Триметилалюміній (TMAI)

Триметилалюман (TMAI)

Триметилалюміній (TMAl), як джерело металоорганічних (MO) сполук, широко використовується в напівпровідниковій промисловості та служить ключовим попередником для атомно-шарового осадження (ALD), хімічного осадження з парової фази (CVD) та металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD). Його використовують для отримання високочистих алюмінієвмісних плівок, таких як оксид алюмінію та нітрид алюмінію. Крім того, TMAl знаходить широке застосування як каталізатор та його допоміжний агент в реакціях органічного синтезу та полімеризації.

Триметилалюміній (TMAI) діє як прекурсор для осадження оксиду алюмінію та функціонує як каталізатор Циглера-Натта. Він також є найпоширенішим алюмінієвим прекурсором у виробництві металоорганічної парофазної епітаксії (MOVPE). Крім того, TMAI служить агентом метилювання та часто виділяється з зондуючих ракет як трасер для вивчення вітрових моделей верхніх шарів атмосфери.

Специфікація підприємства 99,9999% триметилалюмінію - низький вміст кремнію та кисню (6N TAMI - низький вміст Si та низький вміст Ox)

Примітка:

Вище за значенням PPM за вагою на металі, а ND = не виявлено

Метод аналізу: ICP-OES/ICP-MS

Результати FT-ЯМР (LOD для органічних та оксигенованих домішок FT-ЯМР становить 0,1 ppm):

Гарантований вміст кисню <0,2 ppm (виміряно за допомогою FT-NMR)

1. Органічних домішок не виявлено

2. Не виявлено кисневих домішок

Для чого використовується триметилалюміній (TMAI)?

Триметилалюміній (ТМА)- Застосування та використання

Триметилалюміній (ТМА) – це надвисокочиста алюмінієво-органічна сполука, яка служить критичним попередником у деяких найсучасніших виробничих секторах. Його виняткова реакційна здатність і тиск пари роблять його матеріалом вибору для нанесення точних алюмінієвмісних плівок в електроніці та енергетичних технологіях, а також фундаментальним компонентом у виробництві поліолефінів.

Наші термопластичні матрикси (TMA) виготовляються відповідно до найсуворіших стандартів чистоти з ретельним контролем елементарних, кисневих та органічних домішок, щоб забезпечити оптимальну продуктивність у ваших найвимогливіших застосуваннях.

Основні застосування та галузі промисловості:

1. Виготовлення напівпровідників та мікроелектроніки

У напівпровідниковій промисловості TMA незамінний для нанесення тонких плівок з точністю атомного масштабу.

* Діелектрики з високим коефіцієнтом k: використовуються в атомно-шаровому осадженні (ALD) та хімічному осадженні з парової фази (CVD) для вирощування однорідних тонких плівок оксиду алюмінію (Al₂O₃) без отворів, які служать діелектриками з високим коефіцієнтом k для затворів у сучасних транзисторах та пристроях пам'яті.

* Складні напівпровідники: Найкраще джерело алюмінію в металоорганічній парофазній епітаксії (MOVPE) для вирощування високопродуктивних складних напівпровідників III-V групи. Ці матеріали необхідні для:

* Високочастотна електроніка: (наприклад, AlGaAs, AlInGaP)

* Оптоелектроніка: (наприклад, AlGaN, AlInGaN) 

2. Чиста енергія та фотоелектричні системи

TMA забезпечує підвищену ефективність та довговічність технологій сонячної енергетики.

* Шари поверхневої пасивації: Плівки оксиду алюмінію (Al₂O₃) з термопластичного оксидування (TMA), нанесені за допомогою ALD або плазмохімічного осаджування з посиленням плазми (PECVD), забезпечують чудову поверхневу пасивацію для кристалічних кремнієвих сонячних елементів. Це суттєво зменшує рекомбінацію носіїв заряду, що призводить до значного підвищення ефективності перетворення елементів та довгострокової стабільності.

3. Удосконалене освітлення та дисплей (світлодіодний)

Виробництво високояскравих та енергоефективних світлодіодів залежить від високочистого TMA.

* Світлодіодна епітаксія: служить алюмінієвим прекурсором у реакторах MOVPE для вирощування активних шарів (наприклад, AlGaN) у синіх, зелених та ультрафіолетових світлодіодах.

* Пасивація пристроїв: використовується для нанесення захисних плівок з оксиду алюмінію або нітриду алюмінію, що підвищують ефективність оптичної екстракції та подовжують термін служби світлодіодних пристроїв.

4. Промисловий каталіз та виробництво полімерів

Промислове значення TMA корениться в його ролі в каталізі.

* Поліолефіновий каталіз: це основний вихідний матеріал для синтезу метилалюміноксану (МАО), важливого співкаталізатора в каталітичних системах Циглера-Натта та металоцену. Ці системи виробляють переважну більшість поліетиленових та поліпропіленових пластмас у світі.

Ключові характеристики та переваги:

* Надвисока чистота: ретельно контрольована для мінімізації домішок, що погіршують електронні характеристики та каталітичну активність.

* Чудовий попередник: Забезпечує чудову леткість, термічну стабільність та чисті характеристики розкладання для високоякісного нанесення плівки.

* Галузевий стандарт: Встановлене, надійне джерело алюмінію для процесів MOVPE, ALD та CVD на світових науково-дослідних та виробничих об'єктах.

* Основа для пластмас: ключова сировина, що дозволяє виробляти універсальні та важливі поліолефінові полімери.

Застереження: Триметилалюміній – це пірофорний та чутливий до вологи матеріал, який вимагає спеціальних правил поводження та безпеки. Надана інформація має ознайомчий характер. Користувач несе відповідальність за поводження з цим матеріалом відповідно до всіх застосовних правил безпеки та визначення його придатності для конкретного застосування.