Déi séier Entwécklung an de Beräicher vun der Informatioun an der Optoelektronik huet d'kontinuéierlech Aktualiséierung vun der chemesch-mechanescher Poliertechnologie (CMP) gefördert. Nieft Ausrüstung a Materialien hänkt d'Acquisitioun vun ultra-héichpräzisen Uewerflächen ëmmer méi vum Design an der industrieller Produktioun vun héicheffiziente Schleifpartikelen, souwéi vun der Virbereedung vum entspriechende Polierschlamm of. A mat der kontinuéierlecher Verbesserung vun der Genauegkeet an der Effizienz vun der Uewerflächenveraarbechtung ginn d'Ufuerderunge fir héicheffizient Poliermaterialien och ëmmer méi héich. Ceriumdioxid gëtt wäit verbreet an der Uewerflächenpräzisiounsbearbechtung vu mikroelektroneschen Apparater a präzisen optesche Komponenten agesat.
Ceriumoxid-Polierpulver (VK-Ce01) huet d'Virdeeler vun enger staarker Schnëttfäegkeet, héijer Poliereffizienz, héijer Poliergenauegkeet, gudder Polierqualitéit, propperem Betribsëmfeld, gerénger Verschmotzung, laanger Liewensdauer, asw., a gëtt wäit verbreet am Beräich vun der optescher Präzisiounspoléierung a CMP etc. benotzt.
Grondleeënd Eegeschafte vu Ceriumoxid:
Ceria, och bekannt als Ceroxid, ass en Oxid vu Cer. Zu dësem Zäitpunkt ass d'Valenz vu Cer +4, an d'chemesch Formel ass CeO2. Dat rengt Produkt ass e wäisst schwéiert Pulver oder e kubesche Kristall, an dat onreint Produkt ass e hellgiel oder souguer rosa bis routbrong Pulver (well et Spuere vu Lanthan, Praseodym, etc. enthält). Bei Raumtemperatur an Drock ass Ceria e stabilt Oxid vu Cer. Cer kann och +3 Valenz Ce2O3 bilden, wat onstabil ass a mat O2 e stabilt CeO2 bildt. Ceroxid ass liicht léislech a Waasser, Alkali a Säure. D'Dicht ass 7,132 g/cm3, de Schmelzpunkt ass 2600 ℃, an de Kachpunkt ass 3500 ℃.
Poliermechanismus vu Ceriumoxid
D'Häert vun de CeO2-Partikelen ass net héich. Wéi an der Tabell hei ënnendrënner gewisen, ass d'Häert vum Ceroxid vill méi niddreg wéi déi vun Diamant an Aluminiumoxid, an och méi niddreg wéi déi vun Zirkoniumoxid a Siliziumoxid, wat gläichwäerteg mat Eisen(III)oxid ass. Et ass dofir technesch net machbar, Materialien op Basis vu Siliziumoxid, wéi Silikatglas, Quarzglas, etc., mat Ceria mat gerénger Häert aus mechanescher Siicht ze entpoléieren. Wéi och ëmmer, Ceroxid ass de Moment dat bevorzugt Polierpulver fir Materialien op Basis vu Siliziumoxid oder souguer Siliziumnitridmaterialien ze poléieren. Et ass ze gesinn, datt Ceroxid-Polierung nieft mechaneschen Effekter och aner Effekter huet. D'Häert vum Diamant, wat e wäit verbreet Schleif- a Poliermaterial ass, huet normalerweis Sauerstoffvakanzen am CeO2-Gitter, wat seng physikalesch a chemesch Eegeschafte ännert an e gewëssen Afloss op d'Poliereegeschafte huet. Dacks verbreet Ceroxid-Polierpulver enthalen eng gewëssen Quantitéit un anere seltenen Äerdoxiden. Praseodymoxid (Pr6O11) huet och eng flächenzentriert kubesch Gitterstruktur, déi sech fir d'Poléieren gëeegent mécht, während aner Lanthanid-Selten-Erde-Oxide keng Poléierungsfäegkeet hunn. Ouni d'Kristallstruktur vum CeO2 ze änneren, kann et eng fest Léisung domat bannent engem bestëmmte Beräich bilden. Fir héichreine Nano-Ceriumoxid-Poléierpulver (VK-Ce01) ass d'Poléierungsfäegkeet, wat méi héich d'Rengheet vum Ceriumoxid (VK-Ce01) ass, wat méi grouss d'Poléierungsfäegkeet an d'Liewensdauer méi laang ass, besonnesch fir haart Glas- a Quarz-Lënsen iwwer eng laang Zäit. Beim zyklischen Poléieren ass et ubruecht, héichreine Ceriumoxid-Poléierpulver (VK-Ce01) ze benotzen.
