Ṣíṣí agbára àwọn ohun èlò tuntun: Trimethylaluminum àti trimethylgallium ló ń darí ìṣẹ̀dá tuntun ilé iṣẹ́.
Nínú ìdàgbàsókè kíákíá ti àwọn ilé iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ gíga àti ẹ̀rọ itanna kárí ayé, trimethylaluminum (TMA, Al(CH3) 3) àti trimethylgallium (TMG, Ga(CH3) 3) gẹ́gẹ́ bí àwọn èròjà onírin mojuto (MO sources) ń di pàtàkì ìṣẹ̀dá tuntun ní àwọn ẹ̀ka catalysis, semiconductors, photovoltaics àti LED pẹ̀lú àwọn ohun ìní kẹ́míkà tó dára jùlọ àti ìní ìlò tí kò ṣeé yípadà. Pẹ̀lú bí ó ṣe ń mú agbára ìmọ̀-ẹ̀rọ pọ̀ sí i nígbà gbogbo àti ẹ̀wọ̀n ìpèsè tó dúró ṣinṣin àti tó munadoko, China ń di ibi gíga fún ìpèsè trimethylaluminum àti trimethylgallium kárí ayé.
Igun ipilẹ ti catalysis: ilowosi to dayato titrimethylaluminiomu
Láti ìgbà tí a ti bí ìmọ̀-ẹ̀rọ Ziegler-Natta, àwọn èròjà organoaluminum ti di agbára ìdarí pàtàkì fún ìṣẹ̀dá àwọn polyolefins (bíi polyethylene àti polypropylene). Lára wọn, methylaluminoxane (MAO), tí a rí láti inú trimethylaluminum tí ó ní ìwẹ̀nùmọ́ gíga, gẹ́gẹ́ bí olùṣepọ̀ pàtàkì, ń mú onírúurú àwọn èròjà irin ìyípadà ṣiṣẹ́ dáadáa, ó sì ń darí ìlànà polymerization ńlá ní àgbáyé. Ìmọ́tótó àti ìṣiṣẹ́ trimethylaluminum tààrà ló ń pinnu bí ètò catalytic náà ṣe ń ṣiṣẹ́ àti dídára polymer ìkẹyìn.
Awọn ohun pataki fun iṣelọpọ semiconductor ati photovoltaic
Nínú iṣẹ́ ṣíṣe àwọn ìṣùpọ̀ semiconductor, trimethylaluminum jẹ́ orísun aluminiomu tí kò ṣe pàtàkì. Ó ń lo àwọn ìlànà ìgbóná èéfín kẹ́míkà (CVD) tàbí àwọn ìlànà ìgbóná èéfín atomiki (ALD) láti fi iṣẹ́ gíga pamọ́.áísíìdì álímínọ́mù (Al2O3))Àwọn fíìmù oníwọ̀n-gíga (gíga-k) tí ó dúró ṣinṣin fún àwọn ẹnu ọ̀nà transistor àti àwọn sẹ́ẹ̀lì ìrántí tó ti ní ìlọsíwájú. Àwọn ohun tí a nílò fún trimethylaluminum jẹ́ ohun tó le gan-an, pẹ̀lú àfiyèsí pàtàkì sí ohun tí ó wà nínú àwọn ohun tí ó ní irin, àwọn ohun tí ó ní atẹ́gùn nínú, àti àwọn ohun tí ó ní organic láti rí i dájú pé fíìmù náà ní àwọn ohun ìní iná mànàmáná tó dára àti pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
Ní àkókò kan náà, trimethylaluminum ni ohun tí a fẹ́ràn jùlọ fún ìdàgbàsókè àwọn semiconductors oní àdàpọ̀ aluminiomu (bíi AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlGaN, AlInGaP, AlInGaN, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) nípasẹ̀ ìmọ̀-ẹ̀rọ irin organic vapor phase epitaxy (MOVPE). Àwọn ohun èlò wọ̀nyí ni ó para pọ̀ di kókó ìbánisọ̀rọ̀ iyara gíga, ẹ̀rọ itanna power, àti àwọn ẹ̀rọ optoelectronic ultraviolet jinlẹ.
