Ci gaban da aka samu cikin sauri a fannin bayanai da optoelectronics ya inganta ci gaba da sabunta fasahar polishing na sinadarai (CMP). Baya ga kayan aiki da kayan aiki, samun saman da suka dace da inganci ya dogara ne akan ƙira da samar da ƙwayoyin cuta masu ƙarfi a masana'antu, da kuma shirya slurry mai dacewa. Kuma tare da ci gaba da inganta daidaiton sarrafa saman da buƙatun inganci, buƙatun kayan polishing masu inganci suma suna ƙaruwa. An yi amfani da Cerium dioxide sosai a cikin sarrafa daidaiton saman na'urorin microelectronic da kayan gani daidai.
Foda mai gogewa ta Cerium oxide (VK-Ce01) tana da fa'idodin ƙarfin yankewa, ingantaccen gogewa, daidaiton gogewa mai kyau, ingantaccen gogewa, yanayin aiki mai tsafta, ƙarancin gurɓatawa, tsawon rai na sabis, da sauransu, kuma ana amfani da shi sosai a cikin gogewa mai daidaiton gani da kuma filin CMP, da sauransu. Yana da matsayi mai mahimmanci.
Babban halayen cerium oxide:
Ceria, wanda aka fi sani da cerium oxide, wani sinadari ne na cerium. A wannan lokacin, ƙarfin cerium shine +4, kuma dabarar sinadarai ita ce CeO2. Tsarkakken samfurin shine farin foda mai nauyi ko lu'ulu'u mai siffar cubic, kuma samfurin mara tsarki yana da launin rawaya mai haske ko ma ruwan hoda zuwa ja-launin ruwan kasa (saboda yana ɗauke da ɗan ƙaramin adadin lanthanum, praseodymium, da sauransu). A zafin ɗaki da matsin lamba, ceria sinadari ne mai ƙarfi na cerium. Cerium kuma yana iya samar da +3 valence Ce2O3, wanda ba shi da ƙarfi kuma zai samar da CeO2 mai ƙarfi tare da O2. Cerium oxide yana narkewa kaɗan a cikin ruwa, alkali da acid. Yawansa shine 7.132 g/cm3, wurin narkewa shine 2600℃, kuma wurin tafasa shine 3500℃.
Tsarin gogewa na cerium oxide
Taurin ƙwayoyin CeO2 ba shi da yawa. Kamar yadda aka nuna a teburin da ke ƙasa, taurin cerium oxide ya fi na lu'u-lu'u da aluminum oxide ƙasa, haka kuma ya fi na zirconium oxide da silicon oxide ƙasa, wanda yayi daidai da ferric oxide. Saboda haka, ba zai yiwu a goge kayan da aka yi da silicon oxide ba, kamar gilashin silicate, gilashin quartz, da sauransu, tare da ceria mai ƙarancin tauri daga mahangar injiniya kawai. Duk da haka, cerium oxide a halin yanzu shine foda mai gogewa da aka fi so don goge kayan da aka yi da silicon oxide ko ma kayan silicon nitride. Za a iya ganin cewa gogewar cerium oxide shima yana da wasu tasirin banda tasirin injiniya. Taurin lu'u-lu'u, wanda kayan niƙa ne da gogewa ne da aka saba amfani da shi, yawanci yana da guraben iskar oxygen a cikin layin CeO2, wanda ke canza halayensa na zahiri da na sinadarai kuma yana da wani tasiri akan halayen gogewa. Foda gogewar cerium oxide da aka saba amfani da shi yana ɗauke da wani adadin wasu oxides na ƙasa marasa ƙarfi. Praseodymium oxide (Pr6O11) kuma yana da tsarin lattice mai siffar cubic mai tsakiya a fuska, wanda ya dace da gogewa, yayin da sauran lanthanide rare earth oxides ba su da ikon gogewa. Ba tare da canza tsarin crystal na CeO2 ba, zai iya samar da mafita mai ƙarfi tare da shi a cikin wani takamaiman kewayon. Don foda mai gogewa na nano-cerium oxide mai ƙarfi (VK-Ce01), mafi girman tsarkin cerium oxide (VK-Ce01), mafi girman ikon gogewa da tsawon rayuwar sabis, musamman ga gilashin tauri da ruwan tabarau na gani na quartz na dogon lokaci. Lokacin gogewa mai zagaye, yana da kyau a yi amfani da foda mai gogewa na cerium oxide mai ƙarfi (VK-Ce01).
