Hrað þróun á sviði upplýsinga- og ljósfræðilegra rafeindatækni hefur stuðlað að stöðugri uppfærslu á efnafræðilegri vélrænni fægingu (CMP) tækni. Auk búnaðar og efna er öflun á afar nákvæmum yfirborðum í auknum mæli háð hönnun og iðnaðarframleiðslu á afar skilvirkum slípiefnum, sem og undirbúningi samsvarandi fægingarlausna. Og með stöðugum framförum í nákvæmni og skilvirkni yfirborðsvinnslu eru kröfur um afar skilvirk fægingarefni einnig að hækka og hækka. Seríumdíoxíð hefur verið mikið notað í nákvæmni yfirborðsvinnslu örrafeindatækja og nákvæmra ljósfræðilegra íhluta.
Pússunarduft úr seríumoxíði (VK-Ce01) hefur kosti eins og sterka skurðarhæfni, mikla pússunarhagkvæmni, mikla nákvæmni í pússun, góða pússunargæði, hreint rekstrarumhverfi, litla mengun, langan líftíma og svo framvegis og er mikið notað í sjónrænni nákvæmni pússun og CMP o.s.frv. og gegnir afar mikilvægu hlutverki.
Helstu eiginleikar seríumoxíðs:
Ceríum, einnig þekkt sem seríumoxíð, er oxíð af seríum. Á þessum tímapunkti er gildi seríums +4 og efnaformúlan er CeO2. Hreina afurðin er hvítt þungt duft eða teningskristall, og óhreina afurðin er ljósgult eða jafnvel bleikt til rauðbrúnt duft (vegna þess að það inniheldur snefilmagn af lantan, praseódými, o.s.frv.). Við stofuhita og þrýsting er ceríum stöðugt oxíð af seríum. Ceríum getur einnig myndað +3 gildi Ce2O3, sem er óstöðugt og mun mynda stöðugt CeO2 með O2. Ceríumoxíð er lítillega leysanlegt í vatni, basa og sýru. Þéttleikinn er 7,132 g/cm3, bræðslumarkið er 2600℃ og suðumarkið er 3500℃.
Pólunarkerfi ceríumoxíðs
Harka CeO2 agna er ekki mikil. Eins og sést í töflunni hér að neðan er hörka seríumoxíðs mun lægri en demants og áloxíðs, og einnig lægri en sirkonoxíðs og kísilloxíðs, sem jafngildir járnoxíði. Því er ekki tæknilega mögulegt að afpússa kísilloxíð-byggð efni, svo sem kísilgler, kvarsgler o.s.frv., með seríumoxíði með lága hörku eingöngu frá vélrænu sjónarmiði. Hins vegar er seríumoxíð nú ákjósanlegasta pússunarduftið til að pússa kísilloxíð-byggð efni eða jafnvel kísillnítríð efni. Það má sjá að pússun með seríumoxíði hefur einnig önnur áhrif en vélræn áhrif. Harka demants, sem er algengt slípi- og pússunarefni, hefur venjulega súrefnisleysi í CeO2 grindinni, sem breytir eðlis- og efnafræðilegum eiginleikum þess og hefur ákveðin áhrif á pússunareiginleika. Algengt notað seríumoxíð pússunarduft inniheldur ákveðið magn af öðrum sjaldgæfum jarðmálmum. Praseódýmíumoxíð (Pr6O11) hefur einnig flötmiðaða teningslaga grindarbyggingu, sem hentar vel til fægingar, en önnur lantaníð sjaldgæf jarðmálmaoxíð hafa enga fægingargetu. Án þess að breyta kristalbyggingu CeO2 getur það myndað fasta lausn með því innan ákveðins marka. Fyrir mjög hreint nanó-seríumoxíð fægingarduft (VK-Ce01), því meiri sem hreinleiki seríumoxíðsins (VK-Ce01) er, því meiri er fægingargetan og endingartími þess lengri, sérstaklega fyrir hörð gler- og kvarslinsur í langan tíma. Við hringlaga fægingu er ráðlegt að nota mjög hreint seríumoxíð fægingarduft (VK-Ce01).