Nínú ilé iṣẹ́ fọ́tòvoltaic, trimethylaluminum náà ń kó ipa pàtàkì. Nípasẹ̀ ìdènà èéfín kẹ́míkà tí a mú dara sí plasma (PECVD) tàbí ìlànà ALD, a ń lo trimethylaluminum láti ṣẹ̀dá fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ passivation aluminiomu (Al2O3) tí ó ní agbára gíga. Fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ passivation yìí lè dín ìpàdánù àtúnṣe lórí ojú àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn silicon kristali kù gidigidi, èyí tí ó ń mú kí agbára ìyípadà àwọn sẹ́ẹ̀lì náà sunwọ̀n sí i gidigidi. Ó jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ìlànà pàtàkì nínú ṣíṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn tí ó ní agbára gíga.
Imọlẹ si ojo iwaju: Awọn LED ati awọn ohun elo optoelectronic ti ilọsiwaju
Ilé iṣẹ́ LED tó ń gbèrú sí i gbára lé trimethylaluminum àti trimethylgallium gidigidi. Nínú ìdàgbàsókè epitaxial LED (MOVPE):
* Trimethylaluminum jẹ́ ohun pàtàkì fún ìdàgbàsókè àwọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial semiconductor oní-aluminium III-V bíi aluminiomu gallium nitride (AlGaN), èyí tí a ń lò láti ṣe àwọn LED àti lasers oní-ìṣẹ́ gíga tí ó ní agbára gíga. A tún ń lò ó láti fi àwọn fẹlẹfẹlẹ passivation Al2O3 tàbí AlN sílẹ̀ láti mú kí iṣẹ́ ìyọkúrò ìmọ́lẹ̀ àti ìgbẹ́kẹ̀lé àwọn ẹ̀rọ sunwọ̀n síi.
*Trimethylgallium (TMG)ni orisun pataki julọ ati ti ogbo julọ ti gallium ninu ilana MOVPE. O jẹ ipilẹ akọkọ fun ṣiṣeto awọn oriṣiriṣi awọn semiconductors compound ti o ni gallium, pẹlu:
* Gallium Nitride (GaN): Ohun èlò pàtàkì fún àwọn LED aláwọ̀ búlúù àti funfun, àwọn lésà (LDs), àti àwọn ẹ̀rọ itanna alágbára gíga.
* Gallium arsenide (GaAs): A nlo o jakejado ninu awọn ẹrọ itanna iyara giga, awọn paati igbohunsafẹfẹ redio, awọn sẹẹli oorun aaye ti o munadoko giga, ati awọn ẹrọ optoelectronic ti o sunmọ infurarẹẹdi.
* Gallium phosphide (GaP) àti gallium antimonide (GaSb): Wọ́n ṣe pàtàkì nínú àwọn ẹ̀rọ LED pupa, ofeefee, àti aláwọ̀ ewé, àwọn photodetectors, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
* Copper Indium Gallium Selenide (CIGS): ohun èlò fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ tó ń gba ìmọ́lẹ̀ láàrín àwọn ohun èlò tí a ń lò láti ṣe àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn tó ní fíìmù tó lágbára.
Ìmọ́tótó àti ìdúróṣinṣin trimethylgallium tààrà ló ń pinnu dídára kristali àti àwọn ohun-ìní itanna/ojú ti fẹlẹfẹlẹ epitaxial, èyí tí ó ní ipa lórí ìmọ́lẹ̀, ìdúróṣinṣin gígùn, àti ìgbésí ayé LED náà nígbẹ̀yìn gbẹ́yín. A tún ń lo Trimethylgallium láti pèsè àwọn ohun èlò fíìmù tín-ín-rín bíi GaAs, GaN, àti GaP, tí wọ́n ń ṣiṣẹ́ fún microelectronics àti àwọn ẹ̀rọ ìgbóná-gíga.
