Horumarka degdegga ah ee dhinacyada macluumaadka iyo optoelectronics ayaa kor u qaaday cusbooneysiinta joogtada ah ee tignoolajiyada nadiifinta farsamada kiimikada (CMP). Marka laga soo tago qalabka iyo agabka, helitaanka dusha sare ee saxnaanta aadka u sareysa waxay ku xiran tahay naqshadeynta iyo wax soo saarka warshadaha ee walxaha xoqidda waxtarka sare leh, iyo sidoo kale diyaarinta slurry-ka dhalaalinta ee u dhigma. Iyadoo la horumarinayo si joogto ah oo loo sameeyo saxnaanta iyo shuruudaha hufnaanta wax soo saarka dusha sare, shuruudaha qalabka nadiifinta waxtarka sare leh ayaa sidoo kale sii kordhaya. Cerium dioxide waxaa si weyn loogu isticmaalay mashiinka saxda ah ee dusha sare ee aaladaha microelectronic iyo qaybaha indhaha ee saxnaanta leh.
Budada dhalaalinta ee budada cerium oxide (VK-Ce01) waxay leedahay faa'iidooyinka awoodda jarista oo xooggan, hufnaan dhalaalin sare, saxnaan dhalaalin sare, tayo dhalaalin wanaagsan, jawi hawlgal oo nadiif ah, wasakheyn hoose, cimri dheer oo adeeg, iwm., waxaana si weyn loogu isticmaalaa nadiifinta saxda ah ee indhaha iyo goobta CMP, iwm. waxay ku jirtaa boos aad muhiim u ah.
Sifooyinka aasaasiga ah ee oksaydhka cerium:
Ceria, oo sidoo kale loo yaqaan cerium oxide, waa oksaydh cerium ah. Waqtigan xaadirka ah, qiimaha cerium waa +4, qaacidada kiimikadana waa CeO2. Badeecada saafiga ah waa budo cad oo culus ama kiristaalo cubic ah, badeecada aan nadiifka ahaynna waa huruud khafiif ah ama xitaa casaan ilaa bunni casaan ah (sababtoo ah waxay ka kooban tahay xaddi raad ah oo lanthanum ah, praseodymium, iwm.). Heerkulka qolka iyo cadaadiska, ceria waa oksaydh deggan oo cerium ah. Cerium sidoo kale waxay samayn kartaa +3 valence Ce2O3, kaas oo aan degganayn oo samayn doona CeO2 deggan oo leh O2. Cerium oxide si yar ayuu ugu milmaa biyaha, alkali iyo aashitada. Cufnaanta waa 7.132 g/cm3, barta dhalaalku waa 2600℃, barta karkarana waa 3500℃.
Habka dhalaalinta oksaydhka cerium
Adkaanta walxaha CeO2 ma ahan mid aad u sarreysa. Sida ku cad jadwalka hoose, adkaanta oksaydhka cerium aad ayay uga hooseysaa tan dheemanka iyo oksaydhka aluminiumka, sidoo kale way ka hooseysaa tan zirconium oxide iyo silicon oxide, taas oo u dhiganta ferric oxide. Sidaa darteed farsamo ahaan ma suurtogal aha in laga takhaluso walxaha ku salaysan oksijiinta silicon, sida galaaska silikoonka, galaaska quartz, iwm., oo leh ceria oo leh adkeysi hooseeya marka loo eego dhinaca farsamada oo keliya. Si kastaba ha ahaatee, oksaydhka cerium hadda waa budada dhalaalinta ee la doorbido ee lagu nadiifiyo walxaha ku salaysan oksijiinta silicon ama xitaa walxaha nitride ee silicon. Waxaa la arki karaa in dhalaalinta oksaydhka cerium ay sidoo kale leedahay saameyno kale marka laga reebo saameynta farsamada. Adkaanta dheemanka, oo ah walxo si caadi ah loo isticmaalo oo lagu nadiifiyo, badanaa waxay leedahay boosas oksijiin ah oo ku jira shabagga CeO2, kaas oo beddelaya sifooyinkiisa jireed iyo kiimikada wuxuuna leeyahay saameyn gaar ah oo ku saabsan sifooyinka dhalaalinta. Budada dhalaalinta oksaydhka cerium ee si caadi ah loo isticmaalo waxay ka kooban tahay xaddi cayiman oo oksaydhyo kale oo naadir ah. Praseodymium oxide (Pr6O11) sidoo kale waxay leedahay qaab-dhismeed afargeesle ah oo wejiga ku yaal, kaas oo ku habboon in la nadiifiyo, halka oksaydhyada kale ee lanthanide ee dhulka dhifka ah aysan lahayn awood ay ku nadiifiyaan. Iyada oo aan la beddelin qaab-dhismeedka kiristaalka ee CeO2, waxay samayn kartaa xal adag oo leh heer gaar ah. Budada nano-cerium oxide ee saafiga ah (VK-Ce01), oo saafinimada cerium oxide ee sarreysa (VK-Ce01), awoodda dhalaalinta ayaa sii weynaanaysa iyo cimriga adeegga oo dheer, gaar ahaan muraayadaha indhaha ee galaaska adag iyo quartz muddo dheer. Marka la nadiifinayo wareegga, waxaa lagugula talinayaa inaad isticmaasho budada dhalaalinta cerium oxide ee saafiga ah (VK-Ce01).