Amfani da foda mai gogewa na cerium oxide:
Foda mai gogewa ta Cerium oxide (VK-Ce01), wacce aka fi amfani da ita wajen goge kayayyakin gilashi, galibi ana amfani da ita ne a fannoni masu zuwa:
1. Gilashi, goge ruwan tabarau na gilashi;
2. Gilashin gani, gilashin gani, ruwan tabarau, da sauransu.
3. Gilashin allon wayar hannu, saman agogo (ƙofar agogo), da sauransu.
4. Na'urar saka idanu ta LCD duk nau'ikan allon LCD;
5. Duwatsu masu launin ruwan kasa, lu'u-lu'u masu zafi (katuna, lu'u-lu'u a kan wando jeans), ƙwallo masu haske (shanayen alfarma a cikin babban zauren);
6. Sana'o'in lu'ulu'u;
7. Goge wani ɓangare na ɗigon jade
Abubuwan da ke tattare da sinadarin polishing na cerium oxide na yanzu:
An lulluɓe saman cerium oxide da aluminum don inganta goge gilashin gani sosai.
Sashen Bincike da Ci Gaban Fasaha na UrbanMines Tech. Limited, ya ba da shawarar cewa haɗakarwa da gyaran saman barbashi masu gogewa su ne manyan hanyoyi da hanyoyin inganta inganci da daidaiton gogewar CMP. Domin ana iya daidaita halayen barbashi ta hanyar haɗa abubuwa masu sassa da yawa, kuma ana iya inganta kwanciyar hankali da ingancin gogewar gogewar gogewa ta hanyar gyaran saman. Shiryawa da gogewar foda na CeO2 da aka haɗa da TiO2 na iya inganta ingancin gogewa da fiye da 50%, kuma a lokaci guda, lahani a saman suma suna raguwa da 80%. Tasirin gogewa mai haɗin gwiwa na CeO2 ZrO2 da SiO2 2CeO2 masu haɗin gwiwa; saboda haka, fasahar shiryawa na oxides masu haɗin gwiwa na ceria micro-nano suna da matuƙar mahimmanci ga haɓaka sabbin kayan gogewa da tattaunawa game da tsarin gogewa. Baya ga adadin allurar, yanayin da rarrabawar dopant a cikin barbashi masu haɗin gwiwa suma suna shafar halayen saman su da aikin gogewa sosai.
Daga cikinsu, haɗakar ƙwayoyin gogewa tare da tsarin rufewa ya fi kyau. Saboda haka, zaɓin hanyoyin da yanayi na roba yana da matuƙar mahimmanci, musamman hanyoyin da suke da sauƙi kuma masu araha. Ta amfani da sinadarin cerium carbonate mai hydrated a matsayin babban kayan albarkatun ƙasa, an haɗa ƙwayoyin polishing na cerium oxide mai ɗauke da aluminum ta hanyar hanyar mechanochemical mai rigar. A ƙarƙashin aikin ƙarfin injiniya, ana iya raba manyan ƙwayoyin hydrated cerium carbonate zuwa ƙananan ƙwayoyin cuta, yayin da aluminum nitrate ke amsawa da ruwan ammonia don samar da ƙwayoyin colloidal marasa tsari. Ana haɗa ƙwayoyin colloidal cikin sauƙi da ƙwayoyin cerium carbonate, kuma bayan bushewa da calcination, ana iya samun allurar aluminum a saman cerium oxide. An yi amfani da wannan hanyar don haɗa ƙwayoyin cerium oxide tare da adadin allurar aluminum daban-daban, kuma an gano aikin gogewarsu. Bayan an ƙara adadin aluminum mai dacewa a saman ƙwayoyin cerium oxide, ƙimar mummunan ƙarfin saman zai ƙaru, wanda hakan ya sa gibin da ke tsakanin ƙwayoyin abrasion ya yi yawa. Akwai ƙarfin electrostatic mai ƙarfi, wanda ke haɓaka inganta kwanciyar hankali na dakatarwar abrasion. A lokaci guda kuma, shaƙar juna tsakanin ƙwayoyin da ke lalata da kuma laushin Layer mai kyau ta hanyar jan hankalin Coulomb zai ƙarfafa, wanda hakan yana da amfani ga hulɗar juna tsakanin mai lalata da Layer mai laushi akan saman gilashin da aka goge, kuma yana haɓaka haɓakar gogewa.