ขนาดตลาดและกำลังการผลิตของแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศจีนกำลังขยายตัวอย่างต่อเนื่อง
ศูนย์วิจัยอุตสาหกรรมแนวคิดใหม่ของจีน เผยแพร่เมื่อวันที่ 5 มีนาคม 2569
ฮาฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ หมายถึง ฮาฟเนียมเตตระคลอไรด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง โดยมีความบริบริสุทธิ์ 99.95% หรือสูงกว่า
แฮฟเนียมเตตระคลอไรด์โดยมีสูตรโมเลกุลเอชเอฟซีแอล4สารนี้มีน้ำหนักโมเลกุล 320.302 เป็นผงผลึกสีขาว มีฤทธิ์กัดกร่อนและอาจทำให้แสบตาและผิวหนังได้ นอกจากนี้ยังระคายเคืองต่อระบบทางเดินหายใจ มีจุดหลอมเหลว 320°C และสามารถระเหิดได้ ละลายได้ง่ายในตัวทำละลายอินทรีย์ เช่น เมทานอลและอะซิโตน ทำปฏิกิริยากับน้ำและปล่อยก๊าซพิษออกมา ดูดความชื้นและสลายตัวได้ง่ายเมื่อสัมผัสกับอากาศ จึงต้องเก็บในภาชนะที่ปิดสนิท
รายงาน “การสำรวจพิเศษตลาดแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ของจีนปี 2025 และข้อเสนอแนะสำหรับแผนพัฒนาเศรษฐกิจและสังคมแห่งชาติฉบับที่ 15” ซึ่งเผยแพร่โดยศูนย์วิจัยอุตสาหกรรม New Thinking ระบุว่า แฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในฐานะวัสดุตั้งต้นของเซมิคอนดักเตอร์ โดยจะถูกตกตะกอนและเติบโตเป็นฟิล์มบางที่มีแฮฟเนียมเป็นองค์ประกอบหลักโดยใช้กระบวนการต่างๆ เช่น การตกตะกอนแบบชั้นอะตอม (ALD) และการตกตะกอนแบบไอเคมี (CVD) ฟิล์มบางที่มีแฮฟเนียมเป็นองค์ประกอบหลักมีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกสูง ทำให้เป็นหนึ่งในวัสดุสำคัญสำหรับการผลิตชั้นไดอิเล็กตริกของเกตในทรานซิสเตอร์ขนาดเล็กประสิทธิภาพสูงรุ่นใหม่ แฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์สามารถตอบสนองแนวโน้มการพัฒนาของกระบวนการผลิตชิปที่มีขนาดเล็กลงอย่างต่อเนื่อง และส่วนแบ่งการตลาดก็กำลังขยายตัวอย่างต่อเนื่อง นอกจากนี้ ด้วยคุณสมบัติทางแสง คุณสมบัติทางกล และความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม ฮาฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ยังสามารถใช้ในการผลิตฟิล์มบางทางแสง หลอด LED กำลังสูง อุปกรณ์อิเล็กโทรออปติกอินฟราเรดใกล้ และเซรามิกอุณหภูมิสูงพิเศษได้อีกด้วย
คุณภาพของเทคโนโลยีการทำให้บริสุทธิ์ส่งผลโดยตรงต่อความบริสุทธิ์และเกรดของแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา จำนวนสิทธิบัตรที่เกี่ยวข้องกับกระบวนการทำให้บริสุทธิ์และอุปกรณ์การผลิตแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศจีนเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่อง รวมถึง “เครื่องมือสำหรับเตรียมแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์” และ “วิธีการทำให้แฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์บริสุทธิ์”
ในเดือนพฤษภาคม 2025 มีการประกาศอนุมัติสิทธิบัตรสำหรับ “วิธีการทำให้บริสุทธิ์ของแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์” โดยภายใต้การป้องกันของก๊าซเฉื่อย แฮฟเนียมเตตระคลอไรด์ดิบจะถูกวางไว้ในภาชนะควอตซ์ และผ่านกระบวนการต่างๆ เช่น การดูดสุญญากาศ การให้ความร้อน การทำให้บริสุทธิ์โดยการระเหิด และการเก็บรวบเย็น เพื่อให้ได้ผลิตภัณฑ์แฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์ 5N และ 6N
ในตลาดจีนUrbanMines Tech.บริษัท Limited ดำเนินธุรกิจหลักในการวิจัย พัฒนา และจัดจำหน่ายผลิตภัณฑ์แฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์ ≥99.9%, 99.95% และ ≥99.99%
นักวิเคราะห์อุตสาหกรรมจาก Newthink ระบุว่า กำลังการผลิตแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ของจีนยังคงขยายตัวอย่างต่อเนื่อง ในเดือนพฤษภาคม 2025 สำนักงานคุ้มครองสิ่งแวดล้อมแห่งชาติของจีนเปิดเผยว่า รายงานผลกระทบสิ่งแวดล้อมสำหรับ “โครงการโรงงานนำร่องวัสดุใหม่สำหรับเซมิคอนดักเตอร์” จะได้รับการอนุมัติและเผยแพร่ และบริษัทชั้นนำบางแห่งในอุตสาหกรรมก็กำลังขยายตลาดแฮฟเนียมเตตระคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์อย่างแข็งขันเช่นกัน