
Trîmetîlalûman (TMAI)
| Hevwate | Trîmetîlalûmînyûm, Alumînyûm Trîmetîl, Alumînyûm Trîmetanîd, TMA, TMAL, AlMe3, Katalîzatorê Ziegler-Natta, Trîmetîl-, Trîmetîlalan. |
| Hejmara Cas | 75-24-1 |
| Formula kîmyayî | C6H18Al2 |
| Girseya molar | 144.17 g/mol, 72.09 g/mol (C3H9Al) |
| Xuyabûnî | Şileya bêreng |
| Tîrbûn | 0.752 g/cm3 |
| Xala helandinê | 15℃ (59℉; 288K) |
| Xala kelandinê | 125--130℃ (257--266℉, 398--403K) |
| Çareserbûn di avê de | Bertek nîşan dide |
| Zexta buharê | 1,2 kPa (20℃), 9,24 kPa (60℃) |
| Vîskozîtî | 1,12 cP (20℃), 0,9 cP (30℃) |
Trîmetîlalûmînyûm (TMAl), wekî çavkaniyek metal-organîk (MO), di pîşesaziya nîvconductoran de bi berfirehî tê bikar anîn û wekî pêşengek sereke ji bo danîna qata atomî (ALD), danîna buhara kîmyewî (CVD), û danîna buhara kîmyewî ya metal-organîk (MOCVD) kar dike. Ew ji bo amadekirina fîlmên ku aluminum-dihewînin ên paqijiya bilind, wekî oksîda aluminum û nîtrîda aluminum tê bikar anîn. Wekî din, TMAl wekî katalîzator û ajana wê ya alîkar di reaksiyonên senteza organîk û polîmerîzasyonê de serîlêdanek berfireh dibîne.
Trîmetîlalûmînyûm (TMAI) wekî pêşeng ji bo danîna oksîda alumînyûmê tevdigere û wekî katalîzatorek Ziegler-Natta kar dike. Ew di heman demê de pêşengê alumînyûmê yê herî gelemperî ye ku di hilberîna epîtaksiya buhara-qonaxa metal-organîk (MOVPE) de tê bikar anîn. Wekî din, TMAI wekî ajanek metîlasyonê kar dike û pir caran ji roketan wekî şopîner ji bo lêkolîna şêwazên bayê atmosfera jorîn tê berdan.
Taybetmendiyên pargîdaniyê yên 99.9999% Trimethylaluminum - Silicon kêm û naveroka oksîjenê kêm (6N TAMI-Si kêm û Ox kêm)
| Pêve | Netîce | Taybetmendî | Pêve | Netîce | Taybetmendî | Pêve | Netîce | Taybetmendî |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
Not:
Berî her tiştî nirxa PPM bi giraniya li ser metalê, û ND = nehatiye tespît kirin
Rêbaza Analîzê: ICP-OES/ICP-MS
Encamên FT-NMR (LOD ji bo nepakiya organîk û oksîjenkirî ya FT-NMR 0.1 ppm e):
Garantiya oksîjenê <0.2 ppm (Bi FT-NMR hatiye pîvandin)
1. Nepakiyên organîk nehatin tespîtkirin
2. Nepakiyên oksîjenkirî nehatin tespîtkirin
Trîmetîlalûmînyûm (TMAI) ji bo çi tê bikaranîn?
Trîmetîlalûmînyûm (TMA)- Serlêdan û Bikaranîn
Trîmetîlalûmînyûm (TMA) pêkhateyeke organoalûmînyûmê ya paqijiya pir bilind e ku di hin ji sektorên hilberînê yên herî pêşketî de wekî pêşengek girîng kar dike. Reaktîvîteya wê ya bêhempa û zexta buharê wê dike materyalê bijartî ji bo danîna fîlmên rastîn ên ku alûmînyûm dihewînin di teknolojiyên elektronîk û enerjiyê de, û her weha pêkhateyek bingehîn di hilberîna polîolefîn de.
TMA-ya me li gorî pîvanên paqijiyê yên herî hişk tê çêkirin, bi kontroleke hişk li ser nepakiyên hêmanî, oksîjenkirî û organîk da ku performansa çêtirîn di sepanên we yên herî dijwar de misoger bike.
