethylaluminium (TMA)- Awọn Ohun elo ati Awọn Lilo
Trimethylaluminum (TMA) jẹ́ àdàpọ̀ organoaluminum mímọ́ tó ga jùlọ tó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun pàtàkì nínú àwọn ẹ̀ka iṣẹ́ ẹ̀rọ tó ti pẹ́ jùlọ. Ìṣiṣẹ́ rẹ̀ tó yàtọ̀ àti ìfúnpá afẹ́fẹ́ ló mú kí ó jẹ́ ohun èlò tó yẹ fún gbígbé àwọn fíìmù tó ní aluminiomu sínú àwọn ẹ̀rọ itanna àti agbára, àti ohun èlò pàtàkì nínú iṣẹ́ polyolefin.
A ṣe TMA wa ni ibamu pẹlu awọn iṣedede mimọ to muna julọ, pẹlu iṣakoso to muna lori awọn ohun elo elekitiriki, ategun, ati awọn ohun alumọni lati rii daju pe o ṣiṣẹ daradara julọ ninu awọn ohun elo ti o nilo julọ.
Awọn Ohun elo ati Awọn Ile-iṣẹ Akọkọ:
1. Ṣíṣe Semiconductor àti Microelectronics
Nínú ilé iṣẹ́ semiconductor, TMA ṣe pàtàkì fún gbígbé àwọn fíìmù tín-tín tí ó ní ìwọ̀n atomiki tí ó péye jáde.
* Àwọn Dielectrics High-k: A ń lò ó nínú Atomic Layer Deposition (ALD) àti Chemical Vapor Deposition (CVD) láti gbin àwọn fíìmù tinrin aluminiomu oxide (Al₂O₃) tí kò ní ihò kan náà, tí ó jọra, tí kò ní ihò pin, èyí tí ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí high-k gate dielectrics nínú àwọn transistors àti àwọn ẹ̀rọ ìrántí tó ti ní ìlọsíwájú.
* Àwọn olùdarí ìdàpọ̀: Orísun aluminiomu tí a fẹ́ràn jùlọ nínú Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) fún ìdàgbàsókè àwọn olùdarí ìdàpọ̀ III-V tí ó ní iṣẹ́ gíga. Àwọn ohun èlò wọ̀nyí ṣe pàtàkì fún:
* Awọn ẹrọ itanna igbohunsafẹfẹ giga: (fun apẹẹrẹ, AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelectronics: (fun apẹẹrẹ, AlGaN, AlInGaN)
2. Agbára Mímọ́ àti Fọ́tòvoltaics
TMA mu ki ṣiṣe daradara ati agbara wa ni agbara oorun.
* Àwọn Fíìmù Passivation Surface: Tí a fi sínú àpò nípasẹ̀ ALD tàbí Plasma-Enhanced CVD (PECVD), àwọn fíìmù aluminiomu oxide (Al₂O₃) láti TMA ń pèsè ìfàsẹ́yìn ojú ilẹ̀ tó tayọ fún àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn silicon kristali. Èyí dín ìdàpọ̀ àwọn ohun èlò tí ń gbé agbára kù gidigidi, èyí sì ń yọrí sí àwọn àǹfààní pàtàkì nínú ìyípadà sẹ́ẹ̀lì àti ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́.
3. Ìmọ́lẹ̀ àti Ìfihàn Tó Tẹ̀síwájú (LED)
Iṣẹ́dá àwọn LED tí ó ní ìmọ́lẹ̀ gíga àti tí ó ń lo agbára dáadáa sinmi lórí TMA tí ó ní ìmọ́tótó gíga.
* LED Epitaxy: Ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun tí ó ń ṣáájú aluminiomu nínú àwọn reactors MOVPE láti mú kí àwọn fẹlẹfẹlẹ tí ń ṣiṣẹ́ (fún àpẹẹrẹ, AlGaN) dàgbà nínú àwọn LED aláwọ̀ búlúù, aláwọ̀ ewé, àti ultraviolet.
* Ìfàmọ́ra Ẹ̀rọ: A ń lò ó láti fi àwọn fíìmù alumọ́ọ́nì oxide tàbí aluminiomu nitride tó ń mú kí iṣẹ́ ìyọkúrò ojú pọ̀ sí i, tó sì ń mú kí iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ LED pẹ́ sí i.
4. Ìṣẹ̀dá Ìṣẹ̀dá àti Ìṣẹ̀dá Pọ́límà Ilé-iṣẹ́
Pàtàkì iṣẹ́-ajé TMA jẹ́ nítorí ipa rẹ̀ nínú ìyípadà.
* Ìlànà Polyolefin: Ó jẹ́ ohun èlò ìbẹ̀rẹ̀ àkọ́kọ́ fún ìṣẹ̀dá Methylaluminoxane (MAO), olùrànlọ́wọ́ pàtàkì kan nínú àwọn ètò ìfàmọ́ra Ziegler-Natta àti metallocene. Àwọn ètò wọ̀nyí ló ń ṣe ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn pílásítíkì polyethylene àti polypropylene ní àgbáyé.
Àwọn Ànímọ́ Pàtàkì àti Àǹfààní:
* Ìmọ́tótó Gíga Jùlọ: A fi ọgbọ́n ṣàkóso rẹ̀ láti dín àwọn ohun ìdọ̀tí tí ó lè ba iṣẹ́ ẹ̀rọ itanna àti ìṣiṣẹ́ catalytic jẹ́ kù.
* Àkọ́kọ́ Àkọ́kọ́: Ó ní ìyípadà tó dára, ìdúróṣinṣin ooru, àti àwọn ànímọ́ ìbàjẹ́ tó mọ́ fún ìfipamọ́ fíìmù tó ga.
* Ipele Ile-iṣẹ: Orisun aluminiomu ti a ti ṣeto, ti a gbẹkẹle fun awọn ilana MOVPE, ALD, ati CVD kọja awọn ile-iṣẹ R&D ati iṣelọpọ agbaye.
* Ìpìlẹ̀ fún Pílásítíkì: Ohun èlò pàtàkì kan tí ó ń jẹ́ kí a ṣe àwọn pólímà polyolefin tó wọ́pọ̀ àti tó ṣe pàtàkì.
Ìkìlọ̀: Trimethylaluminum jẹ́ ohun èlò tí ó ní èròjà pyrophoric àti èyí tí ó ní ìmọ̀lára ọrinrin tí ó nílò ìlànà ìtọ́jú pàtàkì àti ààbò. Ìwífún tí a pèsè wà fún àwọn ète àpèjúwe. Ojúṣe olùlò ni láti ṣe àkóso ohun èlò yìí gẹ́gẹ́ bí gbogbo ìlànà ààbò tí ó báramu àti láti pinnu bí ó ṣe yẹ fún ohun èlò pàtó kan.