ອະນາຄົດຂອງຊີຣຽມອອກໄຊດ໌ໃນການຂັດເງົາ

ການພັດທະນາຢ່າງວ່ອງໄວໃນຂົງເຂດຂໍ້ມູນຂ່າວສານ ແລະ ອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກໄດ້ສົ່ງເສີມການປັບປຸງເຕັກໂນໂລຢີການຂັດເງົາທາງເຄມີ (CMP) ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ນອກເໜືອໄປຈາກອຸປະກອນ ແລະ ວັດສະດຸແລ້ວ, ການໄດ້ມາຂອງພື້ນຜິວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຫຼາຍແມ່ນຂຶ້ນກັບການອອກແບບ ແລະ ການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາຂອງອະນຸພາກຂັດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການກະກຽມນໍ້າຢາຂັດທີ່ສອດຄ້ອງກັນ. ແລະ ດ້ວຍການປັບປຸງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມຖືກຕ້ອງ ແລະ ປະສິດທິພາບໃນການປະມວນຜົນພື້ນຜິວ, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບວັດສະດຸຂັດເງົາທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງກໍ່ສູງຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ເຊລຽມໄດອອກໄຊດ໌ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການເຄື່ອງຈັກຄວາມແມ່ນຍໍາພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ອົງປະກອບທາງແສງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ.

ຜົງຂັດເງົາຊີຣຽມອອກໄຊ (VK-Ce01) ມີຂໍ້ດີຄືຄວາມສາມາດໃນການຕັດທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ປະສິດທິພາບການຂັດສູງ, ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຂັດສູງ, ຄຸນນະພາບການຂັດທີ່ດີ, ສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ສະອາດ, ມົນລະພິດຕໍ່າ, ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ, ແລະອື່ນໆ, ແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຂັດເງົາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ CMP, ແລະອື່ນໆ. ມີບົດບາດສໍາຄັນຫຼາຍ.

ຄຸນສົມບັດພື້ນຖານຂອງຊີລຽມອອກໄຊ:

ເຊຣຽມ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າຊີຣຽມອອກໄຊ, ແມ່ນອົກໄຊຂອງຊີຣຽມ. ໃນເວລານີ້, ຄ່າວາເລນຂອງຊີຣຽມແມ່ນ +4, ແລະສູດເຄມີແມ່ນ CeO2. ຜະລິດຕະພັນບໍລິສຸດແມ່ນຜົງໜັກສີຂາວ ຫຼື ຜລຶກກ້ອນ, ແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ບໍລິສຸດແມ່ນສີເຫຼືອງອ່ອນ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ສີບົວຫາຜົງສີນ້ຳຕານແດງ (ເພາະມັນມີປະລິມານໜ້ອຍຂອງແລນທານຳ, ພຣາຊີໂອດີມຽມ, ແລະອື່ນໆ). ທີ່ອຸນຫະພູມຫ້ອງ ແລະ ຄວາມກົດດັນ, ຊີຣຽມແມ່ນອົກໄຊທີ່ໝັ້ນຄົງຂອງຊີຣຽມ. ຊີຣຽມຍັງສາມາດສ້າງຄ່າວາເລນ +3 Ce2O3, ເຊິ່ງບໍ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຈະສ້າງ CeO2 ທີ່ໝັ້ນຄົງກັບ O2. ຊີຣຽມອອກໄຊລະລາຍເລັກນ້ອຍໃນນ້ຳ, ດ່າງ ແລະ ກົດ. ຄວາມໜາແໜ້ນແມ່ນ 7.132 g/cm3, ຈຸດລະລາຍແມ່ນ 2600℃, ແລະຈຸດເດືອດແມ່ນ 3500℃.