Uwendung vu Ceriumoxid-Polierpulver:
Ceriumoxid-Polierpulver (VK-Ce01), haaptsächlech fir d'Polierung vu Glasprodukter benotzt, gëtt et haaptsächlech an de folgende Beräicher benotzt:
1. Brëller, Glaslënsenpoléierung;
2. Optesch Lëns, optescht Glas, Lëns, etc.;
3. Handybildschiermglas, Aueruewerfläch (Auerdier), etc.;
4. LCD Monitor all Zorte vu LCD Bildschierm;
5. Strasssteine, waarm Diamanten (Kaarte, Diamanten op Jeans), Beliichtungsbäll (Luxus-Lüster an der grousser Hal);
6. Kristallhandwierk;
7. Partiell Poléierung vu Jade
Déi aktuell Derivater vu Ceriumoxid-Polierung:
D'Uewerfläch vum Ceroxid ass mat Aluminium dotiéiert fir seng Poléierung vum optesche Glas däitlech ze verbesseren.
D'Departement fir Technologiefuerschung an Entwécklung vun UrbanMines Tech. Limited huet proposéiert, datt d'Kompoundéierung an d'Uewerflächenmodifikatioun vu Polierpartikelen déi wichtegst Methoden an Approche sinn, fir d'Effizienz an d'Genauegkeet vum CMP-Polierprozess ze verbesseren. Well d'Partikeleegeschafte duerch d'Kompoundéierung vu Multikomponentelementer ofgestëmmt kënne ginn, an d'Dispersiounsstabilitéit an d'Poliereffizienz vum Polierschlamm duerch Uewerflächenmodifikatioun verbessert kënne ginn. D'Virbereedung an d'Polierleistung vu CeO2-Pulver, dat mat TiO2 dotiert ass, kann d'Poliereffizienz ëm méi wéi 50% verbesseren, an zur selwechter Zäit ginn d'Uewerflächendefekter och ëm 80% reduzéiert. Den synergistesche Poliereffekt vu CeO2-ZrO2- a SiO2-2CeO2-Kompositoxiden; dofir ass d'Virbereedungstechnologie vun dotierten Cerium-Mikro-Nano-Kompositoxiden vu grousser Bedeitung fir d'Entwécklung vun neie Poliermaterialien an d'Diskussioun vum Poliermechanismus. Nieft der Dotierungsquantitéit beaflosst den Zoustand an d'Verdeelung vum Dotierstoff an de synthetiséierte Partikelen och hir Uewerflächeegeschafte an d'Polierleistung staark.
Dorënner ass d'Synthese vu Polierpartikelen mat enger Verkleedungsstruktur méi attraktiv. Dofir ass d'Auswiel vu synthetesche Methoden a Konditiounen och ganz wichteg, besonnesch déi Methoden, déi einfach a kosteneffektiv sinn. Mat hydratiséiertem Cerkarbonat als Haaptrohmaterial goufen Aluminium-dotiert Ceroxid-Polierpartikelen duerch naass Festphas-Mechanochemesch Method synthetiséiert. Ënner der Wierkung vu mechanescher Kraaft kënnen grouss Partikelen aus hydratiséiertem Cerkarbonat a fein Partikelen opgespalt ginn, während Aluminiumnitrat mat Ammoniakwaasser reagéiert fir amorph kolloidal Partikelen ze bilden. Déi kolloidal Partikelen hänken einfach un d'Cerkarbonatpartikelen, an no der Trocknung an der Kalzinatioun kann Aluminium-Dotierung op der Uewerfläch vum Ceroxid erreecht ginn. Dës Method gouf benotzt fir Ceroxidpartikelen mat verschiddene Quantitéiten un Aluminium-Dotierung ze synthetiséieren, an hir Polierleistung gouf charakteriséiert. Nodeems eng entspriechend Quantitéit un Aluminium op d'Uewerfläch vun de Ceroxidpartikelen bäigefüügt gouf, géif de negativen Wäert vum Uewerflächenpotenzial eropgoen, wat dann d'Lück tëscht den Abrasivpartikelen verursaacht huet. Et gëtt eng méi staark elektrostatesch Ofstoussung, wat d'Verbesserung vun der Stabilitéit vun der Abrasivsuspensioun fördert. Gläichzäiteg gëtt déi géigesäiteg Adsorptioun tëscht den abrasiven Partikelen an der positiv geluedener mëller Schicht duerch Coulomb-Attraktioun och gestäerkt, wat fir de géigesäitege Kontakt tëscht dem Abrasive an der mëller Schicht op der Uewerfläch vum poléierte Glas virdeelhaft ass an d'Verbesserung vun der Poliergeschwindegkeet fördert.