Isticmaalka budada dhalaalinta oksaydhka cerium:
Budada dhalaalinta oksaydhka cerium (VK-Ce01), oo inta badan loo isticmaalo dhalaalinta alaabada galaaska, waxaa inta badan loo isticmaalaa meelaha soo socda:
1. Muraayadaha, dhalaalinta muraayadaha galaaska;
2. Muraayadaha indhaha, muraayadda indhaha, muraayadda indhaha, iwm.;
3. Muraayadda shaashadda taleefanka gacanta, dusha sare ee saacadda (albaabka saacadda), iwm.;
4. Kormeeraha LCD dhammaan noocyada shaashadda LCD;
5. Dhagaxyo Rinestones ah, dheeman kulul (kaararka, dheemanka jiinisyada), kubbado iftiin leh (shanado raaxo leh oo ku yaal hoolka weyn);
6. Farshaxannada kiristaliska;
7. Qayb ka mid ah dhalaalinta jadeecada
Waxyaabaha laga soo saaro cerium oxide ee hadda jira:
Dusha sare ee oksaydhka cerium waxaa lagu dahaadhay aluminium si ay si weyn u wanaajiso dhalaalinta muraayadda indhaha.
Waaxda Cilmi-baarista iyo Horumarinta Tiknoolajiyadda ee UrbanMines Tech. Limited, ayaa soo jeedisay in isku-darka iyo wax-ka-beddelka dusha sare ee walxaha dhalaalinaya ay yihiin hababka iyo hababka ugu muhiimsan ee lagu hagaajin karo hufnaanta iyo saxnaanta nadiifinta CMP. Sababtoo ah sifooyinka walxaha waxaa lagu hagaajin karaa isku-darka walxaha badan, iyo xasilloonida kala firdhinta iyo hufnaanta nadiifinta ee slurry-ka dhalaalinta waxaa lagu hagaajin karaa wax-ka-beddelka dusha sare. Diyaarinta iyo waxqabadka nadiifinta ee budada CeO2 ee lagu darey TiO2 waxay hagaajin kartaa hufnaanta nadiifinta in ka badan 50%, isla markaana, cilladaha dusha sare ayaa sidoo kale la dhimay 80%. Saamaynta nadiifinta isku-dhafka ah ee oksaydhyada isku-dhafka ah ee CeO2 ZrO2 iyo SiO2 2CeO2; sidaa darteed, tignoolajiyada diyaarinta ee oksaydhyada isku-dhafka ah ee ceria micro-nano ee la daweeyay ayaa muhiimad weyn u leh horumarinta agabka dhalaalinta cusub iyo ka doodista habka dhalaalinta. Marka laga soo tago tirada daawada, xaaladda iyo qaybinta daawada ee walxaha la sameeyay ayaa sidoo kale si weyn u saameeya sifooyinkooda dusha sare iyo waxqabadka dhalaalinta.
Waxaa ka mid ah, isku-darka walxaha dhalaalinta leh qaab-dhismeedka dahaarka ayaa aad u soo jiidasho badan. Sidaa darteed, xulashada hababka iyo xaaladaha isku-dhafka ah ayaa sidoo kale aad muhiim u ah, gaar ahaan hababka fudud oo kharash-ool ah. Iyadoo la adeegsanayo cerium carbonate oo qoyaan leh sida walaxda ugu weyn ee ceeriin, walxaha dhalaalinta cerium oxide ee aluminium-doped ayaa lagu sameeyay habka mechanochemical-ka ee qoyan. Iyada oo la adeegsanayo xoogga farsamada, walxaha waaweyn ee cerium carbonate ee qoyaanka leh ayaa loo kala qaybin karaa qaybo yaryar, halka aluminium nitrate uu la falgalo biyaha ammonia si uu u sameeyo walxo aan qaab lahayn oo colloidal ah. Walxaha colloidal-ka ah si fudud ayaa loogu dhejin karaa walxaha cerium carbonate, ka dib marka la qalajiyo oo la kariyo, doping aluminium-ka waxaa lagu gaari karaa dusha sare ee cerium oxide. Habkan waxaa loo isticmaalay in lagu sameeyo walxaha cerium oxide oo leh xaddi kala duwan oo doping aluminium ah, waxqabadkoodana waxaa lagu sifeeyay. Ka dib markii xaddi ku habboon oo aluminium ah lagu daray dusha sare ee walxaha cerium oxide, qiimaha taban ee awoodda dusha sare ayaa kordhi doona, taas oo iyaduna ka dhigtay farqiga u dhexeeya walxaha xoqidda. Waxaa jira dib-u-celin koronto oo xooggan, taas oo kor u qaadaysa hagaajinta xasilloonida joojinta xoqidda. Isla mar ahaantaana, nuugista labada dhinac ee u dhexeeya walxaha xoqan iyo lakabka jilicsan ee togan ee soo jiidanaya Coulomb ayaa sidoo kale la xoojin doonaa, taas oo faa'iido u leh xiriirka labada dhinac ee u dhexeeya xoqidda iyo lakabka jilicsan ee dusha sare ee muraayadda la safeeyey, waxayna kor u qaadaysaa hagaajinta heerka dhalaalinta.