6

Hafnio tetrachloridas Kinijoje nuolat plečiasi

Elektroninės klasės hafnio tetrachlorido rinkos dydis ir gamybos pajėgumai Kinijoje nuolat plečiasi.

Kinijos naujo mąstymo pramonės tyrimų centras išleistas 2026 m. kovo 5 d.
Elektroninės klasės hafnio tetrachloridas reiškia labai gryną hafnio tetrachloridą, kurio grynumas yra 99,95% ar didesnis.

Hafnio tetrachloridas, su molekuline formuleHfCl4ir kurio molekulinė masė yra 320,302, yra balti kristaliniai milteliai. Jie yra ėsdūs ir gali nudeginti akis bei odą. Jie taip pat dirgina kvėpavimo takus. Jų lydymosi temperatūra yra 320 °C ir jie gali sublimuotis. Jie lengvai tirpsta organiniuose tirpikliuose, tokiuose kaip metanolis ir acetonas. Reaguoja su vandeniu ir išskiria toksiškas dujas. Jie yra higroskopiški ir lengvai skyla veikiami oro, todėl juos reikia laikyti sandariai uždarytoje talpykloje.

„New Thinking Industry Research Center“ išleistoje 2025 m. Kinijos elektroninės klasės hafnio tetrachlorido rinkos specialiojoje apžvalgoje ir įmonės 15-ojo penkerių metų plano pasiūlymų ataskaitoje teigiama, kad elektroninės klasės hafnio tetrachloridas daugiausia naudojamas puslaidininkių pramonėje kaip puslaidininkių pirmtakas. Jis nusodomas ir auginamas kaip hafnio pagrindo plonos plėvelės, naudojant tokius procesus kaip atominis sluoksnio nusodinimas (ALD) ir cheminis garų nusodinimas (CVD). Hafnio pagrindo plonos plėvelės turi didelę dielektrinę konstantą, todėl jos yra viena iš pagrindinių medžiagų, gaminančių naujos kartos mažų, didelio našumo tranzistorių užtūros dielektrinį sluoksnį. Elektroninės klasės hafnio tetrachloridas gali atitikti nuolat mažėjančių lustų gamybos procesų plėtros tendencijas, o jo rinkos erdvė nuolat plečiasi. Be to, dėl puikių optinių savybių, mechaninių savybių ir terminio stabilumo, elektroninės klasės hafnio tetrachloridas taip pat gali būti naudojamas optinių plonų plėvelių, didelės galios šviesos diodų, artimojo infraraudonojo spektro optoelektroninių prietaisų ir itin aukštos temperatūros keramikos gamyboje.
puslaidininkių pirmtakų medžiaga Elektroninės klasės hafnio tetrachloridas artimojo infraraudonojo spektro optoelektroniniai prietaisai

Valymo technologijos kokybė tiesiogiai veikia elektroninės kokybės hafnio tetrachlorido grynumą ir rūšį. Pastaraisiais metais Kinijoje daugėja patentų, susijusių su elektroninės kokybės hafnio tetrachlorido valymo procesu ir gamybos įranga, įskaitant „elektroninės kokybės hafnio tetrachlorido gamybos aparatą“ ir „elektroninės kokybės hafnio tetrachlorido valymo metodą“.

2025 m. gegužės mėn. buvo paskelbta apie patento autorizaciją „elektroninės kokybės hafnio tetrachlorido gryninimo metodui“. Apsaugojus inertines dujas, neapdorotas hafnio tetrachloridas dedamas į kvarcinę valtį, ir tokiais procesais kaip vakuumavimas, kaitinimas, sublimacinis valymas ir aušinimo surinkimas galima gauti 5N ir 6N grynumo elektroninės kokybės hafnio tetrachlorido produktus.

Kinijos rinkojeUrbanMines Tech.„Limited“ daugiausia tiria, kuria ir tiekia elektronikos klasės hafnio tetrachlorido produktus, kurių grynumas yra ≥99,9 %, 99,95 % ir ≥99,99 %.

„Newthink“ pramonės analitikai teigia, kad Kinijos elektroninės klasės hafnio tetrachlorido gamybos pajėgumai vis dar plečiasi. 2025 m. gegužės mėn. Kinijos nacionalinė aplinkos apsaugos administracija atskleidė, kad bus patvirtinta ir paskelbta „Puslaidininkių naujų medžiagų bandomosios gamyklos projekto“ poveikio aplinkai ataskaita, o kai kurios pirmaujančios pramonės įmonės taip pat aktyviai plečiasi į elektroninės klasės hafnio tetrachlorido rinką.