Serlêdan û Pîşesaziyên Sereke:
1. Çêkirina Nîvconductor û Mîkroelektronîkê
Di pîşesaziya nîvconductoran de, TMA ji bo danîna fîlmên tenik bi rastbûna asta atomî pir girîng e.
* Dîelektrîkên High-k: Di Depozîsyona Qata Atomî (ALD) û Depozîsyona Buxara Kîmyewî (CVD) de têne bikar anîn da ku fîlimên tenik û yekreng ên oksîda alumînyûmê (Al₂O₃) yên bê qul werin mezin kirin, ku wekî dîelektrîkên deriyê high-k di tranzîstor û cîhazên bîranînê yên pêşkeftî de kar dikin.
* Nîvconductorên Tevlihev: Çavkaniya alumînyûmê ya bijarte di Epitaksiya Qonaxa Buxara Metalorganîk (MOVPE) de ji bo mezinbûna nîvconductorên tevlihev ên III-V yên performansa bilind. Ev materyal ji bo van girîng in:
* Elektronîkên Frekanseke Bilind: (mînak, AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelektronîk: (mînak, AlGaN, AlInGaN)
2. Enerjiya Paqij û Fotovoltaîk
TMA di teknolojiyên enerjiya rojê de karîgerî û domdariya bilindtir peyda dike.
* Qatên Pasîvkirina Rûyê: Fîlmên oksîda aluminiumê (Al₂O₃) yên ji TMA bi rêya ALD an Plazma-Enhanced CVD (PECVD) hatine danîn, ji bo şaneyên rojê yên silîkona krîstalî pasîvkirina rûyê ya berbiçav peyda dikin. Ev yek ji nû ve kombînasyona hilgirê bargiraniyê bi girîngî kêm dike, û dibe sedema destkeftiyên girîng di karîgeriya veguherîna şaneyan û aramiya demdirêj de.
3. Ronahîkirin û Nîşandana Pêşketî (LED)
Hilberîna LED-ên bi geşiya bilind û bi teserûfa enerjiyê ve girêdayî TMA-ya paqijiya bilind e.
* Epitaxy LED: Wekî pêşengê alumînyûmê di reaktorên MOVPE de kar dike da ku tebeqeyên çalak (mînak, AlGaN) di LED-ên şîn, kesk û ultraviyole de mezin bike.
* Pasîvkirina Amûrê: Ji bo danîna fîlmên parastinê yên oksîda aluminiumê an nîtrîda aluminiumê tê bikar anîn ku karîgeriya derxistina optîkî zêde dike û temenê xebitandinê yê cîhazên LED dirêj dike.
4. Katalîza Pîşesazî û Hilberîna Polîmer
Girîngiya pîşesaziyê ya TMA di rola wê de di katalîzê de koka wê ye.
* Katalîza Polîolefîn: Ew madeya destpêkê ya sereke ye ji bo senteza Methylaluminoxane (MAO), ku hev-katalîzatorek girîng di sîstemên katalîzator ên Ziegler-Natta û metalosenê de ye. Ev sîstem piraniya mezin a plastîkên polîetîlen û polîpropîlen ên cîhanê hildiberînin.
Taybetmendî û Feydeyên Sereke:
* Paqijiya Ultra-Bilind: Bi baldarî tê kontrol kirin da ku qirêjiyên ku performansa elektronîkî û çalakiya katalîtîk xirab dikin kêm bike.
* Pêşengê Bilind: Ji bo danîna fîlmê bi kalîteya bilind, taybetmendiyên neguhêrbar, aramiya germî û hilweşîna paqij a hêja pêşkêş dike.
* Standarda Pîşesaziyê: Çavkaniya aluminiumê ya damezrandî û pêbawer ji bo pêvajoyên MOVPE, ALD, û CVD li seranserê tesîsên R&D û hilberînê yên gerdûnî.
* Bingeha Plastîkan: Materyalek xav a sereke ku hilberîna polîmerên polîolefîn ên piralî û girîng gengaz dike.
Daxuyanî: Trîmetîlalûmînyûm materyalek pîroforîk û hesas e li hember şilbûnê ku pêdivî bi protokolên ewlehiyê û destwerdana taybetî heye. Agahiyên hatine dayîn ji bo armancên ravekirinê ne. Berpirsiyariya bikarhêner e ku vê materyalê li gorî hemî rêbernameyên ewlehiyê yên têkildar destwer bide û guncawbûna wê ji bo serîlêdanek taybetî diyar bike.