තොරතුරු සහ දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්රොනික ක්ෂේත්රවල වේගවත් සංවර්ධනය රසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීමේ (CMP) තාක්ෂණය අඛණ්ඩව යාවත්කාලීන කිරීම ප්රවර්ධනය කර ඇත. උපකරණ සහ ද්රව්ය වලට අමතරව, අතිශය ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් පෘෂ්ඨ අත්පත් කර ගැනීම ඉහළ කාර්යක්ෂමතා උල්ෙල්ඛ අංශු සැලසුම් කිරීම සහ කාර්මික නිෂ්පාදනය මෙන්ම අනුරූප ඔප දැමීමේ පොහොර සකස් කිරීම මත රඳා පවතී. මතුපිට සැකසුම් නිරවද්යතාවය සහ කාර්යක්ෂමතා අවශ්යතා අඛණ්ඩව වැඩිදියුණු කිරීමත් සමඟ, ඉහළ කාර්යක්ෂමතා ඔප දැමීමේ ද්රව්ය සඳහා වන අවශ්යතා ද ඉහළ හා ඉහළ යමින් පවතී. ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග සහ නිරවද්ය දෘශ්ය සංරචකවල මතුපිට නිරවද්ය යන්ත්රෝපකරණ සඳහා සීරියම් ඩයොක්සයිඩ් බහුලව භාවිතා වී ඇත.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01) ඔප දැමීමේ කුඩු වල ශක්තිමත් කැපුම් හැකියාව, ඉහළ ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව, ඉහළ ඔප දැමීමේ නිරවද්යතාවය, හොඳ ඔප දැමීමේ ගුණාත්මකභාවය, පිරිසිදු මෙහෙයුම් පරිසරය, අඩු දූෂණය, දිගු සේවා කාලය යනාදියෙහි වාසි ඇති අතර දෘශ්ය නිරවද්ය ඔප දැමීමේ සහ CMP ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ. ක්ෂේත්රය අතිශයින් වැදගත් ස්ථානයක් ගනී.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් වල මූලික ගුණාංග:
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ලෙසද හැඳින්වෙන සීරියම්, සීරියම් ඔක්සයිඩ් වේ. මෙම අවස්ථාවේදී, සීරියම් වල සංයුජතාව +4 වන අතර රසායනික සූත්රය CeO2 වේ. පිරිසිදු නිෂ්පාදනය සුදු පැහැති බර කුඩු හෝ ඝන ස්ඵටික වන අතර, අපිරිසිදු නිෂ්පාදනය ලා කහ හෝ රෝස සිට රතු-දුඹුරු කුඩු දක්වා වේ (එහි ලැන්තනම්, ප්රෙසෝඩියමියම් ආදිය අංශු මාත්ර ප්රමාණයක් අඩංගු වන බැවිනි). කාමර උෂ්ණත්වයේ සහ පීඩනයේදී, සීරියම් යනු සීරියම් වල ස්ථායී ඔක්සයිඩ් වේ. සීරියම් +3 සංයුජතා Ce2O3 ද සෑදිය හැකි අතර එය අස්ථායී වන අතර O2 සමඟ ස්ථායී CeO2 සාදයි. සීරියම් ඔක්සයිඩ් ජලය, ක්ෂාර සහ අම්ලයේ තරමක් ද්රාව්ය වේ. ඝනත්වය 7.132 g/cm3, ද්රවාංකය 2600℃ සහ තාපාංකය 3500℃ වේ.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ යාන්ත්රණය