Notkun á ceríumoxíð fægingardufti:
Seríumoxíð fægiefni (VK-Ce01), aðallega notað til að fægja glervörur, það er aðallega notað á eftirfarandi sviðum:
1. Gleraugu, pússun á glerlinsum;
2. Sjónræn linsa, sjóngler, linsa o.s.frv.;
3. Gler á skjá farsíma, yfirborð úrs (úrhurð) o.s.frv.;
4. LCD skjár alls konar LCD skjár;
5. Gervisteinar, heitir demantar (kort, demantar á gallabuxum), ljósakúlur (lúxusljósakrónur í stóra salnum);
6. Kristal handverk;
7. Að hluta til slípun á jade
Núverandi afleiður af ceríumoxíðpússun:
Yfirborð seríumoxíðs er blandað með áli til að bæta verulega pússun þess á ljósgleri.
Tæknirannsóknar- og þróunardeild UrbanMines Tech. Limited lagði til að blöndun og yfirborðsbreyting á fægiefnum væru helstu aðferðirnar og nálganirnar til að bæta skilvirkni og nákvæmni CMP-fægingar. Þar sem eiginleikar agnanna er hægt að stilla með blöndun fjölþátta frumefna, er hægt að bæta dreifingarstöðugleika og fægiefni fægiefnis með yfirborðsbreytingum. Undirbúningur og fægiefni CeO2 dufts sem blandað er við TiO2 getur bætt fægiefni um meira en 50% og á sama tíma minnka yfirborðsgalla um 80%. Samverkandi fægiefnisáhrif CeO2 ZrO2 og SiO2 2CeO2 samsettra oxíða; því er undirbúningstækni fyrir efnuð ceríum ör-nanó samsett oxíð mjög mikilvæg fyrir þróun nýrra fægiefna og umræðu um fægiefnisferli. Auk efnablöndunar hefur ástand og dreifing efnisins í mynduðum ögnum einnig mikil áhrif á yfirborðseiginleika þeirra og fægiefni.
Meðal þeirra er myndun fægisagna með klæðningarbyggingu aðlaðandi. Þess vegna er val á tilbúnum aðferðum og skilyrðum einnig mjög mikilvægt, sérstaklega þær aðferðir sem eru einfaldar og hagkvæmar. Með því að nota vatnskennt seríumkarbónat sem aðalhráefni voru ál-dópuð seríumoxíð fægisagnir myndaðar með blautum fastfasa vélrænni efnafræðilegri aðferð. Undir áhrifum vélræns afls er hægt að klofna stórar agnir af vatnskennt seríumkarbónati í fínar agnir, en álnítrat hvarfast við ammoníakvatn til að mynda ókristölluð agnir. Kolloid agnirnar festast auðveldlega við seríumkarbónat agnirnar og eftir þurrkun og brennslu er hægt að ná fram ál-dópun á yfirborði seríumoxíðsins. Þessi aðferð var notuð til að mynda seríumoxíð agnir með mismunandi magni af ál-dópun og fægiframmistaða þeirra var einkennd. Eftir að viðeigandi magni af áli var bætt við yfirborð seríumoxíð agnanna jókst neikvætt gildi yfirborðsspennunnar, sem aftur skapaði bilið milli slípiefnaagnanna. Það er sterkari rafstöðuvirkni, sem stuðlar að bættum stöðugleika slípiefnisins. Á sama tíma mun gagnkvæm aðsog milli slípiefnanna og jákvætt hlaðna mjúka lagsins með Coulomb-aðdráttarafli einnig styrkjast, sem er gagnlegt fyrir gagnkvæma snertingu milli slípiefnisins og mjúka lagsins á yfirborði slípaðs glersins og stuðlar að bættum slípunarhraða.