ກົນໄກການຂັດເງົາຂອງຊີລຽມອອກໄຊດ໌

ຄວາມແຂງຂອງອະນຸພາກ CeO2 ບໍ່ສູງ. ດັ່ງທີ່ສະແດງຢູ່ໃນຕາຕະລາງຂ້າງລຸ່ມນີ້, ຄວາມແຂງຂອງຊີຣຽມອອກໄຊດ໌ຕ່ຳກວ່າເພັດ ແລະ ອາລູມິນຽມອອກໄຊດ໌ຫຼາຍ, ແລະຍັງຕ່ຳກວ່າເຊີໂຄນຽມອອກໄຊດ໌ ແລະ ຊິລິກອນອອກໄຊດ໌, ເຊິ່ງເທົ່າກັບເຟີຣິກອອກໄຊດ໌. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນຈຶ່ງບໍ່ເປັນໄປໄດ້ທາງດ້ານເຕັກນິກທີ່ຈະກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ມີຊິລິກອນອອກໄຊດ໌ເຊັ່ນ: ແກ້ວຊິລິເຄດ, ແກ້ວຄວດສ໌, ແລະອື່ນໆ, ດ້ວຍຊີຣຽມທີ່ມີຄວາມແຂງຕ່ຳຈາກທັດສະນະທາງກົນຈັກເທົ່ານັ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຊີຣຽມອອກໄຊດ໌ປະຈຸບັນແມ່ນຜົງຂັດທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການຂັດວັດສະດຸທີ່ມີຊິລິກອນອອກໄຊດ໌ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ວັດສະດຸຊິລິກອນໄນໄຕຣດ. ສາມາດເຫັນໄດ້ວ່າການຂັດຊີຣຽມອອກໄຊດ໌ຍັງມີຜົນກະທົບອື່ນໆນອກເໜືອຈາກຜົນກະທົບທາງກົນຈັກ. ຄວາມແຂງຂອງເພັດ, ເຊິ່ງເປັນວັດສະດຸບົດ ແລະ ຂັດທີ່ນິຍົມໃຊ້, ມັກຈະມີຊ່ອງຫວ່າງອົກຊີເຈນຢູ່ໃນຕາຂ່າຍ CeO2, ເຊິ່ງປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ເຄມີຂອງມັນ ແລະ ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນສົມບັດການຂັດ. ຜົງຂັດຊີຣຽມອອກໄຊດ໌ທີ່ນິຍົມໃຊ້ມີອົກຊີເຈນທີ່ຫາຍາກອື່ນໆຈຳນວນໜຶ່ງ. ພຣາຊີໂອດີມຽມອອກໄຊ (Pr6O11) ຍັງມີໂຄງສ້າງຕາຂ່າຍລູກບາດທີ່ມີໜ້າຢູ່ໃຈກາງ, ເຊິ່ງເໝາະສົມສຳລັບການຂັດເງົາ, ໃນຂະນະທີ່ອອກໄຊດິນທີ່ຫາຍາກອື່ນໆຂອງແລນທາໄນບໍ່ມີຄວາມສາມາດໃນການຂັດເງົາ. ໂດຍບໍ່ຕ້ອງປ່ຽນໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງ CeO2, ມັນສາມາດສ້າງສານລະລາຍທີ່ແຂງກັບມັນພາຍໃນຂອບເຂດທີ່ແນ່ນອນ. ສຳລັບຜົງຂັດເງົານາໂນຊີຣຽມອອກໄຊທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VK-Ce01), ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊີຣຽມອອກໄຊ (VK-Ce01) ທີ່ສູງຂຶ້ນ, ຄວາມສາມາດໃນການຂັດເງົາກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບແກ້ວແຂງ ແລະ ເລນແສງຄວອດສ໌ເປັນເວລາດົນນານ. ເມື່ອຂັດເງົາເປັນວົງຈອນ, ຄວນໃຊ້ຜົງຂັດເງົາຊີຣຽມອອກໄຊທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VK-Ce01).

ການໃຊ້ຜົງຂັດເງົາຊີຣຽມອອກໄຊດ໌:

ຜົງຂັດ Cerium oxide (VK-Ce01), ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການຂັດຜະລິດຕະພັນແກ້ວ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂົງເຂດຕໍ່ໄປນີ້:

1. ແວ່ນຕາ, ການຂັດເລນແກ້ວ;

2. ເລນ optical, ແກ້ວ optical, ເລນ, ແລະອື່ນໆ;

3. ກະຈົກໜ້າຈໍໂທລະສັບມືຖື, ໜ້າຜິວໂມງ (ປະຕູໂມງ), ແລະອື່ນໆ.;

4. ຈໍ LCD ທຸກຊະນິດຂອງໜ້າຈໍ LCD;

5. ເພັດພອຍ, ເພັດຮ້ອນ (ບັດ, ເພັດໃສ່ກາງເກງຢີນ), ບານໄຟ (ໂຄມໄຟຫລູຫລາໃນຫ້ອງໂຖງໃຫຍ່);

6. ຫັດຖະກຳຜລຶກ;

7. ການຂັດເງົາຫີນອ່ອນບາງສ່ວນ

ອະນຸພັນຂັດເງົາຊີລຽມອອກໄຊໃນປະຈຸບັນ:

ພື້ນຜິວຂອງຊີລຽມອອກໄຊດ໌ຖືກເສີມດ້ວຍອາລູມີນຽມເພື່ອປັບປຸງການຂັດເງົາຂອງແກ້ວແສງໃຫ້ດີຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ພະແນກຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຊີຂອງບໍລິສັດ UrbanMines Tech. Limited ໄດ້ສະເໜີວ່າການປະສົມ ແລະ ການດັດແປງພື້ນຜິວຂອງອະນຸພາກຂັດແມ່ນວິທີການ ແລະ ວິທີການຫຼັກເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງການຂັດ CMP. ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດຂອງອະນຸພາກສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ໂດຍການປະສົມຂອງອົງປະກອບຫຼາຍອົງປະກອບ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນການກະຈາຍ ແລະ ປະສິດທິພາບການຂັດຂອງນ້ຳຢາຂັດສາມາດປັບປຸງໄດ້ໂດຍການດັດແປງພື້ນຜິວ. ການກະກຽມ ແລະ ປະສິດທິພາບການຂັດຂອງຜົງ CeO2 ທີ່ປະສົມດ້ວຍ TiO2 ສາມາດປັບປຸງປະສິດທິພາບການຂັດໄດ້ຫຼາຍກວ່າ 50%, ແລະ ໃນເວລາດຽວກັນ, ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງພື້ນຜິວຍັງຫຼຸດລົງ 80%. ຜົນກະທົບການຂັດຮ່ວມກັນຂອງອົກໄຊປະສົມ CeO2 ZrO2 ແລະ SiO2 2CeO2; ດັ່ງນັ້ນ, ເຕັກໂນໂລຊີການກະກຽມອົກໄຊປະສົມ ceria micro-nano ທີ່ປະສົມມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ການພັດທະນາວັດສະດຸຂັດໃໝ່ ແລະ ການສົນທະນາກ່ຽວກັບກົນໄກການຂັດ. ນອກເໜືອໄປຈາກປະລິມານການປະສົມ, ສະພາບ ແລະ ການແຈກຢາຍຂອງສານປະສົມໃນອະນຸພາກທີ່ສັງເຄາະຍັງມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄຸນສົມບັດພື້ນຜິວ ແລະ ປະສິດທິພາບການຂັດຂອງມັນ.

ໃນນັ້ນ, ການສັງເຄາະອະນຸພາກຂັດທີ່ມີໂຄງສ້າງ cladding ແມ່ນໜ້າສົນໃຈຫຼາຍກວ່າ. ດັ່ງນັ້ນ, ການເລືອກວິທີການ ແລະ ເງື່ອນໄຂສັງເຄາະກໍ່ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ, ໂດຍສະເພາະວິທີການເຫຼົ່ານັ້ນທີ່ງ່າຍດາຍ ແລະ ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ. ການໃຊ້ hydrated cerium carbonate ເປັນວັດຖຸດິບຫຼັກ, ອະນຸພາກຂັດ cerium oxide ທີ່ມີອາລູມິນຽມປະສົມໄດ້ຖືກສັງເຄາະໂດຍວິທີການກົນຈັກເຄມີໄລຍະແຂງປຽກ. ພາຍໃຕ້ການກະທຳຂອງແຮງກົນຈັກ, ອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່ຂອງ hydrated cerium carbonate ສາມາດແຍກອອກເປັນອະນຸພາກລະອຽດ, ໃນຂະນະທີ່ອາລູມິນຽມໄນເຕຣດປະຕິກິລິຍາກັບນ້ຳແອມໂມເນຍເພື່ອສ້າງອະນຸພາກ colloidal amorphous. ອະນຸພາກ colloidal ສາມາດຕິດກັບອະນຸພາກ cerium carbonate ໄດ້ງ່າຍ, ແລະ ຫຼັງຈາກການແຫ້ງ ແລະ ການ calcination, ການເສີມອາລູມິນຽມສາມາດບັນລຸໄດ້ເທິງໜ້າດິນຂອງ cerium oxide. ວິທີການນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສັງເຄາະອະນຸພາກ cerium oxide ທີ່ມີປະລິມານການເສີມອາລູມິນຽມທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແລະ ປະສິດທິພາບການຂັດຂອງພວກມັນໄດ້ຖືກລັກສະນະ. ຫຼັງຈາກປະລິມານອາລູມິນຽມທີ່ເໝາະສົມຖືກເພີ່ມໃສ່ໜ້າດິນຂອງອະນຸພາກ cerium oxide, ຄ່າລົບຂອງທ່າແຮງໜ້າດິນຈະເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງອະນຸພາກຂັດ. ມີແຮງຕ້ານໄຟຟ້າສະຖິດທີ່ເຂັ້ມແຂງກວ່າ, ເຊິ່ງສົ່ງເສີມການປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງລະບົບລະງັບຂັດ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ການດູດຊຶມເຊິ່ງກັນແລະກັນລະຫວ່າງອະນຸພາກທີ່ມີສານຂັດ ແລະ ຊັ້ນອ່ອນທີ່ມີປະຈຸບວກຜ່ານແຮງດຶງດູດ Coulomb ກໍ່ຈະໄດ້ຮັບການເສີມສ້າງ, ເຊິ່ງເປັນປະໂຫຍດຕໍ່ການຕິດຕໍ່ເຊິ່ງກັນແລະກັນລະຫວ່າງສານຂັດ ແລະ ຊັ້ນອ່ອນເທິງໜ້າຜິວຂອງແກ້ວຂັດເງົາ, ແລະ ສົ່ງເສີມການປັບປຸງອັດຕາການຂັດເງົາ.