CeO2 අංශුවල දෘඪතාව ඉහළ මට්ටමක නැත. පහත වගුවේ දැක්වෙන පරිදි, සීරියම් ඔක්සයිඩ්වල දෘඪතාව දියමන්ති සහ ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් වලට වඩා බෙහෙවින් අඩු වන අතර, ෆෙරික් ඔක්සයිඩ් වලට සමාන වන සර්කෝනියම් ඔක්සයිඩ් සහ සිලිකන් ඔක්සයිඩ් වලට වඩා අඩුය. එබැවින් යාන්ත්රික දෘෂ්ටි කෝණයකින් පමණක් අඩු දෘඪතාවක් සහිත සීරියා සමඟ සිලිකේට් වීදුරු, ක්වාර්ට්ස් වීදුරු වැනි සිලිකන් ඔක්සයිඩ් පාදක ද්රව්ය ඉවත් කිරීම තාක්ෂණික වශයෙන් කළ නොහැකි ය. කෙසේ වෙතත්, සීරියම් ඔක්සයිඩ් දැනට සිලිකන් ඔක්සයිඩ් පාදක ද්රව්ය හෝ සිලිකන් නයිට්රයිඩ් ද්රව්ය ඔප දැමීම සඳහා වඩාත් කැමති ඔප දැමීමේ කුඩු වේ. සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීම යාන්ත්රික බලපෑම් වලට අමතරව වෙනත් බලපෑම් ද ඇති බව දැකිය හැකිය. බහුලව භාවිතා වන ඇඹරුම් සහ ඔප දැමීමේ ද්රව්යයක් වන දියමන්තිවල දෘඪතාව සාමාන්යයෙන් CeO2 දැලිස් වල ඔක්සිජන් පුරප්පාඩු ඇති අතර එය එහි භෞතික හා රසායනික ගුණාංග වෙනස් කරන අතර ඔප දැමීමේ ගුණාංග කෙරෙහි යම් බලපෑමක් ඇති කරයි. බහුලව භාවිතා වන සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු වල වෙනත් දුර්ලභ පෘථිවි ඔක්සයිඩ් යම් ප්රමාණයක් අඩංගු වේ. ප්රසියෝඩයිමියම් ඔක්සයිඩ් (Pr6O11) මුහුණත කේන්ද්ර කරගත් ඝන දැලිස් ව්යුහයක් ද ඇති අතර එය ඔප දැමීම සඳහා සුදුසු වන අතර අනෙකුත් ලැන්තනයිඩ් දුර්ලභ පෘථිවි ඔක්සයිඩවලට ඔප දැමීමේ හැකියාවක් නොමැත. CeO2 හි ස්ඵටික ව්යුහය වෙනස් නොකර, එය යම් පරාසයක් තුළ එය සමඟ ඝන ද්රාවණයක් සෑදිය හැකිය. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් නැනෝ-සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01) සඳහා, සීරියම් ඔක්සයිඩ් (VK-Ce01) හි සංශුද්ධතාවය වැඩි වන තරමට, ඔප දැමීමේ හැකියාව වැඩි වන අතර දිගු සේවා කාලය වැඩි වේ, විශේෂයෙන් දෘඩ වීදුරු සහ ක්වාර්ට්ස් දෘශ්ය කාච සඳහා දිගු කාලයක්. චක්රීය ඔප දැමීමේදී, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01) භාවිතා කිරීම සුදුසුය.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු යෙදීම:
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01), ප්රධාන වශයෙන් වීදුරු නිෂ්පාදන ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරයි, එය ප්රධාන වශයෙන් පහත ක්ෂේත්රවල භාවිතා වේ:
1. වීදුරු, වීදුරු කාච ඔප දැමීම;
2. දෘශ්ය කාච, දෘශ්ය වීදුරු, කාච, ආදිය;
3. ජංගම දුරකථන තිර වීදුරු, ඔරලෝසු මතුපිට (ඔරලෝසු දොර) ආදිය;
4. සියලු වර්ගවල LCD තිර LCD මොනිටරය;
5. රයිනෙස්ටෝන්, උණුසුම් දියමන්ති (කාඩ්පත්, ජීන්ස් මත දියමන්ති), ආලෝකකරණ බෝල (විශාල ශාලාවේ සුඛෝපභෝගී පහන් කූඩු);
6. ස්ඵටික අත්කම්;
7. ජේඩ් අර්ධ වශයෙන් ඔප දැමීම
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ වත්මන් ව්යුත්පන්නයන්:
සීරියම් ඔක්සයිඩ් මතුපිට ඇලුමිනියම් සමඟ මාත්රණය කර ඇති අතර එමඟින් දෘශ්ය වීදුරු ඔප දැමීම සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු වේ.