Ipese China: idaniloju didara, iduroṣinṣin, ati ṣiṣe
China ti ṣe ilọsiwaju pataki ni aaye ti awọn gaasi pataki itanna giga-mimọ ati awọn orisun MO, ati pe o ti ṣafihan awọn anfani ifigagbaga to lagbara ni ipese ti trimethylaluminum ati trimethylgallium:
1. Ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ tó ga jùlọ: Àwọn ilé iṣẹ́ tó gbajúmọ̀ ní orílẹ̀-èdè yìí ti mọ bí a ṣe ń mú kí ìfọ́mọ́ra, ìwẹ̀nùmọ́, ìwẹ̀nùmọ́ tó wà ní ìwọ̀n otútù àti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ míràn dàgbà, wọ́n sì lè mú kí trimethylaluminum àti trimethylgallium tó wà ní 6N (99.9999%) àti jù bẹ́ẹ̀ lọ máa gbilẹ̀, wọ́n lè ṣàkóso àwọn ohun tí kò ní èérí irin (bíi Na, K, Fe, Cu, Zn), àwọn ohun tí kò ní èérí nínú oxygen (bíi hydrocarbons tó ní oxygen) àti àwọn ohun tí kò ní èérí nínú organic (bíi ethylaluminum, dimethylaluminum hydride), wọ́n sì lè bá àwọn ohun tí a nílò fún ìdàgbàsókè semiconductor àti LED mu pátápátá.
2. Ipese ti o ga ati ti o duro ṣinṣin: Atilẹyin pq ile-iṣẹ pipe ati fifa agbara iṣelọpọ sii nigbagbogbo rii daju pe ipese trimethylaluminum ati trimethylgallium ti o tobi, ti o duro ṣinṣin, ati ti o gbẹkẹle wa si ọja agbaye, ni ilodi si awọn eewu pq ipese ni imunadoko.
3. Àwọn àǹfààní iye owó àti ìṣiṣẹ́: Ìṣẹ̀dá agbègbè dín iye owó gbogbogbò kù (pẹ̀lú àwọn ètò ìṣiṣẹ́, owó orí, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) nígbàtí ó ń pèsè ìrànlọ́wọ́ àti iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ agbègbè tí ó rọrùn àti tí ó dáhùnpadà.
4. Ìmúdàgba-ìmúdàgba-ìmúdàgba: Àwọn ilé-iṣẹ́ orílẹ̀-èdè China ń tẹ̀síwájú láti fi owó sí ìwádìí àti ìdàgbàsókè, wọ́n ń mú kí àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ trimethylaluminum àti trimethylgallium sunwọ̀n síi, wọ́n ń mú kí dídára ọjà àti iṣẹ́ ìlò sunwọ̀n síi, wọ́n sì ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn pàtó tuntun ti àwọn ọjà tí ó bá àìní àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ ìran tí ń bọ̀ mu (bíi Micro-LED, àwọn semiconductors node tí ó ti ní ìlọsíwájú, àti àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn tí a ti kó jọ dáradára).
Ìparí
Gẹ́gẹ́ bí “àwọn ìpìlẹ̀” ti àwọn ilé iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga òde òní, trimethylaluminum àti trimethylgallium ń kó ipa tí kò ṣeé yípadà nínú àwọn ẹ̀ka polymerization catalytic, semiconductor chips, photovoltaics tó lágbára, àti optoelectronics tó ti ní ìlọsíwájú (LED/LD). Yíyan trimethylaluminum àti trimethylgallium láti China kìí ṣe yíyan àwọn ọjà mímọ́ tó ga jùlọ tí ó bá àwọn ìlànà tó ga jùlọ mu nìkan ni, ṣùgbọ́n yíyan alábàáṣiṣẹpọ̀ tó ní àwọn ìdánilójú agbára ìṣelọ́pọ́ tó lágbára, àwọn agbára ìṣẹ̀dá tuntun tó ń bá a lọ, àti àwọn agbára ìdáhùn iṣẹ́ tó gbéṣẹ́. Gba trimethylaluminum àti trimethylgallium tí a ṣe ní China, papọ̀ fún àtúnṣe ilé iṣẹ́ lágbára, kí o sì wakọ̀ ní ààlà ìmọ̀-ẹ̀rọ ọjọ́ iwájú!