CMP ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ නිරවද්යතාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ඔප දැමීමේ අංශු සංයෝග කිරීම සහ මතුපිට වෙනස් කිරීම ප්රධාන ක්රම සහ ප්රවේශයන් බව UrbanMines Tech. Limited හි තාක්ෂණ පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන දෙපාර්තමේන්තුව යෝජනා කළේය. බහු-සංරචක මූලද්රව්ය සංයෝග කිරීම මගින් අංශු ගුණාංග සුසර කළ හැකි අතර, ඔප දැමීමේ පොහොරවල විසරණ ස්ථායිතාව සහ ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව මතුපිට වෙනස් කිරීම මගින් වැඩි දියුණු කළ හැකිය. TiO2 සමඟ මාත්රණය කරන ලද CeO2 කුඩු සකස් කිරීම සහ ඔප දැමීමේ කාර්ය සාධනය ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව 50% කට වඩා වැඩි දියුණු කළ හැකි අතර, ඒ සමඟම, මතුපිට දෝෂ ද 80% කින් අඩු වේ. CeO2 ZrO2 සහ SiO2 2CeO2 සංයුක්ත ඔක්සයිඩවල සහජීවන ඔප දැමීමේ බලපෑම; එබැවින්, මාත්රණය කරන ලද සීරියා ක්ෂුද්ර-නැනෝ සංයුක්ත ඔක්සයිඩ සකස් කිරීමේ තාක්ෂණය නව ඔප දැමීමේ ද්රව්ය සංවර්ධනය කිරීම සහ ඔප දැමීමේ යාන්ත්රණය පිළිබඳ සාකච්ඡාව සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. මාත්රණ ප්රමාණයට අමතරව, සංස්ලේෂණය කරන ලද අංශුවල මාත්රණයේ තත්වය සහ ව්යාප්තිය ද ඒවායේ මතුපිට ගුණාංග සහ ඔප දැමීමේ කාර්ය සාධනයට බෙහෙවින් බලපායි.
ඒවා අතර, ආවරණ ව්යුහයක් සහිත ඔප දැමීමේ අංශු සංස්ලේෂණය වඩාත් ආකර්ශනීය වේ. එබැවින්, කෘතිම ක්රම සහ කොන්දේසි තෝරා ගැනීම ද ඉතා වැදගත් වේ, විශේෂයෙන් සරල හා ලාභදායී ක්රම. හයිඩ්රේටඩ් සීරියම් කාබනේට් ප්රධාන අමුද්රව්ය ලෙස භාවිතා කරමින්, ඇලුමිනියම්-ඩෝප් කරන ලද සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ අංශු තෙත් ඝන-අදියර යාන්ත්රික රසායනික ක්රමය මගින් සංස්ලේෂණය කරන ලදී. යාන්ත්රික බලයේ ක්රියාකාරිත්වය යටතේ, හයිඩ්රේටඩ් සීරියම් කාබනේට් විශාල අංශු සියුම් අංශු බවට කැඩී යා හැකි අතර, ඇලුමිනියම් නයිට්රේට් ඇමෝනියා ජලය සමඟ ප්රතික්රියා කර අස්ඵටික කොලොයිඩල් අංශු සාදයි. කොලොයිඩල් අංශු පහසුවෙන් සීරියම් කාබනේට් අංශු වලට සම්බන්ධ වන අතර, වියළීම සහ කැල්සිනේෂන් කිරීමෙන් පසු, සීරියම් ඔක්සයිඩ් මතුපිට ඇලුමිනියම් ඩොපින් ලබා ගත හැකිය. විවිධ ප්රමාණයේ ඇලුමිනියම් ඩොපින් සමඟ සීරියම් ඔක්සයිඩ් අංශු සංස්ලේෂණය කිරීමට මෙම ක්රමය භාවිතා කරන ලද අතර, ඒවායේ ඔප දැමීමේ කාර්ය සාධනය සංලක්ෂිත විය. සීරියම් ඔක්සයිඩ් අංශු මතුපිටට සුදුසු ඇලුමිනියම් ප්රමාණයක් එකතු කිරීමෙන් පසු, මතුපිට විභවයේ සෘණ අගය වැඩි වන අතර එමඟින් උල්ෙල්ඛ අංශු අතර පරතරය ඇති විය. උල්ෙල්ඛ අත්හිටුවීමේ ස්ථායිතාව වැඩිදියුණු කිරීම ප්රවර්ධනය කරන ශක්තිමත් විද්යුත් ස්ථිතික විකර්ෂණයක් ඇත. ඒ සමඟම, කූලොම්බ් ආකර්ෂණය හරහා උල්ෙල්ඛ අංශු සහ ධන ආරෝපිත මෘදු ස්ථරය අතර අන්යෝන්ය අවශෝෂණය ද ශක්තිමත් වනු ඇත, එය ඔප දැමූ වීදුරුවේ මතුපිට ඇති උල්ෙල්ඛ සහ මෘදු ස්ථරය අතර අන්යෝන්ය සම්බන්ධතාවයට ප්රයෝජනවත් වන අතර ඔප දැමීමේ වේගය වැඩි දියුණු කිරීම ප්රවර්ධනය කරයි.